夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术的实施例提供了一种夹持装置，涉及半导体技术领域。该夹持装置包括夹持体、第一夹持件、第二夹持件以及推动件。第一夹持件可移动地连接于夹持体，第一夹持件设置有第一夹持柱，第一夹持柱用于卡入防护膜一侧的第一卡孔内。第二夹持件可移动地连接于夹持体，第二夹持件设置有第二夹持柱，第二夹持柱用于卡入防护膜另一侧的第二卡孔内。推动件可移动地连接于夹持体，推动件具有用于滑动抵持第一夹持件和第二夹持件的推动壁；推动件用于在相对于夹持件移动的过程中，推动壁同时作用于第一夹持件和第二夹持件，从而使得第一夹持柱和第二夹持柱能够相互靠近以夹持防护膜或相互远离以松开防护膜。远离以松开防护膜。远离以松开防护膜。

【技术实现步骤摘要】
夹持装置


[0001]本技术涉及半导体
，具体而言，涉及一种夹持装置。

技术介绍

[0002]光罩图形面一般需要贴附防护膜，这样可以防止环境或者制程过程中颗粒、粉尘等掉落到图形上而造成后面曝光时产生缺陷。现有技术中，防护膜(pellicle)的取用都是操作人员直接用手操作，即手动贴膜。在操作过程中，人的手与防护膜的直接接触极大的增加了人为导致防护膜破裂的风险，而且所戴手套黏附粉尘也可能印在防护膜框或边缘上，从而影响防护膜的品质。人工转移防护膜时，如果操作不当也会有导致防护膜掉落的风险。
[0003]因此，亟需一款工具辅助贴膜，避免人工直接取用防护膜。

