一种原子层沉积设备和原子层沉积设备的管路均热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种原子层沉积设备和原子层沉积设备的管路均热装置，涉及原子层沉积技术领域。其中，这种管路均热装置包含管路组件、第一加热组件和第二加热组件。管路组件，包括用以连通反应腔室的出气管和用以连通气源的至少两根进气管。至少两根进气管分别连通于出气管。第一加热组件，包括第一加热座和嵌至于第一加热座的第一加热件。第二加热组件，配置于第一加热座，用以将出气管和进气管固定于第一加热座。第一加热座和/或第二加热组件设置有包裹槽。包裹槽用以包裹至少部分出气管和至少部分进气管。通过将所有的出气管和进气管都固定到第一加热座上采用一体式加热，保证了同一个管路的上下游，以及不同管路之间的温度相同且稳定。度相同且稳定。度相同且稳定。

【技术实现步骤摘要】
一种原子层沉积设备和原子层沉积设备的管路均热装置


[0001]本技术涉及原子层沉积
，具体而言，涉及一种原子层沉积设备和原子层沉积设备的管路均热装置。

技术介绍

[0002]原子层沉积是一种依次往反应腔室内注入不同的反应气体，使其在目的物的表面反应并生成一层一层的单原子膜的方法。
[0003]原子层沉积需要在特定的温度下进行，因此需要对反应气体进行加热。
[0004]在先技术中，不同输气管道之间，甚至同一输气管道的上游和下游之间均具有一定的温差，使得进入反应腔室的气体温度无法均匀统一，大大影响了沉积层的一致性和工艺的稳定性。
[0005]有鉴于此，申请人在研究了现有的技术后特提出本申请。

