下载一种石英坩埚制备方法及石英坩埚的技术资料

文档序号:46097569

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本申请涉及一种石英坩埚制备方法和石英坩埚,石英坩埚制备方法包括:在坩埚模具中倒入石英砂;调节坩埚模具的真空度,并同时在第一温度下对石英砂加热第一预定时间,冷却后得到具有多层结构的坩埚基体;将石英管放入坩埚基体中并贴合坩埚基体的直壁内侧,在第...
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