晶圆分选机制造技术

本发明专利技术公开了一种晶圆分选机，包含：分拣模块、备料模块、搬运机械手与离心陈列器；分拣模块设置在备料模块的一侧，用于分拣备料模块中存放的不同型号的晶圆；离心陈列器设置在备料模块的另一侧，用于调整晶圆的放置方向；搬运机械手设置在备料模块与离心陈列器之间，用于搬运晶圆。本发明专利技术通过分拣模块、备料模块、搬运机械手与离心陈列器相配合实现了对不同型号的晶圆进行分选作业，解决了现有技术中存在的工作效率低的缺陷，具有加工良率高、加工精度高的特点，节约了晶圆的生产成本。节约了晶圆的生产成本。节约了晶圆的生产成本。

【技术实现步骤摘要】
晶圆分选机


[0001]本专利技术涉及晶圆加工
，特别涉及一种晶圆分选机。
[0002]
技术介绍

[0003]在晶圆分选的工作中，由于晶圆规格不同，会对不同规格不同工艺的晶圆采用不同的晶圆盒进行存放。晶圆盒分为水平开口晶圆盒（如Wafer FOUP、Wafer POSB、Wafer Open cassette）和垂直开口晶圆盒（如晶圆蛋糕盒）。由于晶圆盒的不同，在现有技术当中，很多时候都是通过人工使用吸笔对不同种类晶圆盒内的晶圆进行拿取、识别、存放的，人工成本较高，且存在工作效率低、晶圆容易被污染的缺陷。
[0004]
技术实现思路

