一种晶圆方框贴膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆方框贴膜机，涉及晶圆方框贴膜设备技术领域，包括机座以及安装于机座上的进料平台、转运机械手、贴膜平台、定位平台、翻转平台、推料平台、回收平台，转运机械手位于进料平台与定位平台之间，定位平台一端设有贴膜平台，另一端设有翻转平台，贴膜平台用于为定位平台上的方框贴膜，贴膜平台上设有张力控制机构，张力控制机构用于在贴膜时牵引薄膜，翻转平台下方设有推料平台，推料平台输出端设有回收平台。本实用新型专利技术实现了全自动化贴膜以及连续性生产，并且可以在贴膜时很好的控制薄膜表面的张力，相较于传统贴膜的方式，具有提高工作效率，保证晶圆质量的效果。保证晶圆质量的效果。保证晶圆质量的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆方框贴膜机


[0001]本技术涉及晶圆方框贴膜设备
，更具体地说，它涉及一种晶圆方框贴膜机。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆切割时需要使用方框，方框为中间设置通孔的薄片。晶圆位于框架通孔内，晶圆和方框粘贴在同一张薄膜上。通常生产中，薄膜先贴附于方框上，再将晶圆贴附于方框的薄膜上。
[0003]对于薄膜贴附于方框这一生产步骤，目前的方式是通过人工覆膜，人工覆膜存在一些问题：首先，进料、覆膜、转运、回收是各自独立的工序，覆膜时依靠人工将薄膜一张张贴附于方框上，效率较低；其次，人工覆膜时，对薄膜表面的张力难以控制，贴膜后薄膜表面容易具有张力，后期再将晶圆贴附于薄膜上时，如果膜表面有张力，由于晶圆很薄，晶圆因膜表面的张力作用也会造成弯曲和被拉伸的情况。
[0004]基于上述问题，本技术提出一种晶圆方框贴膜机。

