导流筒悬挂装置及单晶炉制造方法及图纸

技术编号:36428504 阅读:29 留言:0更新日期:2023-01-20 22:39
本申请涉及一种导流筒悬挂装置及单晶炉,悬挂装置设置有两组,每组悬挂装置均包括:挂块,其与水冷屏的横杆连接,且设置有卡槽;挂杆,其悬挂在挂块上,且穿过卡槽与导流筒连接,挂杆远离导流筒的一端设置有限位端部;插销杆,其穿设在挂块上,并将挂杆限位在卡槽内,插销杆与限位端部相抵接,并且插销杆倾斜设置,插销杆的低端靠近导流筒的轴线,插销杆的高端远离导流筒的轴线。本申请仅需要制备插销杆,并将插销杆倾斜设置在指定位置,即可使得导流筒在插销杆上利用自身重力以实现导流筒的自动纠偏的功能;而无需制备难以控制其成型效果以及制备难度较大的球形凹槽和球面凸出部,因此可以降低制备悬挂装置的生产投入,并降低制备的难度。备的难度。备的难度。

【技术实现步骤摘要】
导流筒悬挂装置及单晶炉


[0001]本申请涉及单晶炉
,特别是涉及一种导流筒悬挂装置及单晶炉。

技术介绍

[0002]单晶炉是将多晶材料制备为单晶硅的制备,其热场的形成设备包括导流筒10,导流筒10通常套设于水冷屏9外,并随水冷屏9的升降而同步移动。
[0003]在现有技术中,为使得导流筒10的位置不易偏移,以保持与水冷屏9的同轴度,进而以避免单晶炉的热场重复性(即一致性)变差,通常将导流筒10通过悬挂装置悬挂在水冷屏9的横杆91上。悬挂装置包括与水冷屏9的横杆91连接的挂块1以及与挂块1可拆卸连接的挂件,挂件用于悬挂导流筒10。挂块1上设置用于挂件穿过的卡槽4,并在卡槽4的两个相对设置的侧壁上开设球形凹槽,与此同时,挂件上设置球面凸出部,球面凸出部与球形凹槽形成球铰结构,以使得导流筒10在位置发生偏移时可以利用自身重力而实现自动纠偏。
[0004]但是,在现有技术中的悬挂装置中,若球面凸出部和球形凹槽成型效果较差或者相互配合是适配度较差,均难以实现自动纠偏的功能,而保障球面凸出部和球形凹槽成型效果及适配度需要投入较高的成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种导流筒悬挂装置,所述悬挂装置设置有两组,沿导流筒(10)的轴线,两组所述悬挂装置之间相距180度的旋转角度,其特征在于,每组所述悬挂装置均包括:挂块(1),其与水冷屏(9)的横杆(91)连接,且设置有卡槽(4);挂杆(2),其悬挂在所述挂块(1)上,且穿过所述卡槽(4)与所述导流筒(10)连接,所述挂杆(2)远离所述导流筒(10)的一端设置有限位端部(5);和插销杆(3),其穿设在所述挂块(1)上,并将所述挂杆(2)限位在所述卡槽(4)内,所述插销杆(3)与所述限位端部(5)相抵接,并且所述插销杆(3)倾斜设置,所述插销杆(3)的低端靠近所述导流筒(10)的轴线,所述插销杆(3)的高端远离所述导流筒(10)的轴线。2.根据权利要求1所述的导流筒悬挂装置,其特征在于,所述挂块(1)上设置有内固定件(6)和外固定件(7),所述内固定件(6)和所述外固定件(7)分别设置在所述卡槽(4)的两侧,并且所述内固定件(6)靠近所述导流筒(10)的轴线,所述外固定件(7)远离所述导流筒(10)的轴线,所述内固定件(6)低于所述外固定件(7),所述插销杆(3)穿设在所述内固定件(6)和所述外固定件(7)上。3.根据权利要求2所述的导流筒悬挂装置,其特征在于,所述插销杆(3)与所述内固定件(6)和所述外固定件(7)均可拆卸连接。4.根据权利要求3所述的导流筒悬挂装置,其特征在于,...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙玉洁高江力刘志强
申请(专利权)人:包头晶澳太阳能科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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