技术实现思路

[0004]本技术提供了一种夹持装置，其能够通过夹持防护膜实现辅助贴膜。
[0005]本技术的实施例可以这样实现：
[0006]本技术的实施例提供了一种夹持装置，其包括：
[0007]夹持体；
[0008]第一夹持件，所述第一夹持件可移动地连接于所述夹持体，所述第一夹持件设置有第一夹持柱，所述第一夹持柱用于卡入防护膜一侧的第一卡孔内；
[0009]第二夹持件，所述第二夹持件可移动地连接于所述夹持体，所述第二夹持件设置有第二夹持柱，所述第二夹持柱用于卡入所述防护膜另一侧的第二卡孔内；以及
[0010]推动件，所述推动件可移动地连接于所述夹持体，所述推动件具有用于滑动抵持所述第一夹持件和所述第二夹持件的推动壁；所述推动件用于在相对于所述夹持件移动的过程中，所述推动壁同时作用于所述第一夹持件和所述第二夹持件，从而使得所述第一夹持柱和所述第二夹持柱能够相互靠近以夹持所述防护膜或相互远离以松开所述防护膜。
[0011]可选地，所述夹持体包括依次连接的第一壳体、第二壳体以及第三壳体，所述第一壳体、所述第二壳体以及所述第三壳体之间限定出用于容纳所述防护膜的夹持空间；
[0012]所述第一壳体设置有第一伸缩孔，所述第一夹持柱可滑动地与所述第一伸缩孔配合以卡入或退出位于所述夹持空间内的所述防护膜的第一卡孔；
[0013]所述第二壳体设置有第一位移孔和第二位移孔，所述第一夹持件用于通过所述第一位移孔与所述推动壁抵持，所述第二夹持件用于通过所述第二位移孔与所述推动壁抵持；
[0014]所述第三壳体设置有第二伸缩孔，所述第二夹持柱可滑动地与所述第二伸缩孔配合以卡入或退出位于所述夹持空间内的所述防护膜的第二卡孔。
[0015]可选地，所述第一夹持件包括依次连接的第一杆件、第二杆件以及第三杆件；所述第一杆件和所述第二杆件垂直，所述第二杆件和所述第三杆件垂直，所述第一杆件和所述第三杆件相对于所述第二杆件背向延伸；所述第一杆件容置于所述第一壳体内，所述第二
杆件容置于所述第二壳体内，所述第三杆件通过所述第一位移孔与所述推动壁抵持；所述第一夹持柱设置于所述第一杆件；和/或，所述第二夹持件包括依次连接的第四杆件、第五杆件以及第六杆件；所述第四杆件和所述第五杆件垂直，所述第五杆件和所述第六杆件垂直，所述第四杆件和所述第六杆件相对于所述第五杆件背向延伸；所述第四杆件容置于所述第三壳体内，所述第五杆件容置于所述第二壳体内，所述第六杆件通过所述第二位移孔与所述推动壁抵持；所述第二夹持柱设置于所述第四杆件。
[0016]可选地，所述夹持体还包括支撑导向杆，所述支撑导向杆连接于所述第二壳体，且沿背向所述夹持空间延伸；所述推动件可移动地套装所述支撑导向杆，以沿所述支撑导向杆的延伸方向推动所述第一夹持件和所述第二夹持件。
[0017]可选地，所述推动件包括抵持板、第一围合板和第二围合板；所述第一围合板和所述第二围合板分别位于所述支撑导向杆的两侧，所述抵持板套装所述支撑导向杆，且，所述抵持板的两侧边沿分别连接所述第一围合板的一侧边沿和所述第二围合板的一侧边沿；所述抵持板位于所述第一围合板和所述第二围合板之间的一侧壁面形成所述推动壁。
[0018]可选地，所述支撑导向杆上设置有限位柱，所述推动件设置有限位槽，所述限位柱限位于所述限位槽内。
[0019]可选地，所述夹持装置还包括把手，所述支撑导向杆设置有外螺纹，所述把手设置有内螺纹，所述内螺纹与所述外螺纹螺纹配合，所述把手用于在相对于所述支撑导向杆转动的过程下，推动所述推动件相对于所述夹持体移动。
[0020]可选地，所述推动壁为弧形壁或相对分布的两个倾斜壁。
[0021]可选地，所述夹持装置还包括第一弹性件，且所述第一弹性件作用于所述夹持体和所述第一夹持件，使得所述第一夹持柱在所述第一弹性件的作用下具备松开所述防护膜的运动趋势；和/或，所述夹持装置还包括第二弹性件，且所述第二弹性件作用于所述夹持体和所述第二夹持件，使得所述第二夹持柱在所述第二弹性件的作用下具备松开所述防护膜的运动趋势。
[0022]可选地，所述第一弹性件为弹簧，所述第一弹性件套装所述第一夹持柱；和/或，所述第二弹性件为弹簧，所述第二弹性件套装所述第二夹持柱。
[0023]本技术实施例的夹持装置的有益效果包括，例如：