技术实现思路

[0005]针对实际运用中这一问题，本技术目的在于提出一种晶圆方框贴膜机，具体方案如下：
[0006]一种晶圆方框贴膜机，包括机座以及安装于机座上的进料平台、转运机械手、贴膜平台、定位平台、翻转平台、推料平台、回收平台，所述进料平台用于放置方框，所述转运机械手位于进料平台与定位平台之间，所述转运机械手用于将待贴膜方框从进料平台转运至定位平台以及将已贴膜方框从定位平台转运至翻转平台上，所述定位平台一端设有贴膜平台，另一端设有翻转平台，所述贴膜平台用于为定位平台上的方框贴膜，所述翻转平台下方设有推料平台，所述翻转平台用于将已贴膜方框传递至推料平台，所述推料平台输出端连接所述回收平台输入端，所述推料平台用于将已贴膜方框输送至回收平台；
[0007]所述贴膜平台上设有张力控制机构，所述张力控制机构用于在贴膜时牵引薄膜。
[0008]进一步的，所述贴膜机构包括底座、设置于定位平台两侧端的移动模组，底座位于移动模组上；
[0009]所述底座上设有放料辊、若干过渡辊、收废辊，其中，放料辊和收废辊均由电机驱动，若干过渡辊转动连接于底座上，底座上还设有吸盘座，吸盘座由升降驱动件驱动升降；
[0010]定位平台旁还设有裁切机构，裁切机构包括裁刀、升降驱动件，裁刀的裁切端与定位座一端对齐。
[0011]进一步的，所述张力控制机构包括位于放料辊和过渡辊之间的上下两张力调节辊，其中上部张力调节辊由调节气缸控制运动，下部张力调节辊可转动连接于底座上。
[0012]进一步的，所述张力控制机构还包括安装于底座上的硅胶辊，硅胶辊位于吸盘座旁。
[0013]进一步的，所述进料平台包括至少一个进料座，每个进料座上均设有容纳腔。
[0014]进一步的，所述转运机械手包括转运驱动动力、旋转臂以及机械抓手，旋转臂一端与电机输出端电性连接，另一端连接机械抓手。
[0015]进一步的，所述定位平台包括定位座，定位座一边设有定位板，另一边设有与方框自带的凸点相对应的缺口，缺口内设弹簧轴。
[0016]进一步的，所述翻转平台包括翻转驱动动力、翻转臂以及翻转吸附座，翻转臂一端与电机输出端电性连接，另一端连接翻转吸附座；
[0017]所述翻转平台还由升降机构驱动升降。
[0018]进一步的，所述推料平台包括推料座、推料驱动动力，推料驱动动力输出端与推料座连接。
[0019]进一步的，所述回收平台包括料仓放置座、升降模组，升降模组输出端与放置座连接；
[0020]所述回收平台旁设置有料仓放料输送平台，料仓放料输送平台包括上下两层放料仓。
[0021]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0022](1)通过进料平台、转运机械手、贴膜平台、定位平台、翻转平台、推料平台、回收平台集成于同一台设备上，通过各个平台之间的相互配合工作，实现了对晶圆方框的全自动化贴膜以及连续性生产，相较于手工贴膜的方式，省时省力，大大提高了工作效率；
[0023](2)通过在贴膜平台上设置张力控制机构，可以在贴膜时很好的控制薄膜表面的张力，可以有效避免因膜表面有张力而影响后期贴晶圆时晶圆弯曲及被拉伸的情况出现，从而保证晶圆质量。
附图说明
[0024]图1为本技术的实施例的整体示意图(一个视角下)；
[0025]图2为本技术的实施例的整体示意图(另一个视角下)；
[0026]图3为本技术的实施例的俯视图；
[0027]图4为本技术中贴膜平台上各个辊之间的工作示意图。
[0028]附图标记：
[0029]1、机座；
[0030]2、进料平台；21、进料座；
[0031]3、转运机械手；31、转运驱动动力；32、旋转臂；33、机械抓手；
[0032]4、贴膜平台；41、张力控制机构；411、张力调节辊；412、调节气缸；413、硅胶辊；42、底座；43、移动模组；44、放料辊；45、过渡辊；46、收废辊；47、吸盘座；48、裁切机构；
[0033]5、定位平台；51、定位座；52、定位板；53、缺口；54、弹簧轴；
[0034]6、翻转平台；61、翻转驱动动力；62、翻转臂；63、翻转吸附座；64、升降机构；
[0035]7、推料平台；71、推料座；72、推料驱动动力；
[0036]8、回收平台；81、料仓放置座；82、升降模组；
[0037]9、料仓放料输送平台；91、上料仓；92、下料仓；
[0038]100、方框。
具体实施方式
[0039]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0040]如图1
‑
4所示，一种晶圆方框贴膜机，包括机座1以及安装于机座1上的进料平台2、转运机械手3、贴膜平台4、定位平台5、翻转平台6、推料平台7、回收平台8，进料平台2用于放置方框100，转运机械手3位于进料平台2与定位平台5之间，转运机械手3用于将待贴膜方框100从进料平台2转运至定位平台5以及将已贴膜方框100从定位平台5转运至翻转平台6上，定位平台5一端设有贴膜平台4，另一端设有翻转平台6，贴膜平台4用于为定位平台5上的方框100贴膜，翻转平台6下方设有推料平台7，翻转平台6用于将已贴膜方框100传递至推料平台7，推料平台7输出端连接回收平台8输入端，推料平台7用于将已贴膜方框100输送至回收平台8；
[0041]贴膜平台4上设有张力控制机构41，张力控制机构41用于在贴膜时牵引薄膜。
[0042]具体地：
[0043]进料平台2包括至少一个进料座21，本实施例中设为两个并列的进料座21，每个进料座21上设有容纳腔，若干方框100堆叠于容纳腔内。进料平台2旁设有转运机械手3。
[0044]转运机械手3包括转运驱动动力31本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆方框贴膜机，其特征在于，包括机座(1)以及安装于机座(1)上的进料平台(2)、转运机械手(3)、贴膜平台(4)、定位平台(5)、翻转平台(6)、推料平台(7)、回收平台(8)，所述进料平台(2)用于放置方框(100)，所述转运机械手(3)位于进料平台(2)与定位平台(5)之间，所述转运机械手(3)用于将待贴膜方框(100)从进料平台(2)转运至定位平台(5)以及将已贴膜方框(100)从定位平台(5)转运至翻转平台(6)上，所述定位平台(5)一端设有贴膜平台(4)，另一端设有翻转平台(6)，所述贴膜平台(4)用于为定位平台(5)上的方框(100)贴膜，所述翻转平台(6)下方设有推料平台(7)，所述翻转平台(6)用于将已贴膜方框(100)传递至推料平台(7)，所述推料平台(7)输出端连接所述回收平台(8)输入端，所述推料平台(7)用于将已贴膜方框(100)输送至回收平台(8)；所述贴膜平台(4)上设有张力控制机构(41)，所述张力控制机构(41)用于在贴膜时牵引薄膜。2.根据权利要求1所述的晶圆方框贴膜机，其特征在于，所述贴膜平台(4)包括底座(42)、设置于定位平台(5)两侧端的移动模组(43)，底座(42)位于移动模组(43)上；所述底座(42)上设有放料辊(44)、若干过渡辊(45)、收废辊(46)，其中，放料辊(44)和收废辊(46)均由电机驱动，若干过渡辊(45)转动连接于底座(42)上，底座(42)上还设有吸盘座(47)，吸盘座(47)由升降驱动件驱动升降；定位平台(5)旁还设有裁切机构(48)，裁切机构(48)包括裁刀、升降驱动件，裁刀的裁切端与定位座(51)一端对齐。3.根据权利要求2所述的晶圆方框贴膜机，其特征在于，所述张力控制机构(41)包括位于放料辊(44)和过渡辊(45)之间的上下两张力调节辊...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗琳，刘杰，
申请(专利权)人：牧哲上海自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：