一种多角度快速调节光学元件的装置及方法制造方法及图纸

一种多角度快速调节光学元件的装置，该装置包括激光干涉仪、干涉仪标准镜头、零位补偿镜和第一调整机构；第一调整机构上安装有旋转转台，旋转转台安装有第二调整机构，第二调整机构上还安装有第三调整及检测支撑平台，被检光学元件置于第三调整及检测支撑平台上，本发明专利技术是通过灵敏度矩阵可以快速计算各调整机构的调整量，从而快速地调整各调整机构以及被检光学的空间位置，大大节省了调整时间，也降低调整难度，通过泽尼克第二、三、七、八项的系数会使得调整的精度更高。会使得调整的精度更高。会使得调整的精度更高。

【技术实现步骤摘要】
一种多角度快速调节光学元件的装置及方法


[0001]本专利技术涉及光学干涉测量
，尤其涉及一种多角度快速调节光学元件的装置及方法。

技术介绍

[0002]随着现代社会需求的发展，对于光学元件面形精度的要求越来越高，特别是在光刻镜头中，对元件面形RMS值的要求达到纳米甚至深亚纳米量级，这对光学检测来说是一个极高的挑战。
[0003]旋转平移绝对检测法是提高光学检测精度常用的一种绝对标定方法。1999年，日本Nikon公司报导了基于旋转平移的光学球面绝对检测技术原理于实验装置，2001年，德国Carl Zeiss公司在自制的斐索型干涉仪上运用该技术实现了光学球面的绝对检测，检测精度达到了0.15nm RMS(Bernd D,Gunther S,Interferometric testing of optical surfaces at its current limit[J],Optik,2001,112(9):392
‑
398)。相比于双球面绝对检测方法，旋转平移无需猫眼位置的精确判断，并在检测凸球面时能够本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多角度快速调节光学元件的装置，其特征在于：该装置包括激光干涉仪、干涉仪标准镜头、零位补偿镜和第一调整机构；所述第一调整机构上安装有旋转转台，所述旋转转台安装有第二调整机构，所述第二调整机构上还安装有第三调整及检测支撑平台，被检光学元件置于所述第三调整及检测支撑平台上。2.根据权利要求1所述的多角度快速调节光学元件的装置，其特征在于：所述激光干涉仪、干涉仪标准镜头、零位补偿镜与第一调整机构垂直某一条线设置。3.一种多角度快速调节光学元件的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：利用第三调整机构和第一调整机构调整被检光学元件，使得转动旋转转台时干涉仪监视器上的光点不动；S2：建立第一调整机构、第二调整机构关于泽尼克第二项、第三项(XY方向倾斜)以及第七项、第八项慧差项系数的灵敏度矩阵；S3：利用干涉仪检测被检光学元件，记录此时原始倾斜及慧差项系数...

【专利技术属性】
技术研发人员：于杰，邱宏伟，金春水，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：