下载一种半导体芯片萃盘全自动智能瑕疵检测设备的技术资料

文档序号:36439230

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本发明公开了一种半导体芯片萃盘全自动智能瑕疵检测设备,包括机架,所述机架上安装有上料仓组件,所述机架位于上料仓组件一侧安装有分料机构,所述机架位于上料仓组件另一侧安装有检测治具,所述机架位于检测治具后方安装有分选机构,所述分选机构上安装有检...
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