透镜面形检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种透镜面形检测装置，透镜面形检测装置用于对具有非球面的被检测结构进行面型检测，透镜面形检测装置包括：干涉仪；标准镜，干涉仪设置在标准镜的出光侧；计算全息结构，计算全息结构设置在标准镜的出光侧，且计算全息结构位于标准镜的焦点处，计算全息结构具有对准区域，对准区域能够对光线进行透射；调整结构，被检测结构设置在调整结构上，调整结构具有通孔，至少部分光线经过标准镜后穿过对准区域、通孔后射出，以实现计算全息结构与被检测结构之间的对准。本实用新型专利技术解决了现有技术中非球面、自由曲面存在检测误差大的问题。大的问题。大的问题。

【技术实现步骤摘要】
透镜面形检测装置


[0001]本技术涉及透镜检测设备
，具体而言，涉及一种透镜面形检测装置。

技术介绍

[0002]在光学成像领域中，离轴非球面、自由曲面因其优异的像差校正能力，在提升光学系统性能、降低光学系统重量、减小光学系统体积方面具有重要应用，被广泛应用于航空航天光学望远镜、近眼显示光学系统、极紫外光刻物镜等领域。具有离轴非球面、自由曲面的透镜的面形各处差异较大，不利于检测。而现有中大多采用三坐标、Luphscan(三维激光扫描点云处理软件)、UA3P(三维光学轮廓测量仪)等方式进行检测，计算全息图检测方法具有补偿范围大、检测精度高、检测速度快等优点被广泛应用，但是在采用计算全息图检测方法的过程中被检测面形的面形误差受镜片调整姿态的影响而不同，因此并不能确定被检测面形的面形误差值的大小，导致整个面形的检测结果并不准确，也就是说对非球面、自由曲面的检测误差较大。
[0003]也就是说，现有技术中非球面、自由曲面存在检测误差大的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的在于提供一种透镜面形检测装置，以解决现有技术中非球面、自由曲面存在检测误差大的问题。
[0005]为了实现上述目的，根据本技术的一个方面，提供了一种透镜面形检测装置，用于对具有非球面的被检测结构进行面型检测，透镜面形检测装置包括：干涉仪；标准镜，干涉仪设置在标准镜的出光侧；计算全息结构，计算全息结构设置在标准镜的出光侧，且计算全息结构位于标准镜的焦点处，计算全息结构具有对准区域，对准区域能够对光线进行透射；调整结构，被检测结构设置在调整结构上，调整结构具有通孔，至少部分光线经过标准镜后穿过对准区域、通孔后射出，以实现计算全息结构与被检测结构之间的对准。
[0006]进一步地，计算全息结构包括：调整架；计算全息图，计算全息图设置在调整架上，通过调整调整架的位置调整计算全息图的位置，计算全息图具有同轴设置的第一区域和第二区域，第一区域位于第二区域的内侧，对准区域设置在第二区域内，且第二区域除对准区域以外的区域能够对光线进行反射以用于将计算全息结构与干涉仪对准，第一区域能够对光线进行透射以检测被检测结构的面形。
[0007]进一步地，对准区域为多个，多个对准区域绕第一区域的外周等间隔设置。
[0008]进一步地，调整结构包括：调整件；调整工装，调整工装设置在调整件上，调整工装具有安装区域，被检测结构设置在安装区域内，安装区域与第一区域对应，通孔为多个，多个通孔绕安装区域的周向间隔设置，多个通孔与多个对准区域一一对应设置。
[0009]进一步地，调整工装具有容纳凹槽，容纳凹槽内的区域为安装区域，被检测结构的至少一部分位于容纳凹槽内。
[0010]进一步地，被检测结构的非球面朝向计算全息结构。
[0011]进一步地，通孔的形状与对准区域的形状相同。
[0012]进一步地，通孔为长条形孔或者十字形孔。
[0013]进一步地，透镜面形检测装置还包括接收板，接收板设置在调整结构远离计算全息结构的一侧，接收板用于接收通孔透过的光。
[0014]进一步地，干涉仪与标准镜连接。
[0015]应用本技术的技术方案，透镜面形检测装置用于对具有非球面的被检测结构进行面型检测，透镜面形检测装置包括干涉仪、标准镜、计算全息结构和调整结构，干涉仪设置在标准镜的出光侧；计算全息结构设置在标准镜的出光侧，且计算全息结构位于标准镜的焦点处，计算全息结构具有对准区域，对准区域能够对光线进行透射；被检测结构设置在调整结构上，调整结构具有通孔，至少部分光线经过标准镜后穿过对准区域、通孔后射出，以实现计算全息结构与被检测结构之间的对准。
[0016]干涉仪用于产生干涉光，以便于后续利用干涉光能够产生干涉条纹的特性进行对准和检测。标准镜能够提供不同光圈的球面波，以便于对不同的被检测结构进行检测。计算全息结构用来传递基准，同时用来检测。调整结构主要用于调整被检测结构在光路中的位置。而标准镜、计算全息结构、被检测结构均在干涉仪输出的光束的中心光轴上。通过在计算全息结构上设置对准区域，在被检测结构上设置通孔，在经过对准区域处射出的光能够进入到通孔内就使得计算全息结构与调整结构进行了对准，进而将被检测结构与计算全息结构进行了对准，保证了对被检测结构检测的准确性。而通过设置对准区域和通孔配合，能够减少计算全息结构与调整结构之间调整的时间，还可以减少对准的误差。