[0024]该夹持装置包括夹持体、第一夹持件、第二夹持件以及推动件。第一夹持件可移动地连接于夹持体，第一夹持件设置有第一夹持柱，第一夹持柱用于卡入防护膜一侧的第一卡孔内。第二夹持件可移动地连接于夹持体，第二夹持件设置有第二夹持柱，第二夹持柱用于卡入防护膜另一侧的第二卡孔内。推动件可移动地连接于夹持体，推动件具有用于滑动抵持第一夹持件和第二夹持件的推动壁；推动件用于在相对于夹持件移动的过程中，推动壁同时作用于第一夹持件和第二夹持件，从而使得第一夹持柱和第二夹持柱能够相互靠近以夹持防护膜或相互远离以松开防护膜。这样，使用者可以操作推动件，例如操作第一夹持件和第二夹持件相互远离，这样第一夹持柱和第二夹持柱相互远离，从而方便防护膜放入第一夹持柱和第二夹持柱之间。在防护膜放置到位后，可以操作第一夹持件和第二夹持件相互靠近，这样第一夹持柱和第二夹持柱相互靠近，从而分别卡入防护膜的第一卡孔和第二卡孔，完成防护膜的夹持，便于进行辅助贴膜。由于采用工具进行辅助贴膜，可以避免人工直接取用防护膜，可以大幅提高贴膜质量。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它相关的附图。
[0026]图1为本实施例提供的第一种夹持装置夹持防护膜的示意图；
[0027]图2为本实施例提供的第一种夹持装置第一视角下的示意图；
[0028]图3为本实施例提供的第一种夹持装置第二视角下的示意图；
[0029]图4为本实施例提供的第一种夹持装置第三视角下的示意图；
[0030]图5为本实施例提供的第二种夹持装置的示意图；
[0031]图6为本实施例提本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种夹持装置(100)，其特征在于，包括：夹持体(10)；第一夹持件(20)，所述第一夹持件(20)可移动地连接于所述夹持体(10)，所述第一夹持件(20)设置有第一夹持柱(201)，所述第一夹持柱(201)用于卡入防护膜(200)一侧的第一卡孔(210)内；第二夹持件(30)，所述第二夹持件(30)可移动地连接于所述夹持体(10)，所述第二夹持件(30)设置有第二夹持柱(301)，所述第二夹持柱(301)用于卡入所述防护膜(200)另一侧的第二卡孔(220)内；以及推动件(40)，所述推动件(40)可移动地连接于所述夹持体(10)，所述推动件(40)具有用于滑动抵持所述第一夹持件(20)和所述第二夹持件(30)的推动壁(401)；所述推动件(40)用于在相对于所述夹持件移动的过程中，所述推动壁(401)同时作用于所述第一夹持件(20)和所述第二夹持件(30)，从而使得所述第一夹持柱(201)和所述第二夹持柱(301)能够相互靠近以夹持所述防护膜(200)或相互远离以松开所述防护膜(200)。2.根据权利要求1所述的夹持装置(100)，其特征在于，所述夹持体(10)包括依次连接的第一壳体(11)、第二壳体(12)以及第三壳体(13)，所述第一壳体(11)、所述第二壳体(12)以及所述第三壳体(13)之间限定出用于容纳所述防护膜(200)的夹持空间(101)；所述第一壳体(11)设置有第一伸缩孔(111)，所述第一夹持柱(201)可滑动地与所述第一伸缩孔(111)配合以卡入或退出位于所述夹持空间(101)内的所述防护膜(200)的第一卡孔(210)；所述第二壳体(12)设置有第一位移孔(121)和第二位移孔(122)，所述第一夹持件(20)用于通过所述第一位移孔(121)与所述推动壁(401)抵持，所述第二夹持件(30)用于通过所述第二位移孔(122)与所述推动壁(401)抵持；所述第三壳体(13)设置有第二伸缩孔(131)，所述第二夹持柱(301)可滑动地与所述第二伸缩孔(131)配合以卡入或退出位于所述夹持空间(101)内的所述防护膜(200)的第二卡孔(220)。3.根据权利要求2所述的夹持装置(100)，其特征在于，所述第一夹持件(20)包括依次连接的第一杆件(21)、第二杆件(22)以及第三杆件(23)；所述第一杆件(21)和所述第二杆件(22)垂直，所述第二杆件(22)和所述第三杆件(23)垂直，所述第一杆件(21)和所述第三杆件(23)相对于所述第二杆件(22)背向延伸；所述第一杆件(21)容置于所述第一壳体(11)内，所述第二杆件(22)容置于所述第二壳体(12)内，所述第三杆件(23)通过所述第一位移孔(121)与所述推动壁(401)抵持；所述第一夹持柱(201)设置于所述第一杆件(21)；和/或，所述第二夹持件(30)包括依次连接的第四杆件(31)、第五杆件(32)以及第六杆件(33)；所述第四杆件(31)和所述第五杆件(32)垂直，所述第五杆件(32)和所述第六杆件(33)垂直，所述第四杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢发政，吴仕伟，韩露露，邵金株，
申请(专利权)人：泉意光罩光电科技济南有限公司，
类型：新型
国别省市：