一种用于硅片清洗机的传送装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了硅片清洗技术领域的一种用于硅片清洗机的传送装置，包括清洗槽，所述清洗槽顶部固定连接有若干个喷头，所述清洗槽内部设置有框体，所述框体转动连接有两个底板，两个所述底板关于框体对称布置，底板向下转动与向上转动时分离板的移动方向相反，并且能够推动的倾斜堆叠的硅片也相反，从而在两者的作用下使堆叠的硅片能够顺利地分离，提高清洗时的效率，通过弧形板与弧形顶板能够使硅片与弧形板接触时向两侧散开，防止硅片集中在一处区域时造成分离板难以推动硅片的现象，分离板与连接杆滑动连接，在硅片堆积难以推动时，分离板会沿着连接杆向上滑动，从而使分离板越过硅片，防止分离板挤压硅片造成硅片损坏。防止分离板挤压硅片造成硅片损坏。防止分离板挤压硅片造成硅片损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种用于硅片清洗机的传送装置


[0001]本专利技术涉及硅片清洗
，具体为一种用于硅片清洗机的 传送装置。

技术介绍

[0002]由于硅元素具有光电效应，所以在光伏领域，大多使用硅片完 成太阳能到电能的转换；对硅片清洗时，是利用料篮将硅片进行盛 放，然后人工将料篮放入清洗槽进行喷淋冲洗即可；现使用的料篮 结构简单，硅片堆叠，粘贴在一起的硅片很难完成清洁工作。
[0003]基于此，本专利技术设计了一种用于硅片清洗机的传送装置，以解 决上述问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种用于硅片清洗机的传送装置，以解 决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种用于硅片清 洗机的传送装置，包括清洗槽，所述清洗槽顶部固定连接有若干个 喷头，所述清洗槽内部设置有框体，所述框体转动连接有两个底板， 两个所述底板关于框体对称布置，所述框体与底板均开设有若干个 通孔，两个所述底板顶面均固定连接有弧形板，所述弧形板顶面固 定连接有弧形顶板，两个所述底板上方均设置有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于硅片清洗机的传送装置，包括清洗槽(1)，所述清洗槽(1)顶部固定连接有若干个喷头(2)，其特征在于：所述清洗槽(1)内部设置有框体(3)，所述框体(3)转动连接有两个底板(4)，两个所述底板(4)关于框体(3)对称布置，所述框体(3)与底板(4)均开设有若干个通孔，两个所述底板(4)顶面均固定连接有弧形板(5)，所述弧形板(5)顶面固定连接有弧形顶板(6)，两个所述底板(4)上方均设置有连接杆(7)，两个所述连接杆(7)分别两个所述底板(4)滑动连接，所述连接杆(7)滑动连接有若干个分离板(8)，所述分离板(8)均为弧形，所述分离板(8)底端均开设有倾斜面，所述清洗槽(1)前后方均设置有驱动组件，所述驱动组件用于驱动两个底板(4)同时绕转动轴进行上下方向的转动，所述框体(3)左右两侧均设置有直线驱动组，所述直线驱动组用于驱动框体(3)在清洗槽(1)之中升降与固定。2.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗机的传送装置，其特征在于：所述驱动组件包括电机(9)与两个驱动杆(13)，所述电机(9)固定连接有往复丝杆(10)，所述往复丝杆(10)螺纹连接有连接件(11)，所述连接件(11)与框体(3)侧壁滑动连接，所述连接件(11)固定连接有两个L型杆(12)，两个所述驱动杆(13)均与框体(3)转动连接，两个所述驱动杆(13)均滑动连接有连接块(14)，两个所述连接块(14)分别与两个所述连接杆(7)端部转动连接，两个所述L型杆(12)一侧均设置有传动组，所述传动组用于在连接件(11)下降和上升时分别驱动两个驱动杆(13)左右摆动，连接件(11)底部固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴昆，贾泓超，黄杰，杨敏慧，
申请(专利权)人：浙江艾科半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：