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本发明提供一种舟脚、载具和沉积设备，载具包括：交替间隔排布的若干第一导电舟片和若干第二导电舟片；第一导电舟片包括第一连接凸件；第二导电舟片包括第二连接凸件；部分第一导电舟片和第二导电舟片构成第一舟片组，第一舟片组中的第一导电舟片还包括位于前...
该专利属于江苏微导纳米科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏微导纳米科技股份有限公司授权不得商用。

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