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本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其为一种硅片涂层用石英装载台，包括台体、支撑架与电动滑轨，所述台体上端固定连接有石英板，所述石英板上端后侧固定连接有电动滑轨，所述电动滑轨前侧内滑动连接有滑块，所述滑块前端贴合有固定板，所述滑块内穿过有螺栓...
该专利属于天津美芯电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津美芯电子科技有限公司授权不得商用。

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