一种单晶炉用托杆及单晶炉制造技术

本实用新型专利技术提供一种单晶炉用托杆，包括托杆本体，所述托杆本体底部设有锥头，所述锥头与所述托杆本体的连接处设有平面部，所述托杆锥头完全插入坩埚轴顶部，所述平面部与所述坩埚轴顶部端面接触。本实用新型专利技术还提供一种包含该托杆的单晶炉。本实用新型专利技术的有益效果是增大了托杆底部与坩埚轴的接触面积，降低了托杆底部锥头断裂的风险，延长了托杆的使用寿命，降低了生产成本。低了生产成本。低了生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉用托杆及单晶炉


[0001]本技术属于单晶硅生产领域，尤其是涉及一种单晶炉用托杆及单晶炉。

技术介绍

[0002]在单晶硅生产领域，直拉法制造硅单晶的各项工艺技术日益完善。目前，采用直拉法生产单晶硅的主要设备为单晶炉。单晶炉主要包括炉腔、石英坩埚、坩埚托盘、托杆以及坩埚轴。其中，石英坩埚设在炉腔内并用于加热多晶硅材料，坩埚托盘设于炉腔内并用于支撑石英坩埚，托杆的顶端设在炉腔内并与坩埚托盘相连，托杆的底部与炉腔底部的坩埚轴相连。
[0003]在现有技术中，如图1所示，托杆底部通常为倒锥形的外锥面，坩埚轴顶端为开口向上的内锥面，将托杆底部部分插入坩埚轴顶端的开口中进行固定，在单晶拉制的过程中，坩埚轴通过托杆带动石英坩埚旋转和上下移动。由于加工精度的限制，托杆底部的外锥面与坩埚轴顶端的内锥面不能完全适配，不能实现完全面接触，且由于托杆底部的锥头只是部分插入坩埚轴顶端，在使用过程中，托杆底部的锥头很容易出现断裂。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本技术提供一种单晶炉用托杆，有效的解决了托杆底部锥头容易断裂的问本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用托杆，包括托杆本体，所述托杆本体底部设有锥头，其特征在于：所述锥头与所述托杆本体的连接处设有平面部，所述锥头完全插入坩埚轴顶部，所述平面部与所述坩埚轴顶部端面接触。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用托杆，其特征在于：所述锥头底面直径小于所述托杆本体直径，在所述锥头与所述托杆本体的连接处形成所述平面部。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉用托杆，其特征在于：所述锥头与所述托杆本体连接处设有凸圆，所述凸圆底部形成所述平面部。4.根据权利要求1
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3任一所述的一种单晶炉用托杆，其特征在于：所述平面部与所述锥头连接处设有竖直部。5.根据权利要求4所述的一种单晶炉用托杆，其特征在于：所述平面部与所述竖直部的连...

【专利技术属性】
技术研发人员：王建龙，许建，王建平，王林，
申请(专利权)人：内蒙古中环晶体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：