多边形大面积重叠的集成电路版图网络标识方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了多边形大面积重叠的集成电路版图网络标识方法及装置，通过采用基于初始网格剖分的丢失边恢复和网格单元遍历的技术对重叠的版图进行融合，避免直接对给定的数量众多的覆铜多边形进行短路和开路诊断导致花费巨大的诊断时间，且会产生大量的对设计工程师无用的错误诊断信息的问题；最后对网格单元的网络进行标识，形成最终的非重叠的集成电路版图及其网络标识，即可基于非重叠的集成电路版图的网络标识对版图设计进行快速精确的诊断，解决现有技术针对需要诊断的集成电路的版图设计并不一次性的给出最终的覆铜多边形，而是由粗到细的分批次给定，不同批次给定的覆铜多边形会出现大面积重叠现象时出现的误诊断问题和诊断速度慢的问题。问题和诊断速度慢的问题。问题和诊断速度慢的问题。

【技术实现步骤摘要】
多边形大面积重叠的集成电路版图网络标识方法及装置


[0001]本专利技术属于集成电路版图检测
，具体涉及多边形大面积重叠的集成电路版图网络标识方法及装置。

技术介绍

[0002]集成电路的制备过程通常包括原理图设计、版图设计以及依据设计的版图进行集成电路制备。集成电路制备由集成电路供应商完成，其工艺过程通常包括电路掩膜制备、对晶片进行抛光、氧化、杂化、光刻、扩散、淀积、金属化等几十道工序，最终实现将电路掩膜转移到晶片上，从而通过晶片高密度的电子线路和元器件分布实现非常复杂的电路功能。由于集成电路制备工艺极其复杂，为保证芯片制造的正确性和尽可能高的成品率，集成电路供应商要求设计的集成电路版图满足严格的设计规则，且为了保证小制程的工艺要求，工程师在设计版图的金属层形状时，有可能并不一次性的精准给定版图形状，而是由粗到细的分批次给定，给定粗尺寸的版图形状考虑的是大范围的设计轮廓，允许粗尺寸量级的误差存在，而细尺寸的版图形状则是在不同的局部再次对大范围下给定的设计轮廓进行精准修正，允许的误差量级为细尺寸的量级。因此，设计工程师通过集成电路版图设计软件生成的版图设计文件实际上包含了与制备工艺相关的信息，针对不同的工艺尺寸，给出了由粗到细的版图形状，最终形成的版图为设计的版图形状。
[0003]针对由粗到细且大面积出现叠加在一起的版图形状，传统的方法对集成电路版图的网络进行标识时，诊断方法没有将重叠的版图多边形进行融合，而是直接对原始输入的重叠的版图多边形的网络进行标识，在此基础上对其形成的网络的开路与短路进行诊断，从而极有可能出现错误诊断，给出设计的集成电路出现数以万计的设计错误的结论，然而，这些结论绝大部分都不是设计工程师想要的，工程师需要通过比对和判断从这数以万计的诊断结论里面挑选仅仅几条或数十条真正有用的正确诊断结论，这个正确诊断结论的甄别反而占据了工程师绝大部分的时间，总的时间花费甚至可以和工程师自己对原始设计的版图进行人工诊断的时间相比拟，从而导致集成电路版图诊断软件失去了使用价值。