附图说明
[0017]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0018]图1示出了本技术的一个可选实施例的透镜面形检测装置的结构示意图；
[0019]图2示出了本技术的一个可选实施例的干涉仪、标准镜、计算全息图、调整工装、接收板的位置关系图；
[0020]图3示出了本技术的一个可选实施例的计算全息图的结构示意图；
[0021]图4示出了本技术的一个可选实施例的调整工装与被检测结构的位置关系图；
[0022]图5示出了本技术的另一个可选实施例的调整工装与被检测结构的位置关系；
[0023]图6示出了本技术的一个可选实施例的透镜面形检测装置的光路示图；
[0024]图7示出了图6中A处的放大图；
[0025]图8示出了本技术的另一个可选实施例的透镜面形检测装置的光路示图。
[0026]其中，上述附图包括以下附图标记：
[0027]10、干涉仪；20、标准镜；30、计算全息结构；31、对准区域；32、调整架；33、计算全息图；34、第一区域；35、第二区域；40、调整结构；41、通孔；42、调整件；43、调整工装；44、安装区域；50、被检测结构；60、接收板。
具体实施方式
[0028]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0029]需要指出的是，除非另有指明，本申请使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属
的普通技术人员通常理解的相同含义。
[0030]在本技术中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、顶、底”通常是针对附图所示的方向而言的，或者是针对部件本身在竖直、垂直或重力方向上而言的；同样地，为便于理解和描述，“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内、外，但上述方位词并不用于限制本技术。
[0031]为了解决现有技术中非球面、自由曲面存在检测误差大的问题，本技术提供了一种透镜面形检测装置。
[0032]如图1至图8所示，透镜面形检测装置用于对具有非球面的被检测结构50进行面型检测，透镜面形检测装置包括干涉仪10、标准镜20、计算全息结构30和调整结构40，干涉仪10设置在标准镜20的出光侧；计算全息结构30设置在标准镜20本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种透镜面形检测装置，其特征在于，用于对具有非球面的被检测结构(50)进行面型检测，所述透镜面形检测装置包括：干涉仪(10)；标准镜(20)，所述干涉仪(10)设置在所述标准镜(20)的出光侧；计算全息结构(30)，所述计算全息结构(30)设置在所述标准镜(20)的出光侧，且所述计算全息结构(30)位于所述标准镜(20)的焦点处，所述计算全息结构(30)具有对准区域(31)，所述对准区域(31)能够对光线进行透射；调整结构(40)，所述被检测结构(50)设置在所述调整结构(40)上，所述调整结构(40)具有通孔(41)，至少部分光线经过所述标准镜(20)后穿过所述对准区域(31)、所述通孔(41)后射出，以实现所述计算全息结构(30)与所述被检测结构(50)之间的对准。2.根据权利要求1所述的透镜面形检测装置，其特征在于，所述计算全息结构(30)包括：调整架(32)；计算全息图(33)，所述计算全息图(33)设置在所述调整架(32)上，通过调整所述调整架(32)的位置调整所述计算全息图(33)的位置，所述计算全息图(33)具有同轴设置的第一区域(34)和第二区域(35)，所述第一区域(34)位于所述第二区域(35)的内侧，所述对准区域(31)设置在所述第二区域(35)内，且所述第二区域(35)除所述对准区域(31)以外的区域能够对光线进行反射以用于将所述计算全息结构(30)与所述干涉仪(10)对准，所述第一区域(34)能够对光线进行透射以检测所述被检测结构(50)的面形。3.根据权利要求2所述的透镜面形检测装置，其特征在于，所述对准区域(31)为多个，多个所述对准区域(31)绕...

【专利技术属性】
技术研发人员：国成立，张健，李元正，戴付建，赵烈烽，
申请(专利权)人：浙江舜宇光学有限公司，
类型：新型
国别省市：