一种离子镀膜用可移动镀板固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种离子镀膜用可移动镀板固定装置，包括用于夹持镀板的夹板(1)，夹板(1)设置在夹装平台(2)上，夹装平台(2)设置在丝杆(3)上，且夹装平台(2)连接有用于对夹装平台(2)进行导向和固定的平台固定杆(4)。与现有技术相比，本实用新型专利技术可避免由于溅射粒子束的不均匀性导致的镀膜厚度不均匀的问题。不均匀性导致的镀膜厚度不均匀的问题。不均匀性导致的镀膜厚度不均匀的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种离子镀膜用可移动镀板固定装置


[0001]本技术涉及机械设计
，具体涉及一种离子镀膜用可移动镀板固定装置。

技术介绍

[0002]离子镀膜是材料表面处理的一种方式，其原理是通过离子束的溅射作用，使得靶材与镀板表面结合形成镀膜的一种方式。当前用于离子镀膜的镀板形状各不相同，有平板型、卷筒型和不规则曲面结构类型。在离子镀膜时，尽管平板型工件相对于其它两类工件，形成的镀膜具有更好的均匀性与结合强度，然而在实际镀膜时，由于溅射离子束的不均性，会导致镀板表面镀膜厚度在不同区域分布具存在差异，这直接导致了镀膜膜厚的不均匀性，使得镀膜质量达不到要求。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种离子镀膜用可移动镀板固定装置，避免由于溅射粒子束的不均匀性导致的镀膜厚度不均匀的问题。
[0004]本技术的目的可以通过以下技术方案来实现：一种离子镀膜用可移动镀板固定装置，包括用于夹持镀板的夹板，夹板设置在夹装平台上，夹装平台设置在丝杆上，且夹装平台连接有用于对夹装平台进行导向和固定的平台固定杆。
[0005]优选地，所述的平台固定杆包括对称设置在丝杆两侧的固定杆。
[0006]优选地，所述的夹装平台底部设有用于平台固定杆穿过的通孔。
[0007]优选地，所述的夹装平台底部与丝杆螺纹连接。
[0008]优选地，所述的丝杆连接有驱动电机。
[0009]进一步优选地，所述的驱动电机为伺服电机。
[0010]更进一步优选地，所述的驱动电机与丝杆之间设有减速器。r/>[0011]优选地，所述的丝杆和平台固定杆设置在底板上。
[0012]进一步优选地，所述的底板设置在离子镀膜装置内。
[0013]优选地，所述的夹板上设有用于使夹板夹紧镀板的固定螺栓。
[0014]优选地，所述的丝杆驱动夹装平台平移的距离在
‑
300
‑
300mm之间，夹装平台移动速度为10
‑
30mm/s之间。
[0015]与现有技术相比，本技术具有以下优点：
[0016]1.本技术装置在离子镀膜时，可实现镀板移动，从而保证了镀膜在镀板上的均匀分布，有效的避免了由于溅射粒子束的不均匀性导致的镀膜厚度不均匀的问题；
[0017]2.本技术可覆盖溅射粒子束的每一个区域，从而保证了镀膜厚度的均匀性；
[0018]3.本技术通过夹装平台、丝杆和平台固定板的配合设计，将丝杆的转动稳定的转化为夹装平台稳定的平移运动，结构简单紧凑，稳定性强；
[0019]4.本技术通过伺服电机和减速器的配合设计，可对电机转速进行调控，进而
控制夹装平台的移动速度的高精度控制，保证镀膜效果。
附图说明
[0020]图1为本技术离子镀膜用可移动镀板固定装置的俯视图；
[0021]图中：1
‑
夹板，2
‑
夹装平台，3
‑
丝杆，4
‑
平台固定杆，5
‑
驱动电机，6
‑
减速器，7
‑
底板，8
‑
固定螺栓。
具体实施方式
[0022]下面结合附图和具体实施例对本技术进行详细说明。以下实施例在以本技术技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本技术的保护范围不限于下述的实施例。
