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本发明公开了硅片清洗技术领域的一种用于硅片清洗机的传送装置，包括清洗槽，所述清洗槽顶部固定连接有若干个喷头，所述清洗槽内部设置有框体，所述框体转动连接有两个底板，两个所述底板关于框体对称布置，底板向下转动与向上转动时分离板的移动方向相反，并...
该专利属于浙江艾科半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江艾科半导体设备有限公司授权不得商用。

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