一种半导体芯片萃盘全自动智能瑕疵检测设备制造技术

本发明专利技术公开了一种半导体芯片萃盘全自动智能瑕疵检测设备，包括机架，所述机架上安装有上料仓组件，所述机架位于上料仓组件一侧安装有分料机构，所述机架位于上料仓组件另一侧安装有检测治具，所述机架位于检测治具后方安装有分选机构，所述分选机构上安装有检测平台。本发明专利技术的检测治具在匀速运动过程中，检测平台对该萃盘实时检测，实现了AOI的瑕疵检测，判定准确率≥98%，过杀率：≤1%；本设备实现了全自动化检测，实现无人智能化；本设备为企业节省了大量的人力与物力成本。节省了大量的人力与物力成本。节省了大量的人力与物力成本。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体芯片萃盘全自动智能瑕疵检测设备


[0001]本专利技术涉及半导体检测
，具体是一种半导体芯片萃盘全自动智能瑕疵检测设备。

技术介绍

[0002]半导体芯片制造属于高科技领域，其生产效率影响到下游的笔记本、手机等电子产品的生产；在半导体芯片的生产过程中涉及到瑕疵检测工序，其是产品质量检验的重要检测内容之一，在工业智能制造生产中具有广泛的市场应用需求，传统的检测手段是通过人工检测芯片瑕疵，随着半导体芯片的复杂化、精密化，人工检测效率和可靠性变得越来越低，且人工检测的成本也不断上升。
[0003]目前国内的半导体行业中，都是采用大量的人工检测。人工在显微镜下，对每件片晶体萃盘进行人工目视，人工观察表面是否有瑕疵，判断该瑕疵是否影响内置晶体的使用。
[0004]此人工目视的检测方法，缺点很多，具体如下：1、依据每个检测工的主观性判定，不同人对同一个萃盘目视判定的结果可能不同，导致判定结果不稳定；2、人工判定的工作效率有限，需要组织大量人工进行目测，而在半导体行业中，产量巨大，需要相应匹配的人工效率，目前的市场条件下，是难本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体芯片萃盘全自动智能瑕疵检测设备，包括机架（1），其特征在于：所述机架（1）上安装有上料仓组件（2），所述机架（1）位于上料仓组件（2）一侧安装有分料机构（3），所述机架（1）位于上料仓组件（2）另一侧安装有检测治具（4），所述机架（1）位于检测治具（4）后方安装有分选机构（6），所述分选机构（6）上安装有检测平台（5）。2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片萃盘全自动智能瑕疵检测设备，其特征在于：所述上料仓组件（2）包括上料支架，所述上料支架底端安装有第一伺服电机（201）和螺杆（202），所述第一伺服电机（201）和螺杆（202）之间通过同步轮和同步带进行驱动，所述螺杆（202）上安装有升降架，所述升降架顶端安装有第二伺服电机（205），所述第二伺服电机（205）通过滚珠丝杆（206）驱动有移动座，所述移动座顶端安装有待检料盒一（207）、待检料盒二（208）、待检料盒三（209）和NG料盒（210）。3.根据权利要求2所述的一种半导体芯片萃盘全自动智能瑕疵检测设备，其特征在于：所述升降架与上料支架之间通过第一直线轴承（203）连接，所述升降架上安装有检测组件（204），所述移动座与升降架之间通过滑块和滑轨连接。4.根据权利要求1所述的一种半导体芯片萃盘全自动智能瑕疵检测设备，其特征在于：所述分料机构（3）包括分料支架，所述分料支架上安装有第一直线滑轨（301）和齿条（303），所述第一直线滑轨（301）上滑动安装有滑动板，所述滑动板上安装有第三伺服电机（302），所述第三伺服电机（302）的输出端安装有与齿条（303）配合的齿轮，所述滑动板上可调节安装有第一推杆（304）。5.根据权利要求4所述的一种半导体芯片萃盘全自动智能瑕疵检测设备，其特征在于：所述第一推杆（304）通过滑动座（307）与滑动板滑动连接，所述滑动板与滑动座（307）之间设置有第一弹簧（306），所述滑动板上安装有对第一弹簧（306）进行调节的第一弹簧调节器（305），所述第一推杆（304）远离滑动座（307）一端开设...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾宪权，于枫，
申请(专利权)人：智翼博智能科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：