导流筒悬挂装置及单晶炉制造方法及图纸

技术编号:36428504 阅读:7 留言:0更新日期:2023-01-20 22:39
本申请涉及一种导流筒悬挂装置及单晶炉,悬挂装置设置有两组,每组悬挂装置均包括:挂块,其与水冷屏的横杆连接,且设置有卡槽;挂杆,其悬挂在挂块上,且穿过卡槽与导流筒连接,挂杆远离导流筒的一端设置有限位端部;插销杆,其穿设在挂块上,并将挂杆限位在卡槽内,插销杆与限位端部相抵接,并且插销杆倾斜设置,插销杆的低端靠近导流筒的轴线,插销杆的高端远离导流筒的轴线。本申请仅需要制备插销杆,并将插销杆倾斜设置在指定位置,即可使得导流筒在插销杆上利用自身重力以实现导流筒的自动纠偏的功能;而无需制备难以控制其成型效果以及制备难度较大的球形凹槽和球面凸出部,因此可以降低制备悬挂装置的生产投入,并降低制备的难度。备的难度。备的难度。

【技术实现步骤摘要】
导流筒悬挂装置及单晶炉


[0001]本申请涉及单晶炉
,特别是涉及一种导流筒悬挂装置及单晶炉。

技术介绍

[0002]单晶炉是将多晶材料制备为单晶硅的制备,其热场的形成设备包括导流筒10,导流筒10通常套设于水冷屏9外,并随水冷屏9的升降而同步移动。
[0003]在现有技术中,为使得导流筒10的位置不易偏移,以保持与水冷屏9的同轴度,进而以避免单晶炉的热场重复性(即一致性)变差,通常将导流筒10通过悬挂装置悬挂在水冷屏9的横杆91上。悬挂装置包括与水冷屏9的横杆91连接的挂块1以及与挂块1可拆卸连接的挂件,挂件用于悬挂导流筒10。挂块1上设置用于挂件穿过的卡槽4,并在卡槽4的两个相对设置的侧壁上开设球形凹槽,与此同时,挂件上设置球面凸出部,球面凸出部与球形凹槽形成球铰结构,以使得导流筒10在位置发生偏移时可以利用自身重力而实现自动纠偏。
[0004]但是,在现有技术中的悬挂装置中,若球面凸出部和球形凹槽成型效果较差或者相互配合是适配度较差,均难以实现自动纠偏的功能,而保障球面凸出部和球形凹槽成型效果及适配度需要投入较高的成本,且制备的难度也比较大。

