一种用于集成电路版图检测孤岛的方法和系统技术方案

一种用于集成电路版图检测孤岛的方法和系统，包括如下步骤：将集成电路版图中的定义为孔的部分和覆铜的部分转换为版图多边形并进行布尔操作并对其进行网格剖分，基于网格剖分生成以版图多边形的边界为约束的统一版图的约束三角形网格；基于约束三角形网格查找覆铜区域中的三角形网格并根据邻居搜索的方法将其编号；基于相同编号三角形的面积和判断孤岛；将集成电路版图转变为可网格划分的形式，提取覆铜区域内的三角形网格并根据邻居搜索的方法将其编号，并基于覆铜区域的相同编号的网格面积和来判断孔是否为孤岛，不仅避免如果不检测孤岛直接生产影响版图的可靠性，还能避免集成电路版图的孤岛数量多，密集不易识别，靠人工去查找孤岛费时费力。靠人工去查找孤岛费时费力。靠人工去查找孤岛费时费力。

【技术实现步骤摘要】
一种用于集成电路版图检测孤岛的方法和系统


[0001]本申请涉及集成电路
，具体涉及一种用于集成电路版图检测孤岛的方法和系统。

技术介绍

[0002]随着通信技术的发展，超大规模集成电路的研究与发展已逐渐展开。为了提高电子设备的性能，缩小体积，降低成本，将晶体管与其他元器件以及线路都集成在一小块半导体基片上。为了实现更多的功能，超大规模集成电路有几层到上百层结构，每层结构极其复杂，集成数千万甚至数亿的晶体管，具有多尺度结构，从厘米级到目前最新的纳米级。集成电路的覆铜版图也因为不同网络的不同元器件的连接形成的走线被裁剪成非常复杂的几何图形，通常，需要将这些复杂的几何图形离散成形状简单的网格单元，再基于这些网格单元进行数值计算以获得形状复杂的版图的电位分布和电流分布。随着集成电路制备的工艺水平越来越高，层之间连通的过孔越来越多使得过孔越来越密集，使生产出来的集成电路中由这些密集分布的过孔对应的隔离垫片之间形成一些毫无意义的孤岛的覆铜区域，如图2孤岛示意图中的孤岛，这些在生产出来的集成电路中存在的孤岛会影响电路使用的安全性和精确性，需要在集成电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于集成电路版图检测孤岛的方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、将集成电路版图中的定义为孔的部分和覆铜的部分转换为版图多边形并进行布尔操作，形成统一的版图多边形； S2、基于统一的版图多边形及其边，对所述统一的版图多边形进行网格剖分并进行边交换，生成以所述统一的版图多边形的边为约束的约束三角形网格；S3、基于约束三角形网格查找覆铜区域中的三角形网格并根据邻居搜索的方法将其编号；S4、基于相同编号的三角形网格的面积和的大小判断孤岛。2.根据权利要求1所述的一种用于集成电路版图检测孤岛的方法，其特征在于，所述将集成电路版图中的定义为孔的部分和覆铜的部分转换为版图多边形并进行布尔操作，形成统一的版图多边形包括：S11、对集成电路版图中定义为孔的部分转换为挖空的多边形；其中，将孔的部分中由过孔引起的隔离垫片转换为第一挖空的多边形，当所述由过孔引起的隔离垫片的形状在集成电路的版图中定义为圆时，所述第一挖空的多边形为正多边形，当所述由过孔引起的隔离垫片的形状在集成电路的版图中定义为椭圆时，按椭圆在极坐标下等弧度取离散点，所述第一挖空的多边形为由离散点依次连成的多边形，当所述由过孔引起的隔离垫片的形状在集成电路的版图中定义为多边形时，所述第一挖空的多边形为版图中定义的多边形；将孔的部分中由集成电路版图中定义为覆铜的部分内的挖空圆、挖空椭圆和挖空多边形转换为第二挖空的多边形，当所述定义为覆铜的部分内的挖空圆时，所述第二挖空的多边形为正多边形，当所述定义为覆铜的部分内的挖空椭圆时，按椭圆在极坐标下等弧度取离散点，所述第二挖空的多边形为由离散点依次连成的多边形，当所述定义为覆铜的部分内的挖空多边形时，所述第二挖空的多边形为版图中定义的多边形；S12、对集成电路版图中定义为覆铜的部分转换为覆铜的多边形；其中，将覆铜的部分中的走线按起始点、终止点和宽度转换为第一覆铜的多边形，所述第一覆铜的多边形为矩形，将覆铜的部分中由过孔引起的焊盘转换为第二覆铜的多边形，所述第二覆铜多边形在由所述隔离垫片转换为的挖空多边形内，当所述焊盘的形状在集成