加热装置及化学气相沉积设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种加热装置及化学气相沉积设备，加热装置包括：加热器，加热器沿第一方向开设有第一通孔；陶瓷件，陶瓷件借助第一通孔插设于加热器；固定件，可拆卸设于加热器沿第一方向的一侧；其中，垂直于第一方向的平面为参考平面；固定件在参考平面上的正投影与第一通孔在参考平面上的正投影部分重叠。上述加热装置，固定件在参考平面上的正投影与第一通孔在参考面上的正投影部分重叠，如此，通过设置固定件，能够避免陶瓷件从第一通孔中滑落，并且，将固定件和加热器设置成分体式的结构也有利于提高固定件的固定强度，从而能够加强固定件对陶瓷件的限制。强固定件对陶瓷件的限制。强固定件对陶瓷件的限制。

【技术实现步骤摘要】
加热装置及化学气相沉积设备


[0001]本技术涉及化学气相沉积设备中的加热器
，特别是涉及一种加热装置及化学气相沉积设备。

技术介绍

[0002]化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，CVD)是一种制备无机材料的化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料，这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III
‑
V、II
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IV、IV
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VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。
[0003]目前，为增大热传递效果，化学气相沉积设备中的加热器多采用铝制加热器，加热器上具有与加热器一体成型的卡爪，卡爪用于避免插设于加热器的陶瓷件从加热器中滑落。由于卡爪的材质也是铝，铝的强度不高，在顶升晶圆的顶针插设于陶瓷件并沿其轴向往复移动的过程中，陶瓷件会与卡爪发生摩擦。在摩擦力和温度的作用下会导致一体成型的卡爪容易断裂，使陶瓷件从加热器中滑落。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对一体成型的卡爪易于断裂而导致陶瓷件从加热器中滑落的问题，提供一种加热装置，该加热装置具有通过螺纹连接的方式安装于加热器的固定件，固定件能够加强对陶瓷件的限制，从而有效地避免了陶瓷件从加热器中滑落。
[0005]根据本申请的一个方面，本申请实施例提供了一种加热装置，包括：
[0006]加热器，所述加热器沿第一方向开设有第一通孔；
[0007]陶瓷件，所述陶瓷件借助所述第一通孔插设于所述加热器；
[0008]固定件，可拆卸地设于所述加热器沿所述第一方向的一侧；
[0009]其中，垂直于所述第一方向的平面为参考平面；
[0010]所述固定件在所述参考平面上的正投影与所述第一通孔在所述参考平面上的正投影部分重叠。
[0011]在其中一个实施例中，所述固定件通过螺纹连接的方式可拆卸地设于所述加热器沿所述第一方向的一侧。
[0012]在其中一个实施例中，所述加热器的第一表面上沿所述第一方向设有安装孔；所述第一表面为所述加热器沿所述第一方向的一侧表面；
[0013]所述固定件包括连接部和限位部；所述连接部具有相对设置的伸入端和与所述限位部相连接的连接端，所述连接部能够通过所述伸入端伸入所述安装孔内，并通过螺纹连接的方式可拆卸安装于所述安装孔内，所述限位部位于所述加热器沿所述第一方向的一侧；所述限位部在所述参考平面上的正投影与所述第一通孔在所述参考平面上的正投影部
分重叠。
[0014]在其中一个实施例中，所述限位部抵接于所述加热器的所述第一表面。
[0015]在其中一个实施例中，所述固定件为真空螺丝。
[0016]在其中一个实施例中，所述加热装置包括多个固定件；
[0017]全部所述固定件沿所述陶瓷件的圆周方向间隔安装于所述加热器沿所述第一方向的一侧。
[0018]在其中一个实施例中，所述加热装置包括多个所述陶瓷件；
[0019]所述加热器沿其圆周方向间隔开设有多个第一通孔，每个所述陶瓷件借助其中一个所述第一通孔插设于所述加热器。
[0020]根据本申请的另一个方面，本申请的实施例提供一种化学气相沉积设备，用于为衬底的表面镀膜，所述化学气相沉积设备包括上述所述的加热装置，所述加热装置用于加热所述衬底。
[0021]在其中一个实施例中，所述化学气相沉积设备还包括顶针；
[0022]所述陶瓷件沿所述第一方向开设有第三通孔，所述顶针借助所述第三通孔插设于所述陶瓷件，且所述顶针远离所述固定件的一侧用于放置所述衬底；
[0023]所述顶针可受控地沿所述第一方向往复移动，以调节所述衬底和所述加热器在所述第一方向上的间距。
[0024]在其中一个实施例中，所述化学气相沉积设备还包括底座；
[0025]所述加热器安装于所述底座，且所述底座位于所述加热器沿所述第一方向靠近所述固定件的一侧。
[0026]上述加热装置，固定件在参考平面上的正投影与第一通孔在参考面上的正投影部分重叠，也即是固定件能够抵接于陶瓷件靠近固定件的一侧。如此，通过设置固定件，能够避免陶瓷件从第一通孔中滑落，并且，将固定件和加热器设置成分体式的结构也有利于提高固定件的固定强度，从而能够加强固定件对陶瓷件限制。
附图说明
[0027]图1为相关技术中具有加热装置的化学气相沉积设备的示意图；
[0028]图2为相关技术中卡爪和陶瓷件处的局部放大图；
[0029]图3为本技术一实施例中具有加热装置的化学气相沉积设备的示意图；
[0030]图4为本技术一实施例中固定件和陶瓷件处的局部放大图。
[0031]附图标号说明：
[0032]1、加热装置；2、加热器；21、通孔；3、卡爪；4、陶瓷件；41、第一段；42、第二段；43、安装孔；
[0033]100、加热装置；110、加热器；111、第一通孔；112、第一表面；113、安装孔；120、陶瓷件；130、固定件；131、连接部；1311、伸入端；1312、连接端；132、限位部；10、化学气相沉积设备；101、衬底；102、顶针；103、顶针承载件；104、气体盒；105、气体分配盘；106、喷头。
具体实施方式
[0034]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本
技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0035]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0036]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0037]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加热装置，其特征在于，包括：加热器，所述加热器沿第一方向开设有第一通孔；陶瓷件，所述陶瓷件借助所述第一通孔插设于所述加热器；固定件，可拆卸地设于所述加热器沿所述第一方向的一侧；其中，垂直于所述第一方向的平面为参考平面；所述固定件在所述参考平面上的正投影与所述第一通孔在所述参考平面上的正投影部分重叠。2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述固定件通过螺纹连接的方式可拆卸地设于所述加热器沿所述第一方向的一侧。3.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，所述加热器的第一表面上沿所述第一方向设有安装孔；所述第一表面为所述加热器沿所述第一方向的一侧表面；所述固定件包括连接部和限位部；所述连接部具有相对设置的伸入端和与所述限位部相连接的连接端，所述连接部能够通过所述伸入端伸入所述安装孔内，并通过螺纹连接的方式可拆卸安装于所述安装孔内，所述限位部位于所述加热器沿所述第一方向的一侧；所述限位部在所述参考平面上的正投影与所述第一通孔在所述参考平面上的正投影部分重叠。4.根据权利要求3所述的加热装置，其特征在于，所述限位部抵接于所述加热器的所述第一表面。5.根据权利要求1
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4任一项所述的加热装置，其特征在于，所述固定件为真空螺丝。6...

【专利技术属性】
技术研发人员：马儒斌，
申请(专利权)人：上海积塔半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：