一种显微镜载物平台及光罩检测装置制造方法及图纸

本申请公开了一种显微镜载物平台及光罩检测装置，涉及光罩检测技术领域。该显微镜载物平台包括安装架以及滑动设置在安装架上的光罩放置架，安装架上设置有连杆，连杆与安装架的安装平面平行，光罩放置架沿连杆的延伸方向做往复直线运动，以使光罩放置架沿安装架的一侧面拉出或收回，光罩放置架用于放置光罩，以通过显微镜对光罩进行检测。以通过显微镜对光罩进行检测。以通过显微镜对光罩进行检测。

【技术实现步骤摘要】
一种显微镜载物平台及光罩检测装置


[0001]本申请涉及光罩检测
，具体而言，涉及一种显微镜载物平台及光罩检测装置。

技术介绍

[0002]光罩制程中，尤其在最终清洗之前需要在显微镜上进行目检，目检时会对光罩进行全面检查，包括检验机台不检测的光罩图形以外的区域。进行目检前需要使用光罩夹将待目检光罩从水晶盒内转移到显微镜平台上。
[0003]现有技术中，一般将显微镜平台下降至极限位置后再转移光罩，然而，由于显微镜平台下降高度的限制，当显微镜平台下降到最低位置时(即显微镜平台与显微镜物镜镜头之间的距离最大时)，显微镜平台与显微镜镜头之间的距离仍然不足够大。当转移光罩到显微镜平台上或从平台上转移到水晶盒内时，光罩容易和显微镜物镜镜头发生磕碰，可能会刮伤光罩，严重甚至将直接导致光罩报废。光罩放在显微镜平台上的接触位置是光罩背面上下两条条形接触。由于接触面积比较大，目检机平台的洁净度将直接影响目检后光罩的洁净度，增加清洗频率，而且显微镜暴露在无尘室中，没有独立的负压洁净系统，极容易受环境污染。显微镜平台的材料为合金，在放取光罩过程中，操作不当很容易导致光罩与显微镜平台刮碰，严重的刮伤会导致光罩报废。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于提供一种显微镜载物平台及光罩检测装置，其能够避免光罩与显微镜发生碰撞，以保证光罩检测过程中光罩的完整性。
[0005]本申请的实施例是这样实现的：
[0006]本申请实施例的一方面，提供一种显微镜载物平台，包括安装架以及滑动设置在所述安装架上的光罩放置架，所述安装架上设置有连杆，所述连杆与所述安装架的安装平面平行，所述光罩放置架沿所述连杆的延伸方向做往复直线运动，以使所述光罩放置架沿所述安装架的一侧面拉出或收回，所述光罩放置架用于放置光罩，以通过显微镜对所述光罩进行检测。
[0007]可选地，作为一种可实施的方式，所述光罩放置架上设置有套管，所述套管滑动套设在所述连杆上，所述光罩放置架通过所述套管与所述连杆滑动连接。
[0008]可选地，作为一种可实施的方式，所述光罩放置架包括连接板以及设置在所述连接板上的多个光罩放置座，多个所述光罩放置座均布在所述连接板四周，所述光罩卡持于所述光罩放置座上。
[0009]可选地，作为一种可实施的方式，每个所述光罩放置座上形成有台阶，所述光罩卡持于所述台阶上。
[0010]可选地，作为一种可实施的方式，所述连杆上还套设有缓冲件，当所述光罩放置架收回于所述安装架时，所述缓冲件两端分别与所述套管和所述安装架抵持。
[0011]可选地，作为一种可实施的方式，所述连接板朝向所述缓冲件的一侧设置有限位板，在所述光罩放置座完全凸出所述安装架后，所述限位板与所述安装架抵持。
[0012]可选地，作为一种可实施的方式，所述安装架上还设置有卡持组件，当所述光罩放置架收回于所述安装架时，所述卡持组件与所述套管端部抵持。
[0013]可选地，作为一种可实施的方式，所述卡持组件包括卡持件以及设置在所述卡持件与所述安装架之间的拉伸弹簧，当所述光罩放置架收回于所述安装架时，所述卡持件与所述套管端部抵持。
[0014]可选地，作为一种可实施的方式，所述连接板上设置有固定孔，所述光罩放置座上设置有连接孔，紧固件依次穿过所述连接孔和所述固定孔，将所述光罩放置座固定于所述连接板上。
[0015]本申请实施例的另一方面，提供一种光罩检测装置，包括显微镜以及如上任意一项所述的显微镜载物平台，所述显微镜与所述显微镜载物平台具体预设距离。
[0016]本申请实施例的有益效果包括：
[0017]本实施例提供的显微镜载物平台及光罩检测装置，包括安装架以及滑动设置在安装架上的光罩放置架，安装架上设置有连杆，连杆与安装架的安装平面平行，光罩放置架沿连杆的延伸方向做往复直线运动，以使光罩放置架沿安装架的一侧面拉出或收回，光罩放置架不会有垂直于安装平面方向的运动，避免转移过程中光罩与显微镜发生碰撞，光罩放置架用于放置光罩，以通过显微镜对光罩进行检测，以保证光罩检测过程中光罩的完整性。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0019]图1为本申请实施例提供的显微镜载物平台的结构示意图之一；
[0020]图2为本申请实施例提供的显微镜载物平台的结构示意图之二。
[0021]图标：100
‑
显微镜载物平台；110
‑
安装架；111
‑
连杆；1111
‑
缓冲件；120
‑
光罩放置架；121
‑
连接板；1211
‑
限位板；122
‑
光罩放置座；123
‑
套管；130
‑
卡持组件；131
‑
卡持件；132
‑
拉伸弹簧；200
‑
光罩。
具体实施方式
[0022]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0023]因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0024]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0025]在本申请的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0026]请参照图1，本实施例提供一种显微镜载物平台100，包括安装架110以及滑动设置在安装架110上的光罩放置架120，安装架110上设置有连杆111，连杆111与安装架110的安装平面平行，光罩放置架120沿连杆111的延伸方向做往复直线运动，以使光罩放置架120沿安装架110的一侧面拉出或收回，光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显微镜载物平台，其特征在于，包括安装架以及滑动设置在所述安装架上的光罩放置架，所述安装架上设置有连杆，所述连杆与所述安装架的安装平面平行，所述光罩放置架沿所述连杆的延伸方向做往复直线运动，以使所述光罩放置架沿所述安装架的一侧面拉出或收回，所述光罩放置架用于放置光罩，以通过显微镜对所述光罩进行检测。2.根据权利要求1所述的显微镜载物平台，其特征在于，所述光罩放置架上设置有套管，所述套管滑动套设在所述连杆上，所述光罩放置架通过所述套管与所述连杆滑动连接。3.根据权利要求2所述的显微镜载物平台，其特征在于，所述光罩放置架包括连接板以及设置在所述连接板上的多个光罩放置座，多个所述光罩放置座均布在所述连接板四周，所述光罩卡持于所述光罩放置座上。4.根据权利要求3所述的显微镜载物平台，其特征在于，每个所述光罩放置座上形成有台阶，所述光罩卡持于所述台阶上。5.根据权利要求3所述的显微镜载物平台，其特征在于，所述连杆上还套设有缓冲件，当所述光罩放置架收回于所述安装架时，所述缓冲件两端分...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢发政，吴仕伟，韩露露，邵金株，
申请(专利权)人：泉意光罩光电科技济南有限公司，
类型：新型
国别省市：