电路的版图中定义为圆时，所述第二覆铜的多边形为正多边形，当所述焊盘的形状在集成电路的版图中定义为椭圆时，按椭圆在极坐标下等弧度取离散点，所述第二覆铜的多边形为由离散点依次连成的多边形，当所述焊盘的形状在集成电路的版图中定义为多边形时，所述第二覆铜的多边形为版图中定义的多边形，将覆铜的其他部分转换为第三覆铜的多边形，当覆铜的其他部分定义为圆时，所述第三覆铜的多边形为正多边形，当覆铜的其他部分定义为椭圆时，按椭圆在极坐标下等弧度取离散点，所述第三覆铜的多边形为由离散点依次连成的多边形，当覆铜的其他部分定义为多边形时，所述第三覆铜的多边形为版图中定义的多边形；S13、将所述第一覆铜的多边形和第三覆铜的多边形进行布尔或操作，形成第三新的覆铜多边形；S14、将所述第三新的覆铜多边形分别和所述第一挖空的多边形、所述第二挖空的多边形进行布尔差操作，形成第一新的覆铜多边形；S15、将所述第一新的覆铜多边形和所述第二覆铜的多边形进行布尔或操作，形成统一的版图多边形。
3.根据权利要求2所述的一种用于集成电路版图检测孤岛的方法，其特征在于，所述对所述统一的版图多边形进行网格剖分并进行边交换，生成以所述统一的版图多边形的边为约束的约束三角形网格包括： S21、依据Delaunay剖分准则对所述统一的版图多边形的顶点进行网格剖分，形成网格剖分； S22、收集网格剖分中所有不是两个三角形公共边的多边形的边，按边长排序形成集合Lost；S23、从所述集合Lost中取出边长最长的边并将其从所述集合Lost中移除； S24、从所述边长最长的边的一个顶点出发，搜索包含所述顶点且其他两个顶点位于边两侧的三角形，交换所述三角形与其邻居三角形的公共边，得到两个新的三角形，其中，所述邻居三角形为与该三角形有公共边的三角形； S25、重复步骤S24直到所述边长最长的边为两个邻居三角形的公共边；S26、判断所述集合Lost是否为空集，若否，则转入步骤S23，若是，则生成所述统一的版图多边形中以所述统一的版图多边形的边为约束的约束三角形网格。4.根据权利要求3所述的一种用于集成电路版图检测孤岛的方法，其特征在于，所述基于约束三角形网格查找覆铜区域中的三角形网格并根据邻居搜索的方法将其编号包括： S31、初始设置所有三角形的编号为未编号；设置当前覆铜区域的三角形填充编号为fp=1；设置当前待处理的覆铜多边形为第q=1个覆铜多边形；设置当前外围覆铜网格单元集合Front
p
为空； S32、对第q个覆铜多边形，从多边形的任意边e出发，找到这个边关联的左三角形t1，若所述左三角形t1的编号为未编号，设置三角形t1的编号为fp，将其加入到集合Front
p
中，所述多边形任意边e的左三角形为包含该边e且三角形边e的方向与多边形边e的方向相同的三角形； S33、从所述集合Front
p
取出一个三角形t并将其从所述集合Front
p
中移除，若所述三角形t的三个邻居三角形中的任何一个或多个邻居三角形的编号为未编号，且公共边不为任何多边形的边，则将所述三角形t的该一个或多个邻居三角形加入所述集合Front
p
中，并将新加入所述集合Front
p
的三角形的编号为fp，其中，所述公共边指与所述三角形t相邻的三角形与所述三角形t的公共边；S34、判断所述集合Front
p
是否为空集，若否，执行步骤S33，若是，设置fp=fp+1，q=q+1，执行步骤S32，直到处理完成所有统一的版图多边形中的覆铜多边形，结束。5.根据权利要求4所述的一种用于集成电路版图检测孤岛的方法，其特征在于，所述基于相同编号的三角形网格的面积和的大小判断孤岛包括：计算所有编号为正的三角形网格的面积，并将相同编号的三角形面积累加到以编号归类的面积和的集合中，面积和与编号形成一一对应关系，找出三角形面积和小于给定阈值对应的编号，所述编号对应的区域为检测出的孤岛。6.一种用于集成电路版图检测孤岛的系统，其特征在于，包括版图转换模块、约束三角形生成模块、覆铜区域识别模块和孤岛判断模块；其中，所述版图转换模块用于将集成电路版图中的定义为孔的部分和覆铜...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐章宏，
申请(专利权)人：北京智芯仿真科技有限公司，
类型：发明
国别省市：