【技术实现步骤摘要】
一种舟脚、载具和沉积设备
[0001]本专利技术涉及电池片加工
，具体涉及一种舟脚、载具和沉积设备。
技术介绍
[0002]在光伏行业中，石墨舟用于作为光伏电池的载体，石墨舟在镀膜工艺中占据了重要的位置。石墨舟的结构设计直接影响着等离子体放电、工艺气体等参与化学反应镀膜的良品率，因此石墨舟成为了光伏镀膜工艺中不可或缺的组成部分。
[0003]现有技术中的石墨舟是由数张厚度仅有2－3mm的石墨舟片组合而成，每两层石墨舟片之间由绝缘的陶瓷环隔开，可组成奇数舟片或者偶数舟片，需要给相邻的石墨舟片馈入电性相反的电极，实现相邻的石墨舟片之间形成一个正负极电场，工艺气体形成的流场到达相邻的石墨舟片之间，进而达到射频放电起辉。当前有不同的电极馈入方式，而不同的电极馈入方式又直接影响了等离子气体放电、工艺的复杂性以及后期硬件设备的维护困难度。
[0004]常见的电极馈入的方式有两种。一种是馈入方式是通过在石墨舟中的前侧的前舟脚和后侧的后舟脚馈入，即位于石墨舟底部的不同电极杆分别连接前舟脚和后舟脚，但是此结构会引入复杂的...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种舟脚，其特征在于，包括：舟脚导电块，所述舟脚导电块中具有隔离槽；主绝缘件，位于所述隔离槽中；所述舟脚导电块适于通过主绝缘件与部分第一极性的导电舟片电隔离，所述舟脚导电块还适于通过连接部与部分第二极性的导电舟片电连接，所述第一极性和所述第二极性相反。2.根据权利要求1所述的舟脚，其特征在于，所述主绝缘件包括陶瓷主绝缘件。3.根据权利要求1所述的舟脚，其特征在于，所述连接部为位于所述舟脚导电块中的连接槽，所述连接槽与所述隔离槽交替间隔设置。4.根据权利要求3所述的舟脚，其特征在于，所述舟脚导电块包括支撑件、以及位于所述支撑件上且与所述支撑件连接的导电固定块，所述隔离槽和所述连接槽均位于所述导电固定块中。5.根据权利要求4所述的舟脚，其特征在于，所述导电固定块包括相对设置的第一侧壁和第二侧壁、以及背离所述支撑件的第一顶壁，第一顶壁与第一侧壁和第二侧壁均连接；所述隔离槽自第一侧壁至第二侧壁贯穿导电固定块，且所述第一顶壁暴露出隔离槽。6.根据权利要求5所述的舟脚，其特征在于，所述连接槽自第一侧壁延伸至部分导电固定块中，所述连接槽至第二侧壁的距离大于零，所述第一顶壁暴露出所述连接槽。7.根据权利要求5所述的舟脚，其特征在于，所述连接槽自第一侧壁朝向第二侧壁延伸的尺寸为第一侧壁至第二侧壁的距离的30％～70％。8.根据权利要求5所述的舟脚，其特征在于，所述导电固定块还包括相对设置的第三侧壁和第四侧壁，第三侧壁与第一侧壁和第二侧壁连接，第四侧壁与第一侧壁和第二侧壁连接；所述舟脚还包括：副绝缘件，位于所述舟脚导电块的第三侧壁和第四侧壁。9.一种载具，所述载具在载具的长度方向上具有相对设置的前侧和后侧，其特征在于，包括：若干第一导电舟片和若干第二导电舟片，第一导电舟片和第二导电舟片交替间隔排布；所述第一导电舟片包括位于前侧的第一连接凸件，且所述第一连接凸件位于第一导电舟片在高度方向的上端；所述第二导电舟片包括位于前侧的第二连接凸件，且第二连接凸件位于第二导电舟片在高度方向的下端；部分依次排布的第一导电舟片和第二导电舟片构成第一舟片组，第一舟片组中的第一导电舟片还包括位于前侧的第一补充连接凸件，且所述第一补充连接凸件位于第一舟片组中的第一导电舟片在高度方向的下端；与第一舟片组连接的第一舟脚，第一舟脚包括：第一舟脚导电块，所述第一舟脚导电块中具有第一隔离槽；第一主绝缘件，位于第一隔离槽中；所述第一舟片组中第二连接凸件通过第一主绝缘件与第一舟脚导电块电隔离；所述第一舟片组中的第一补充连接凸件与第一舟脚导电块电连接；所述第一舟片组之外的所述第二连接凸件电连接；相邻的第一连接凸件电连接且与第二导电舟片电隔离。10.根据权利要求9所述的载具，其特征在于，所述第一舟片组中第二连接凸件嵌入所
述第一主绝缘件中。11.根据权利要求9所述的载具，其特征在于，所述第一舟脚导电块中还具有第一连接槽，所述第一连接槽和第一隔离槽交替间隔设置；所述第一补充连接凸件位于所述第一连接槽中。12.根据权利要求11所述的载具，其特征在于，所述第一连接槽在载具的长度方向上的尺寸小于第一隔离槽在载具的长度方向上的尺寸。13.根据权利要求9所述的载具，其特征在于，还包括：第一连接导电块，位于相邻的第一连接凸件之间且与第二导电舟片间隔。14.根据权利要求9所述的载具，...
【专利技术属性】
技术研发人员：严大，张胜，李挺，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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