一种单晶硅棒电阻率测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及单晶硅棒电阻测定技术领域，尤其为一种单晶硅棒电阻率测量装置，包括测试仪本体，所述测试仪本体的顶端中部位置设有测定台，所述测定台的正上方位置安装有套筒，且套筒的后方位置通过一体成型设置有转向卡座，通过设置的组合方框、侧卡环、伸缩支柱、转向卡座、侧导杆、第一牵引把和滑块，结合一组侧导杆预先连接一组侧卡环，能够与一组侧卡环实现自由拆装的一组侧导杆将会在探针构件上下位置高度调节的过程中起到一定的侧端导向辅助的作用，有效地提高探头组件完成高度调节后的位置精确性，避免因探头组件高度调节后出现的位置偏移，影响后期该测量装置对从单晶硅棒上预先切出来的待测圆片进行精确测量测定操作。操作。操作。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅棒电阻率测量装置


[0001]本技术涉及单晶硅棒电阻测定
，具体为一种单晶硅棒电阻率测量装置。

技术介绍

[0002]单晶硅棒是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的硅单晶体棒，在对单晶硅棒的电阻率进行测量操作时，需要将从单晶硅棒上预先切出来的一待测圆片放置到四探针测试仪器上，来开展对应的测定操作，市面上的电阻率测量装置在通过探针构件的下降来完成对应的测量测定操作时，由于整个升降操作是通过人工手动的方式进行开展的，升降后的测定位置会因受人为因素的干扰，出现位置偏移的现象，从而影响后期装置进行测量测定操作时的精确性，并且在完成对从单晶硅棒上预先切出来的待测圆片的一次测量测定操作后，操作员需要预先调节探针构件的升降高度或是通过直接向外牵引推出才可将完成测定的工件取下，整个工件取下操作过于繁琐且不够便捷的同时，直接推出的方式也会对探针的底部造成相对的机械磨损。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种单晶硅棒电阻率测量装置，以解决上述
技术介绍
中提出升降调节过程中的探针组件会因受人为因素的干扰出现位置偏移和常规取下完成测定操作的工件的方式过于繁琐且易出现磨损探针底部的现象的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0005]一种单晶硅棒电阻率测量装置，包括测试仪本体，所述测试仪本体的顶端中部位置设有测定台，所述测定台的正上方位置安装有套筒，且套筒的后方位置通过一体成型设置有转向卡座，所侧卡环述转向卡座的内部穿插设置有伸缩支柱，且转向卡座的一侧位置通过一体成型设置有侧卡环，所述侧卡环的内侧贯穿有侧导杆，所述侧导杆的下方外部设有组合方框，且组合方框的内部一侧位置设置有限定卡板，所述限定卡板的中部位置穿插设置有第一牵引把，所述组合方框的内部中央处位置设有滑块。
[0006]优选的，所述测试仪本体的正前方位置螺钉固定有调控前面板，且调控前面板的正面一侧位置设有显示屏，所述显示屏的接线端和测试仪本体内部设有的主控制器的接线端电性连接。
[0007]优选的，所述套筒的底端中部位置卡合安装有探针本体，且探针本体和测试仪本体内部设有的主控制器之间电性连接，所述套筒通过转向卡座和伸缩支柱滑动连接，且伸缩支柱和一组所述组合方框之间一体成型设置，所述伸缩支柱和测定台之间固定连接设置，且测定台和一组所述组合方框之间一体成型设置，所述测定台的中上方位置通过一体浇筑成型加工开设有中心凹槽。
[0008]优选的，所述中心凹槽的内侧转动安装有活动撑板，且活动撑板和探针本体之间上下位置相邻设置，所述中心凹槽的两侧位置均接通有卡槽，且卡槽和测定台之间一体成
型设置，所述卡槽的内部嵌设有托块，且托块的外形呈方形结构分布设置，一组所述托块的顶部和活动撑板的底部之间端面紧贴设置，一组所述托块的一侧位置均固定连接有第二牵引把，且第二牵引把和第一牵引把的外形均呈“T”型结构分布设置，所述第二牵引把的一侧外部套接有弹簧，且弹簧的两侧端分别和托块的一侧端、卡槽内侧面之间点焊固定。
[0009]优选的，所述滑块和侧导杆之间一体成型设置，且滑块和第一牵引把之间螺钉固定，所述侧导杆通过侧卡环和转向卡座之间滑动连接，且侧导杆呈对称结构分布设置，所述滑块和组合方框之间螺栓固定。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0011]1、本技术中，通过设置的组合方框、侧卡环、伸缩支柱、转向卡座、侧导杆、第一牵引把和滑块，结合一组侧导杆预先连接一组侧卡环，能够与一组侧卡环实现自由拆装的一组侧导杆将会在探针构件上下位置高度调节的过程中起到一定的侧端导向辅助的作用，有效地提高探头组件完成高度调节后的位置精确性，避免因探头组件高度调节后出现的位置偏移，影响后期该测量装置对从单晶硅棒上预先切出来的待测圆片进行精确测量测定操作；
[0012]2、本技术中，通过设置的托块、弹簧、卡槽、活动撑板和第二牵引把，在一组托块朝着测定台的中部位置实现反向拉伸动作且契合卡入一组卡槽的内部时，活动撑板会因侧端失重，发生一侧端向下偏移翻转的现象，使得待测圆片能够借助形成的坡面，快速从该测量装置的测量台面上发生快速滑落带出，配合该测量装置达到快速取料的效果，有效地加快该测量装置开展下一级测量测定操作的进度，降低常规取下工件操作时的繁琐度，避免因直接向外抽出待测圆片的过程中，待测圆片对探针构件造成一定的磨损作用。
附图说明
[0013]图1为本技术整体结构示意图；
[0014]图2为本技术组合方框内部俯视结构示意图；
[0015]图3为本技术测定台内部剖视结构示意图。
[0016]图中：1
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测试仪本体、2