技术实现思路

[0004]针对上述现有技术的不足，本申请提供多边形大面积重叠的集成电路版图网络标识方法及装置。
[0005]第一方面本申请提出了多边形大面积重叠的集成电路版图网络标识方法，包括以下步骤：
[0006]获取集成电路版图中的版图信息，所述版图信息包括版图元素、所述版图元素对应的版图层以及所述版图元素对应的版图网络，将属于同一版图层的版图元素归为同一组，同一组版图元素形成该层的初始版图，所述版图元素包括覆铜多边形、挖空多边形、挖空圆、焊盘、反焊盘、走线和过孔；
[0007]将所述初始版图中的走线、挖空圆、焊盘和反焊盘离散成多边形，设置所述覆铜多
边形、走线与焊盘为positive=1的多边形，positive=1表示正的多边形，正的多边形的顶点按逆时针的顺序排列，设置挖空多边形、挖空圆与反焊盘为positive=
‑
1的多边形，positive=
‑
1表示负的多边形，负的多边形的顶点按顺时针的顺序排列；
[0008]基于所有多边形的顶点形成初始Delaunay三角形网格剖分，得到初始网格剖分结果；
[0009]基于所述初始网格剖分结果通过边交换法恢复丢失的多边形的边，如果不同多边形的边相交，在所有不同多边形的边的交点插入新网格节点，得到完整网格剖分结果；
[0010]从所有多边形中的每个正的多边形的每个边出发遍历所述完整网格剖分结果中的单元，并基于所有多边形对应的版图网络对遍历后的完整网格剖分结果中的单元进行标识。
[0011]在一些实施例中，所述将所述初始版图中的走线、挖空圆、焊盘和反焊盘离散成多边形，包括：
[0012]将走线离散成多边形的步骤为：
[0013]将所述初始版图中覆铜部分的走线按起始点、终止点和宽度转换为覆铜矩形外加第一半圆和第二半圆，第一半圆的直径边为起始点所在的走线宽边，第二半圆的直径边为终止点所在的走线宽边；
[0014]预设离散数量，基于所述第一半圆和所述预设离散数量形成第一半圆离散点，离散点逆时针排列形成第一半多边形，基于所述第二半圆和所述预设离散数量形成第二半圆离散点，离散点逆时针排列形成第二半多边形；
[0015]将所述覆铜矩形、第一半多边形和第二半多边形进行组合形成复合多边形：将所述形成第一半多边形的逆时针排列的离散点与所述形成第二半多边形的逆时针排列的离散点直接拼接，形成离散点按逆时针顺序排列的复合多边形。
[0016]在一些实施例中，所述将所述初始版图中的走线、挖空圆、焊盘和反焊盘离散成多边形，还包括：
[0017]将挖空圆和反焊盘离散成多边形的步骤为：
[0018]当所述挖空圆和反焊盘的形状在集成电路版图的版图元素中定义为圆时，将圆离散为等边多边形，则所述挖空圆和反焊盘离散成的多边形为第一等边多边形，第一等边多边形的顶点顺时针排列；
[0019]当所述挖空圆和反焊盘的形状在集成电路版图的版图元素中定义为椭圆时，按椭圆在极坐标下等弧度取第三离散点，则所述挖空圆和反焊盘离散成的多边形为由所述第三离散点依次连成的第三多边形，第三多边形的顶点顺时针排列。
[0020]在一些实施例中，所述将所述初始版图中的走线、挖空圆、焊盘和反焊盘离散成多边形，还包括：
[0021]将焊盘离散成多边形的步骤为：
[0022]当所述焊盘的形状在集成电路版图的版图元素中定义为圆时，将圆离散为等边多边形，则所述焊盘离散成的多边形为第二等边多边形，第二等边多边形的顶点逆时针排列；
[0023]当所述焊盘的形状在集成电路版图的版图元素中定义为椭圆时，按椭圆在极坐标下等弧度取第四离散点，则所述焊盘离散成的多边形为由所述第四离散点依次连成的第四多边形，第四多边形的顶点逆时针排列。
[0024]在一些实施例中，所述基于所述初始网格剖分结果通过边交换法恢复丢失的多边形的边，如果不同多边形的边相交，在所有不同多边形的边的交点插入新网格节点，得到完整网格剖分结果，包括：
[0025]步骤A1：收集所有不是两个三角形公共边的多边形的边，按边长排序形成集合Lost；
[0026]步骤A2：从所述集合Lost中取出边长最长的边并将其从所述集合Lost中移除；
[0027]步骤A3：从边的一个顶点A出发，搜索包含顶点A且顶点C、D位于边两侧的三角形ΔACD，交换所述三角形ΔACD与其邻居三角形ΔDCE的公共边，得到三角形ΔACE与ΔEDA，其中，所述邻居三角形表示与该三角形本身有公共边的三角形；
[0028]步骤A4：若边不与任何其他多边形边相交，则重复搜索包含顶点A且另外两个顶点位于边两侧的三角形与其邻居三角形的公共边的交换，直到边为两个邻居三角形的公共边；