技术实现思路

[0006]本技术提供了一种原子层沉积设备和原子层沉积设备的管路均热装置，旨在改善上述技术问题中的至少一个。
[0007]为解决上述技术问题，本技术提供了一种原子层沉积设备的管路均热装置，其包含管路组件、第一加热组件和第二加热组件。
[0008]管路组件，包括用以连通反应腔室的出气管和用以连通气源的至少两根进气管。至少两根进气管分别连通于出气管。
[0009]第一加热组件，包括第一加热座和嵌至于第一加热座的第一加热件。
[0010]第二加热组件，配置于第一加热座，用以将出气管和进气管固定于第一加热座。
[0011]第一加热座和/或第二加热组件设置有包裹槽。包裹槽用以包裹至少部分出气管和至少部分进气管。
[0012]本申请另提供一种原子层沉积设备,其包含前述的原子层沉积设备的管路均热装置。
[0013]通过采用上述技术方案，本技术可以取得以下技术效果：
[0014]通过将所有的出气管和进气管都固定到第一加热座上采用一体式加热，保证了同一个管路的上下游，以及不同管路之间的温度相同，保证温度的稳定性，大大提升了原子层沉积工艺的稳定性。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0016]图1是原子层沉积设备的轴测图。
[0017]图2是管路均热装置的轴测图(带气源)。
[0018]图3是管路均热装置的爆炸图(带气源)。
[0019]图中标记：1
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反应腔室、2
‑
气源、3
‑
第一加热座、4
‑
第一加热件、5
‑ꢀ
出气管、6
‑
第一阀门、7
‑
第二阀门、8
‑
第二加热座、9
‑
第一避让孔、10
‑
第三加热座、11
‑
第四加热座、12
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第五加热座、13
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第六加热座、14
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第七加热座、15
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第二避让孔、16
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第三避让孔、17
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进气管、18
‑
进气段、19
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输气段、20
‑
第二倾斜端面、21
‑
第一倾斜端面。
具体实施方式
[0020]为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。
[0021]实施例一、
[0022]由图1至图3所示，本技术实施例提供了一种原子层沉积设备的管路均热装置，其包含管路组件、第一加热组件和第二加热组件。
[0023]管路组件，包括用以连通反应腔室1的出气管5和用以连通气源2的至少两根进气管17。至少两根进气管17分别连通于出气管5。
[0024]第一加热组件，包括第一加热座3和嵌至于第一加热座3的第一加热件4。
[0025]第二加热组件，配置于第一加热座3，用以将出气管5和进气管17固定于第一加热座3。
[0026]第一加热座3和/或第二加热组件设置有包裹槽。包裹槽用以包裹至少部分出气管5和至少部分进气管17。
[0027]具体的，通过包裹槽将进气管17和出气管5进行包裹，能够很好的提高热传递效率，保证对进气管17和出气管5的加热效果。通过将所有的出气管5和进气管17都固定到第一加热座3上采用一体式加热，保证了同一个管路的上下游，以及不同管路之间的温度相同，从而保证温度的稳定性，大大提升了原子层沉积工艺的稳定性。
[0028]优选地，所述包裹槽由第一加热座3和第二加热组件的相向面上开设弧形槽，从而在第二加热组件配合于第一加热座3上时，在第一加热座3 和第二加热组件之间形成所述包裹槽。
[0029]如图2所示，在上述实施例的基础上，本技术的一个可选的实施例中，至少两根进气管17之间，至少部分平行设置。具体的，进气管17 至少在输气段19上平行，进气段18部分平行。优选地，第一加热件4为加热棒。加热棒和进气管17垂直。在本实施例中，加热棒和输气段19垂直设置，以保证向每根进气管17的输气段19传输的热量相同，从而保证加热的均匀性。本技术实施例对加热棒的数量不做具体限定，只要其能够保证进气管17内
的反应气体能够加热至反应温度即可。
[0030]在其它实施例中，加热棒的数量可以和输气管的数量相同，并且加热棒和输气管平行设置，从而取得更快的加热效果，本技术对此不做具体限定，只要其通过加热座组装成一个整体，采用整体式的加热即属于本技术的保护范围。
[0031]优选地，管路均热装置还包括套置于所述第一加热组件外的第一隔热罩和套置于所述第二加热组件外的第二隔热罩。
[0032]如图2和图3所示，在上述实施例的基础上，本技术的一个可选的实施例中，管路组件还包括用以连通进气管17和出气管5的第一阀门6。第二加热组件设置有供阀门穿过的第一避让孔9。优选地，第二加热组件包括第二加热座8和第三加热座10。第二加热座8和第三加热座10之间构造有第一避让孔9。
[0033]具体的，通过第一阀门6能够让原子层沉积设备控制进气管17和出气管5的连通状态，从而控制反应本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种原子层沉积设备的管路均热装置，其特征在于，包含：管路组件，包括用以连通反应腔室(1)的出气管(5)和用以连通气源(2)的至少两根进气管(17)；所述至少两根进气管(17)分别连通于所述出气管(5)；第一加热组件，包括第一加热座(3)和嵌至于所述第一加热座(3)的第一加热件(4)；第二加热组件，配置于所述第一加热座(3)，用以将所述出气管(5)和所述进气管(17)固定于所述第一加热座(3)；所述第一加热座(3)和/或所述第二加热组件设置有包裹槽；所述包裹槽用以包裹至少部分所述出气管(5)和至少部分所述进气管(17)。2.根据权利要求1所述的一种原子层沉积设备的管路均热装置,其特征在于,所述管路组件还包括用以连通所述进气管(17)和所述出气管(5)的第一阀门(6)；所述第二加热组件设置有供所述阀门穿过的第一避让孔(9)。3.根据权利要求2所述的一种原子层沉积设备的管路均热装置,其特征在于,所述第二加热组件包括第二加热座(8)和第三加热座(10)；所述第二加热座(8)和所述第三加热座(10)之间构造有所述第一避让孔(9)。4.根据权利要求3所述的一种原子层沉积设备的管路均热装置,其特征在于,所述管路组件还包括配置于所述进气管(17)路的第二阀门(7)；所述第二阀门(7)用以将所述进气管(17)分隔成用以连通气源(2)的进气段(18)和用以连通所述第一阀门(6)的输气段(19)；所述第二加热组件还包括第四加热座(11)和第五加热座(12)；所述第四加热座(11)和所述第五加热座(...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵茂生，雷志佳，
申请(专利权)人：厦门韫茂科技有限公司，
类型：新型
国别省市：