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调控前面板、3
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测定台、4
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套筒、5
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转向卡座、6
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伸缩支柱、7
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侧卡环、8
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侧导杆、9
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组合方框、10
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限定卡板、11
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第一牵引把、12
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滑块、13
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中心凹槽、14
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活动撑板、15
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探针本体、16
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显示屏、17
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托块、18
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卡槽、19
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第二牵引把、20
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弹簧。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]请参阅图1
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3，本技术提供一种技术方案：
[0019]一种单晶硅棒电阻率测量装置，包括测试仪本体1，其特征在于：测试仪本体1的顶端中部位置设有测定台3，测定台3的正上方位置安装有套筒4，且套筒4的后方位置通过一体成型设置有转向卡座5，所侧卡环7述转向卡座5的内部穿插设置有伸缩支柱6，且转向卡座5的一侧位置通过一体成型设置有侧卡环7，侧卡环7的内侧贯穿有侧导杆8，侧导杆8的下
方外部设有组合方框9，且组合方框9的内部一侧位置设置有限定卡板10，限定卡板10的中部位置穿插设置有第一牵引把11，组合方框9的内部中央处位置设有滑块12。
[0020]进一步的，如图1所示，测试仪本体1的正前方位置螺钉固定有调控前面板2，且调控前面板2的正面一侧位置设有显示屏16，显示屏16的接线端和测试仪本体1内部设有的主控制器的接线端电性连接，在完成对归属于单晶硅棒一部分的圆片工件的电阻率测量操作后，始终设置于测试仪本体1内部的主控制器可通过调控前面板2正面一侧位置设有的显示屏16，来对测量测定到的数据进本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅棒电阻率测量装置，包括测试仪本体(1)，其特征在于：所述测试仪本体(1)的顶端中部位置设有测定台(3)，所述测定台(3)的正上方位置安装有套筒(4)，且套筒(4)的后方位置通过一体成型设置有转向卡座(5)，所侧卡环(7)述转向卡座(5)的内部穿插设置有伸缩支柱(6)，且转向卡座(5)的一侧位置通过一体成型设置有侧卡环(7)，所述侧卡环(7)的内侧贯穿有侧导杆(8)，所述侧导杆(8)的下方外部设有组合方框(9)，且组合方框(9)的内部一侧位置设置有限定卡板(10)，所述限定卡板(10)的中部位置穿插设置有第一牵引把(11)，所述组合方框(9)的内部中央处位置设有滑块(12)。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒电阻率测量装置，其特征在于：所述测试仪本体(1)的正前方位置螺钉固定有调控前面板(2)，且调控前面板(2)的正面一侧位置设有显示屏(16)，所述显示屏(16)的接线端和测试仪本体(1)内部设有的主控制器的接线端电性连接。3.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒电阻率测量装置，其特征在于：所述套筒(4)的底端中部位置卡合安装有探针本体(15)，且探针本体(15)和测试仪本体(1)内部设有的主控制器之间电性连接，所述套筒(4)通过转向卡座(5)和伸缩支柱(6)滑动连接，且伸缩支柱(6)和一组所述组合方框(9)之间一体成型设置，所述伸缩支柱(6...

【专利技术属性】
技术研发人员：栾国旗，
申请(专利权)人：天津美芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：