[0023]实施例1
[0024]一种离子镀膜用可移动镀板固定装置，如图1所示，包括夹板1、夹装平台2、丝杆3和平台固定杆4，夹板1设置在夹装平台2上，夹装平台2设置在用于驱动其平移的丝杆3上，在夹装平台2底部两侧还连接有平台固定杆4，平台固定杆4为光杆，对称设置在丝杆3两侧，与丝杆3平行，从夹装平台2底部穿过，可以对夹装平台2起到导向和固定作用，防止夹装平台2在丝杆3上发生偏移或晃动，提高稳定性。
[0025]实施例2
[0026]一种离子镀膜用可移动镀板固定装置，丝杆3连接有驱动电机5，驱动电机5为伺服电机，伺服电机与丝杆3之间设有减速器6，丝杆3和平台固定杆4设置在底板7上，底板7设置在离子镀膜装置内，夹板1上设有用于使夹板1夹紧镀板的固定螺栓8。其余与实施例1相同。
[0027]本实施例离子镀膜用可移动镀板固定装置的使用方法为：
[0028]以对尺寸为180mm
×
100mm的钛板离子镀膜实验为例。
[0029]1、为了保证镀膜的结合强度，用沾有酒精的棉花对180mm
×
100mm的钛板表面进行擦拭，直至肉眼观察不到有灰尘存在，随后用吹风机将其吹干；
[0030]2、将其轻持并安装在夹板1之间，调整好位置，并旋紧固定螺栓8；
[0031]3、关闭离子镀膜装置舱门，并开启真空系统获取真空；
[0032]4、待真空达到3
×
10
‑4Pa后，通入离子源气体Kr气，使真空维持在2.0
×
10
‑4Pa；
[0033]5、设定夹装平台2移动范围为
‑
200
‑
200mm，移动速度为15mm/s；
[0034]6、点击面板控制按钮“运行”，伺服电机运行，并通过减速器6将动力传输至丝杠3，带动夹装平台2按预先设置的程序运行，带动镀板左右平移，平台固定杆4和底板7对整个装置起到固定作用；
[0035]7、开启离子源，开始离子镀膜。
[0036]整个操作过程在手套箱中进行，避免了与空气、水、油等物质接触，能很好的保护镀层金属不受外界因素的影响。
[0037]本装置可以在离子镀膜时使镀板左右平移，镀板平移范围覆盖了溅射粒子束的每一个区域，很好的避免了由于溅射离子束不均匀造成的镀膜厚度不一的问题。
[0038]上述的对实施例的描述是为便于该
的普通技术人员能理解和使用本技术。熟悉本领域技术的人员显然可以容易地对这些实施例做出各种修改，并把在此说
明的一般原理应用到其他实施例中而不必经过创造性的劳动。因此，本技术不限于上述实施例，本领域技术人员根据本技术的揭示，不脱离本技术范畴所做出的改进和修改都应该在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离子镀膜用可移动镀板固定装置，其特征在于，包括用于夹持镀板的夹板(1)，夹板(1)设置在夹装平台(2)上，夹装平台(2)设置在丝杆(3)上，且夹装平台(2)连接有用于对夹装平台(2)进行导向和固定的平台固定杆(4)。2.根据权利要求1所述的离子镀膜用可移动镀板固定装置，其特征在于，所述的平台固定杆(4)包括对称设置在丝杆(3)两侧的固定杆。3.根据权利要求1所述的离子镀膜用可移动镀板固定装置，其特征在于，所述的夹装平台(2)底部设有用于平台固定杆(4)穿过的通孔。4.根据权利要求1所述的离子镀膜用可移动镀板固定装置，其特征在于，所述的夹装平台(2)底部与丝杆(3)螺纹连接。5.根据权利要求1所述的离子镀膜用可移动镀板固定装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈江，李鸿亚，周利华，石新权，华强，吴卓歆，姜岳峰，牛书通，李文腾，雷震，
申请(专利权)人：中核四零四有限公司，
类型：新型
国别省市：