温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本说明书实施例提供一种FOUP盒存放架及FOUP盒存放系统，存放架包括：货架式的架体，架体上设置有若干放置位，放置位用于放置FOUP盒；若干氮气充气头，若干氮气充气头分别对应设置在若干放置位上表面，若干氮气充气头上均设有控制阀，氮气充气头与...
该专利属于上海积塔半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海积塔半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。