一种硅片涂层用石英装载台制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片加工技术领域，尤其为一种硅片涂层用石英装载台，包括台体、支撑架与电动滑轨，所述台体上端固定连接有石英板，所述石英板上端后侧固定连接有电动滑轨，所述电动滑轨前侧内滑动连接有滑块，所述滑块前端贴合有固定板，所述滑块内穿过有螺栓，且螺栓与滑块螺旋连接，所述固定板内穿过有螺栓，且固定板与滑块螺旋连接，所述固定板底端固定连接有清理架，所述清理架滑动在石英板上侧，所述清理架左右两端均开设有刮槽，所述清理架底侧内固定连接有清理垫，所述清理垫滑动连接在石英板上端，本实用新型专利技术使得在使用完成后，可以自动对石英板表面进行清理与擦拭，提高工作效率后装置表面的整洁度。效率后装置表面的整洁度。效率后装置表面的整洁度。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片涂层用石英装载台


[0001]本技术涉及硅片加工
，具体为一种硅片涂层用石英装载台。

技术介绍

[0002]硅片是属于微电子
，并且在米粒大的硅片上，已能集成16万个晶体管，一般用于航空、航天、工业、农业等领域，其中硅在地壳中含量达25.8％，所以储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一，而涂层是指涂料一次施涂所得到的固态连续膜，是为了防护，绝缘，装饰等目的，当需要对硅片进行涂层时，就需要用到石英装载台。
[0003]市面上大多硅片涂层用石英装载台，不能在使用完成后，对装载台的表面进行自动清理，需要人工进行清理，可能会错过最佳的清理时间，导致涂料粘在装载台上，无法快速清理，并且在使用过程中，不能在光线较暗的状态下对装置进行使用，可能会影响到硅片的涂层效果，实用性差。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种硅片涂层用石英装载台，以解决上述
技术介绍
中提出无法在涂层完成后，自动对石英装载台的表面进行清理，需要等待人工进行操作的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片涂层用石英装载台，包括台体(1)、支撑架(4)与电动滑轨(6)，其特征在于：所述台体(1)上端固定连接有石英板(2)，所述石英板(2)上端后侧固定连接有电动滑轨(6)，所述电动滑轨(6)前侧内滑动连接有滑块(11)，所述滑块(11)前端贴合有固定板(12)，所述滑块(11)内穿过有螺栓(10)，且螺栓(10)与滑块(11)螺旋连接，所述固定板(12)内穿过有螺栓(10)，且固定板(12)与滑块(11)螺旋连接，所述固定板(12)底端固定连接有清理架(13)，所述清理架(13)滑动在石英板(2)上侧，所述清理架(13)左右两端均开设有刮槽(14)，所述清理架(13)底侧内固定连接有清理垫(15)，所述清理垫(15)滑动连接在石英板(2)上端。2.根据权利要求1所述的一种硅片涂层用石英装载台，其特征在于：所述台体(1)后端固定连接有支撑架(4)，所述支撑...

【专利技术属性】
技术研发人员：栾国旗，
申请(专利权)人：天津美芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：