[0029]步骤A5：若搜索到与边相交的边为另一多边形的边，则在该两条边的交点处新增一个顶点以及一个网格节点，并将所述网格节点插入到初始网格剖分结果的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.多边形大面积重叠的集成电路版图网络标识方法，其特征在于：包括以下步骤：获取集成电路版图中的版图信息，所述版图信息包括版图元素、所述版图元素对应的版图层以及所述版图元素对应的版图网络，将属于同一版图层的版图元素归为同一组，同一组版图元素形成该层的初始版图，所述版图元素包括覆铜多边形、挖空多边形、挖空圆、焊盘、反焊盘、走线和过孔；将所述初始版图中的走线、挖空圆、焊盘和反焊盘离散成多边形，设置所述覆铜多边形、走线与焊盘为positive=1的多边形，positive=1表示正的多边形，正的多边形的顶点按逆时针的顺序排列，设置挖空多边形、挖空圆与反焊盘为positive=
‑
1的多边形，positive=
‑
1表示负的多边形，负的多边形的顶点按顺时针的顺序排列；基于所有多边形的顶点形成初始Delaunay三角形网格剖分，得到初始网格剖分结果；基于所述初始网格剖分结果通过边交换法恢复丢失的多边形的边，如果不同多边形的边相交，在所有不同多边形的边的交点插入新网格节点，得到完整网格剖分结果；从所有多边形中的每个正的多边形的每个边出发遍历所述完整网格剖分结果中的单元，并基于所有多边形对应的版图网络对遍历后的完整网格剖分结果中的单元进行标识。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述将所述初始版图中的走线、挖空圆、焊盘和反焊盘离散成多边形，包括：将走线离散成多边形的步骤为：将所述初始版图中覆铜部分的走线按起始点、终止点和宽度转换为覆铜矩形外加第一半圆和第二半圆，第一半圆的直径边为起始点所在的走线宽边，第二半圆的直径边为终止点所在的走线宽边；预设离散数量，基于所述第一半圆和所述预设离散数量形成第一半圆离散点，离散点逆时针排列形成第一半多边形，基于所述第二半圆和所述预设离散数量形成第二半圆离散点，离散点逆时针排列形成第二半多边形；将所述覆铜矩形、第一半多边形和第二半多边形进行组合形成复合多边形：将所述形成第一半多边形的逆时针排列的离散点与所述形成第二半多边形的逆时针排列的离散点直接拼接，形成离散点按逆时针顺序排列的复合多边形。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：所述将所述初始版图中的走线、挖空圆、焊盘和反焊盘离散成多边形，还包括：将挖空圆和反焊盘离散成多边形的步骤为：当所述挖空圆和反焊盘的形状在集成电路版图的版图元素中定义为圆时，将圆离散为等边多边形，则所述挖空圆和反焊盘离散成的多边形为第一等边多边形，第一等边多边形的顶点顺时针排列；当所述挖空圆和反焊盘的形状在集成电路版图的版图元素中定义为椭圆时，按椭圆在极坐标下等弧度取第三离散点，则所述挖空圆和反焊盘离散成的多边形为由所述第三离散点依次连成的第三多边形，第三多边形的顶点顺时针排列。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于：所述将所述初始版图中的走线、挖空圆、焊盘和反焊盘离散成多边形，还包括：将焊盘离散成多边形的步骤为：当所述焊盘的形状在集成电路版图的版图元素中定义为圆时，将圆离散为等边多边
形，则所述焊盘离散成的多边形为第二等边多边形，第二等边多边形的顶点逆时针排列；当所述焊盘的形状在集成电路版图的版图元素中定义为椭圆时，按椭圆在极坐标下等弧度取第四离散点，则所述焊盘离散成的多边形为由所述第四离散点依次连成的第四多边形，第四多边形的顶点逆时针排列。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于：所述基于所述初始网格剖分结果通过边交换法恢复丢失的多边形的边，如果不同多边形的边相交，在所有不同多边形的边的交点插入新网格节点，得到完整网格剖分结果，包括：步骤A1：收集所有不是两个三角形公共边的多边形的边，按边长排序形成集合Lost；步骤A2：从所述集合Lost中取出边长最长的边并将其从所述集合Lost中移除；步骤A3：从边的一个顶点A出发，搜索包含顶点A且顶点C、D位于边两侧的三角形ΔACD，交换所述三角形ΔACD与其邻居三角形ΔDCE的公共边，得到三角形ΔACE与ΔEDA，其中，所述邻居三角形表示与该三角形本身有公共边的三角形；步骤A4：若边不与任何其他多边形边相交，则重复搜索包含顶点A且另外两个顶点位于边两侧的三角形与其邻居三角形的公共边的交换，直到边为两个邻居三角形的公共边；步骤A5：若搜索到与边相交的边为另一多边形的边，则在该两条边的交点处新增一个顶点以及一个网格节点，并将所述网格节点插入到初始网格剖分结果的Delaunay三角形网格中，所述网格节点将两个邻居三角形分为四个三角形，该顶点将两条相交的边...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐章宏，
申请(专利权)人：北京智芯仿真科技有限公司，
类型：发明
国别省市：