一种石英坩埚制备方法及石英坩埚技术

本申请涉及一种石英坩埚制备方法和石英坩埚，石英坩埚制备方法包括：在坩埚模具中倒入石英砂；调节坩埚模具的真空度，并同时在第一温度下对石英砂加热第一预定时间，冷却后得到具有多层结构的坩埚基体；将石英管放入坩埚基体中并贴合坩埚基体的直壁内侧，在第二温度下对石英管和坩埚基体加热第二预定时间，使得石英管与坩埚基体的直壁熔接后形成第一透明层，冷却后得到石英坩埚。先使用石英砂形成坩埚基体，再使石英管在坩埚基体内形成第一透明层，石英管本身具有更好的纯度和透明度，气泡含量更低，利用石英管来形成最内层的第一透明层，降低在石英坩埚使用过程中，最内层的透明层内气泡不断长大，从而可以提高石英坩埚的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及制备坩埚的，特别是涉及一种石英坩埚制备方法及石英坩埚。

技术介绍

1、现有的坩埚制备方法，将石英砂堆积在模具的内表面，再通过控制减压时间及调整加热温度和时间，形成气泡含量不同的多层结构，外层形成气泡层，可以起到保温作用，内层形成低气泡的透明层，可以减少坩埚与硅液反应，防止气泡进入硅液中，增加硅液中的氧含量。但是该制备方法中，内层的透明层是通过抽真空形成，由于工艺本身的制约，内层的透明层仍然含有少量气泡，坩埚在使用过程中，受长期高温的影响，坩埚内层的气泡逐渐长大且气泡数量逐渐增长，影响晶体生长质量，降低坩埚的使用寿命。

技术实现思路

1、本专利技术目的在于提供一种石英坩埚制备方法及石英坩埚，以解决现有坩埚在制备时，内层透明层含有少量气泡，影响坩埚使用寿命的技术问题。

2、为解决上述问题，本申请提供一种石英坩埚制备方法，包括：

3、s1：在坩埚模具中倒入石英砂；

4、s2：调节所述坩埚模具的真空度，并同时在第一温度下对所述石英砂加热第一预定时间，冷却后得到具有多层结构本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种石英坩埚制备方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的石英坩埚制备方法，其特征在于，所述冷却后得到所述石英坩埚后还包括：切削所述坩埚基体(1)的顶部，使所述第一透明层(2)的顶部与所述坩埚基体(1)的顶部平齐。

3.根据权利要求2所述的石英坩埚制备方法，其特征在于，所述坩埚基体(1)至少包括外层的气泡层(11)和内层的第二透明层(12)。

4.根据权利要求3所述的石英坩埚制备方法，其特征在于，所述调节所述坩埚模具(3)的真空度，并同时在第一温度下对所述石英砂加热第一预定时间，冷却后得到具有多层结构的坩埚基体(1)，包括：

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【技术特征摘要】

1.一种石英坩埚制备方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的石英坩埚制备方法，其特征在于，所述冷却后得到所述石英坩埚后还包括：切削所述坩埚基体(1)的顶部，使所述第一透明层(2)的顶部与所述坩埚基体(1)的顶部平齐。

3.根据权利要求2所述的石英坩埚制备方法，其特征在于，所述坩埚基体(1)至少包括外层的气泡层(11)和内层的第二透明层(12)。

4.根据权利要求3所述的石英坩埚制备方法，其特征在于，所述调节所述坩埚模具(3)的真空度，并同时在第一温度下对所述石英砂加热第一预定时间，冷却后得到具有多层结构的坩埚基体(1)，包括：

5.根据权利要求1所述的石英坩埚制备方法，其特征在于，所述石英管的外径与所述坩埚基体(1)的内径匹配。

6.根据权利要求1所述的石英坩埚制备方法，其特征在于，所述石英管的高度与...

【专利技术属性】
技术研发人员：李卫涛，刘彬国，黄旭光，
申请(专利权)人：包头晶澳太阳能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：