一种FOUP盒存放架及FOUP盒存放系统技术方案

本说明书实施例提供一种FOUP盒存放架及FOUP盒存放系统，存放架包括：货架式的架体，架体上设置有若干放置位，放置位用于放置FOUP盒；若干氮气充气头，若干氮气充气头分别对应设置在若干放置位上表面，若干氮气充气头上均设有控制阀，氮气充气头与放置于放置位上的FOUP盒的充气口相配合；若干感应组件，若干感应组件分别对应设置在若干放置位上表面，感应组件控制连接同一放置位上氮气充气头上的控制阀；其中，若干氮气充气头均与外部充气部相连接，当感应组件感应到对应的放置位上放置有FOUP盒时，感应组件控制对应的控制阀开启。当感应组件检测到FOUP盒放置于放置位上时，外部充气部产生的氮气经由氮气充气头进入FOUP盒内，保证FOUP盒内的晶圆处于氮气环境内。保证FOUP盒内的晶圆处于氮气环境内。保证FOUP盒内的晶圆处于氮气环境内。

【技术实现步骤摘要】
一种FOUP盒存放架及FOUP盒存放系统


[0001]本说明书涉及半导体制造
，具体涉及一种FOUP盒存放架及FOUP盒存放系统。

技术介绍

[0002]在半导体制造过程当中，wafer(晶圆)在经过一些工艺节点后需要保存在N2的环境里，以防止wafer表面的材料与空气中的某些分子反应，造成后续工艺无法完成或是低良率产品，因此FAB(半导体车间)内会采用N
2 Box(氮气箱)来保存超过时间的wafer，以保证wafer在超过时限的情况下仍然能够保证wafer的质量，但是wafer一般都存放在FOUP(晶圆传送盒)内，FOUP都是密封环境，因此FOUP直接放在N
2 Box内并不能保证wafer是在N2的环境内，因此如果要保证wafer是存在N2的环境内必须打开FOUP，但是这会造成另一个问题，因为传统N
2 Box并不是能够保存wafer的环境，这会导致wafer污染。

技术实现思路

[0003]为了解决
技术介绍
中的问题，本说明书实施例提供一种FOUP盒存放架及FOUP盒存放系统，当感应组件检测到本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种FOUP盒存放架，其特征在于，包括：货架式的架体，所述架体上设置有若干放置位，所述放置位用于放置所述FOUP盒；若干氮气充气头，若干所述氮气充气头分别对应设置在若干所述放置位上表面，若干所述氮气充气头上均设有控制阀，所述氮气充气头与放置于所述放置位上的FOUP盒的充气口相配合；若干感应组件，若干所述感应组件分别对应设置在若干所述放置位上表面，所述感应组件控制连接同一放置位上所述氮气充气头上的控制阀；其中，若干所述氮气充气头均与外部充气部相连接，当所述感应组件感应到对应的所述放置位上放置有FOUP盒时，所述感应组件控制对应的所述控制阀开启。2.根据权利要求1所述的FOUP盒存放架，其特征在于，所述存放架还包括若干定位部，若干所述定位部分别对应设置在若干所述放置位上表面，所述定位部对放置于所述放置位上的FOUP盒进行定位。3.根据权利要求2所述的FOUP盒存放架，其特征在于，所述定位部包括定位角块。4.根据权利要求1所述的FOUP盒存放架，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏远志，王睿，
申请(专利权)人：上海积塔半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：