技术实现思路

[0005]基于此,本申请提供一种导流筒悬挂装置及单晶炉,以改善现有技术中制备导流筒悬挂装置成本高且难度大的问题。
[0006]第一方面,本申请提供一种导流筒悬挂装置,所述悬挂装置设置有两组,沿导流筒的轴线,两组所述悬挂装置之间相距180度的旋转角度,其特征在于,每组所述悬挂装置均包括:
[0007]挂块,其与水冷屏的横杆连接,且设置有卡槽;
[0008]挂杆,其悬挂在所述挂块上,且穿过所述卡槽与所述导流筒连接,所述挂杆远离所述导流筒的一端设置有限位端部;和
[0009]插销杆,其穿设在所述挂块上,并将所述挂杆限位在所述卡槽内,所述插销杆与所述限位端部相抵接,并且所述插销杆倾斜设置,所述插销杆的低端靠近所述导流筒的轴线,所述插销杆的高端远离所述导流筒的轴线。
[0010]在其中一个实施例中,所述挂块上设置有内固定件和外固定件,所述内固定件和所述外固定件分别设置在所述卡槽的两侧,并且所述内固定件靠近所述导流筒的轴线,所述外固定件远离所述导流筒的轴线,所述内固定件低于所述外固定件,所述插销杆穿设在所述内固定件和所述外固定件上。
[0011]在其中一个实施例中,所述插销杆与所述内固定件和所述外固定件均可拆卸连接。
[0012]在其中一个实施例中,所述插销杆包括内端部、外端部以及连接所述内端部和所述外端部的杆部,所述内端部和所述外端部分别设置在所述内固定件和所述外固定件的相
互远离的一侧,所述内固定件和所述外固定件上均设置有穿孔,所述穿孔的直径小于所述外端部,且大于等于所述内端部和所述杆部。
[0013]在其中一个实施例中,所述杆部的直径小于所述内端部的直径。
[0014]在其中一个实施例中,所述内固定件和所述外固定件均以面与面的接触方式与所述挂块连接。
[0015]在其中一个实施例中,所述内固定件和所述外固定件设置为六角螺母状。
[0016]在其中一个实施例中,所述插销杆、所述内固定件和所述外固定件均采用钼材料制成。
[0017]在其中一个实施例中,所述卡槽沿所述导流筒的周向有一侧开口,所述挂杆沿所述导流筒的周向进入所述卡槽内。
[0018]第二方面,本申请提供一种单晶炉,所述单晶炉包括导流筒和水冷屏,所述导流筒通过本申请提供的任意一种悬挂装置与所述水冷屏的横杆连接。
[0019]本申请仅需要制备插销杆,并将插销杆倾斜设置在挂块的指定位置,即可使得导流筒在插销杆上利用自身重力以实现导流筒的自动纠偏的功能;而无需制备难以控制其成型效果以及制备难度较大的球形凹槽和球面凸出部,因此本申请可以降低制备悬挂装置的生产投入,并降低制备的难度。
附图说明
[0020]图1为本申请实施例一提供的导流筒悬挂装置连接导流筒和水冷屏时的示意图;
[0021]图2为本申请实施例一提供的导流筒悬挂装置连接导流筒和水冷屏时的示意图的爆炸图;
[0022]图3为本申请实施例一提供的导流筒悬挂装置连接导流筒和水冷屏时的示意图的局部图;
[0023]图4为图2中A部的放大图。
[0024]附图标记:1、挂块;2、挂杆;3、插销杆;31、内端部;32、外端部;33、杆部;4、卡槽;5、限位端部;6、内固定件;7、外固定件;8、穿孔;9、水冷屏;91、横杆;10、导流筒。
具体实施方式
[0025]为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本申请进行进一步详细说明。应当理解,此处描述的具体实施例仅仅用以解释本申请,并不用于限定本申请。
[0026]需要说明的是,本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想。
[0027]本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等,均仅用以配合说明书所揭示的内容,以供熟悉此技术的人士了解与阅读,并非用以限定本技术可实施的限定条件,任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整,在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下,均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。
[0028]本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”、“纵向”、“横向”、“水平”、“内”、“外”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,
亦仅为了便于简化叙述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0029]实施例一
[0030]如图1和图2所示,本申请提供一种导流筒悬挂装置,所述悬挂装置设置有两组,沿导流筒10的轴线,两组所述悬挂装置之间相距180度的旋转角度,每组所述悬挂装置均包括:
[0031]挂块1,其与水冷屏9的横杆91连接,且设置有卡槽4;
[0032]挂杆2,其悬挂在所述挂块1上,且穿过所述卡槽4与所述导流筒10连接,所述挂杆2远离所述导流筒10的一端设置有限位端部5;和
[0033]插销杆3,其穿设在所述挂块1上,并将所述挂杆2限位在所述卡槽4内,所述插销杆3与所述限位端部5相抵接,并且所述插销杆3倾斜设置,所述插销杆3的低端靠近所述导流筒10的轴线,所述插销杆3的高端远离所述导流筒10的轴线。
[0034]如图1和图2所示,在本实施例中,示例性地说明,两组悬挂装置之间相距180度的旋转角度可以理解为:两组悬挂装置中的任意一组沿导流筒10的轴线进行旋转180度,即可与另一组进行重合。前述布置方式,可以使得导流筒10通过悬挂装置进行悬挂后,其重心不会产生偏移至其轴线之外,进而以避免导流筒10被悬挂后无法保持平稳。
[0035]挂块1具体设置为长方体状,本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种导流筒悬挂装置,所述悬挂装置设置有两组,沿导流筒(10)的轴线,两组所述悬挂装置之间相距180度的旋转角度,其特征在于,每组所述悬挂装置均包括:挂块(1),其与水冷屏(9)的横杆(91)连接,且设置有卡槽(4);挂杆(2),其悬挂在所述挂块(1)上,且穿过所述卡槽(4)与所述导流筒(10)连接,所述挂杆(2)远离所述导流筒(10)的一端设置有限位端部(5);和插销杆(3),其穿设在所述挂块(1)上,并将所述挂杆(2)限位在所述卡槽(4)内,所述插销杆(3)与所述限位端部(5)相抵接,并且所述插销杆(3)倾斜设置,所述插销杆(3)的低端靠近所述导流筒(10)的轴线,所述插销杆(3)的高端远离所述导流筒(10)的轴线。2.根据权利要求1所述的导流筒悬挂装置,其特征在于,所述挂块(1)上设置有内固定件(6)和外固定件(7),所述内固定件(6)和所述外固定件(7)分别设置在所述卡槽(4)的两侧,并且所述内固定件(6)靠近所述导流筒(10)的轴线,所述外固定件(7)远离所述导流筒(10)的轴线,所述内固定件(6)低于所述外固定件(7),所述插销杆(3)穿设在所述内固定件(6)和所述外固定件(7)上。3.根据权利要求2所述的导流筒悬挂装置,其特征在于,所述插销杆(3)与所述内固定件(6)和所述外固定件(7)均可拆卸连接。4.根据权利要求3所述的导流筒悬挂装置,其特征在于,...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙玉洁高江力刘志强
申请(专利权)人:包头晶澳太阳能科技有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1