[0005]根据本专利技术实施例，提供了一种晶圆分选机，包含：分拣模块、备料模块、搬运机械手与离心陈列器；分拣模块设置在备料模块的一侧，用于分拣备料模块中存放的不同型号的晶圆；离心陈列器设置在备料模块的另一侧，用于调整晶圆的放置方向；搬运机械手设置在备料模块与离心陈列器之间，用于搬运晶圆。
[0006]进一步，备料模块包含：第一承载支架、晶圆分拣盒、第一晶圆陈列盒、第二晶圆陈列盒与晶圆盛放平台；晶圆分拣盒设置在第一承载支架的顶部；第一晶圆陈列盒设置在第一承载支架的顶部；第二晶圆陈列盒设置在第一承载支架的顶部，第二晶圆陈列盒与第一晶圆陈列盒、晶圆分拣盒呈一字排列；晶圆盛放平台设置在第一承载支架的一侧，晶圆盛放平台与搬运机械手相衔接，用于盛放晶圆。
[0007]进一步，晶圆盛放平台包含：第二承载支架、安装板、一对导向件、电机、双向螺杆、一对安装支架、一对滑块、承载板与两对承载柱；承载板设置在第二承载支架的顶部；安装板设置在第二承载支架上，安装板位于承载板的一侧；一对导向件并行设置在安装板的顶部；一对安装支架并行设置在安装板的顶部，一对安装支架的中心轴相同；双向螺杆的两端与一对导向件转动连接；一对滑块滑动设置在一对导向件上，一对滑块分别与位于双向螺杆两端的螺纹相啮合；电机设置在安装板上，电机的执行端与双向螺杆的一端相连，用于驱动双向螺杆
旋转；两对承载柱分别设置在一对滑块的顶部，两对承载柱分别贯穿承载板凸出于承载板的外表面，用于承载晶圆。
[0008]进一步，晶圆盛放平台还包含：联轴器，联轴器设置在电机的执行端，联轴器与双向螺杆相连。
[0009]进一步，分拣模块包含：第三承载支架、第一直线模组、连接件、第二直线模组与夹爪第三承载支架设置在备料模块的一侧；第一直线模组设置在第三承载支架的顶部；连接件设置在第一直线模组的执行端；第二直线模组设置在连接件的上；夹爪设置在第二直线模组的执行端，用于搬运晶圆。
[0010]进一步，夹爪为吸盘夹爪。
[0011]进一步，还包含：测距传感器，测距传感器设置在夹爪上，用于检测夹爪与晶圆之间的距离。
[0012]根据本专利技术实施例的晶圆分选机，通过分拣模块、备料模块、搬运机械手与离心陈列器相配合实现了对不同型号的晶圆进行分选作业，解决了现有技术中存在的工作效率低的缺陷，具有加工良率高、加工精度高的特点，节约了晶圆的生产成本。
[0013]要理解的是，前面的一般描述和下面的详细描述两者都是示例性的，并 且意图在于提供要求保护的技术的进一步说明。
[0014]附图说明
[0015]图1为根据本专利技术实施例晶圆分选机的立体图；图2为图1中A处的局部放大图。
[0016]具体实施方式
[0017]以下将结合附图，详细描述本专利技术的优选实施例，对本专利技术做进一步阐述。
[0018]首先，将结合图1~2描述根据本专利技术实施例的晶圆分选机，用于分选晶圆5，其的应用场景广阔。
[0019]如图1所示，本专利技术实施例的晶圆分选机，包含：分拣模块、备料模块、搬运机械手1与离心陈列器2；具体地，如图1所示，备料模块用于存放不同型号的晶圆5；离心陈列器2设置在备料模块的另一侧，用于调整晶圆5的放置方向，使随机放置的晶圆5的放置方向保持一致；搬运机械手1设置在备料模块与离心陈列器2之间，用于搬运晶圆5。
[0020]进一步，如图1所示，备料模块包含：第一承载支架31、晶圆分拣盒32、第一晶圆陈列盒33、第二晶圆陈列盒34与晶圆盛放平台；晶圆分拣盒32设置在第一承载支架31的顶部，用于存放放置方向不同且型号不同的若干个晶圆5；第一晶圆陈列盒33设置在第一承载支
架31的顶部，用于存放相同型号的晶圆5；第二晶圆陈列盒34设置在第一承载支架31的顶部，第二晶圆陈列盒34与第一晶圆陈列盒33、晶圆分拣盒32呈一字排列，用于存放相同型号的晶圆5；晶圆盛放平台设置在第一承载支架31的一侧，晶圆盛放平台与搬运机械手1相衔接，用于盛放任一型号的晶圆5。
[0021]进一步，如图1~2所示，晶圆盛放平台包含：第二承载支架351、安装板352、一对导向件353、电机354、双向螺杆355、一对安装支架356、一对滑块357、承载板358与两对承载柱359；承载板358设置在第二承载支架351的顶部；安装板352设置在第二承载支架351上，安装板352位于承载板358的一侧；一对导向件353并行设置在安装板352的顶部，用于对一对滑块357进行导向；一对安装支架356并行设置在安装板352的顶部，一对安装支架356的中心轴相同，用于承载双向螺杆355；双向螺杆355的两端与一对导向件353转动连接；一对滑块357滑动设置在一对导向件353上，一对滑块357分别与位于双向螺杆355两端的螺纹相啮合，反向螺杆驱动一对滑块357同时相向或者相背运动，便于调整两对承载柱359之间的间距，使两对承载柱359适于承载不同型号的晶圆5；电机354设置在安装板352上，电机354的执行端与双向螺杆355的一端相连，用于驱动双向螺杆355旋转；两对承载柱359分别设置在一对滑块357的顶部，两对承载柱359分别贯穿承载板358凸出于承载板358的外表面，用于承载晶圆5。
[0022]进一步，如图2所示，晶圆盛放平台还包含：联轴器360，联轴器360设置在电机354的执行端，联轴器360与双向螺杆355相连，用于对电机354的执行端进行缓冲，延长了电机354的使用寿命。
[0023]具体地，如图1所示，分拣模块设置在备料模块的一侧，用于分拣备料模块中存放的不同型号的晶圆5。
[0024]进一步，如图1所示，分拣模块包含：第三承载支架41、第一直线模组42、连接件43、第二直线模组44与夹爪45；第三承载支架41设置在备料模块的一侧；第一直线模组42设置在第三承载支架41的顶部，用于带动夹爪45进行横向移动，提高了本实施例的工作效率，节约了本实施例的占用空间；连接件43设置在第一直线模组42的执行端；第二直线模组44设置在连接件43的上，用于带动夹爪45进行纵向移动，提高了本实施例的工作效率，节约了本实施例的占用空间；夹爪45设置在第二直线模组44的执行端，用于搬运晶圆5。
[0025]进一步，如图1所示，夹爪45为吸盘夹爪，可有效避免夹爪45对晶圆5造成损伤，提高了本实施例的加工良率，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆分选机，其特征在于，包含：分拣模块、备料模块、搬运机械手与离心陈列器；所述分拣模块设置在所述备料模块的一侧，用于分拣所述备料模块中存放的不同型号的晶圆；所述离心陈列器设置在所述备料模块的另一侧，用于调整所述晶圆的放置方向；所述搬运机械手设置在所述备料模块与所述离心陈列器之间，用于搬运晶圆。2.如权利要求1所述晶圆分选机，其特征在于，所述备料模块包含：第一承载支架、晶圆分拣盒、第一晶圆陈列盒、第二晶圆陈列盒与晶圆盛放平台；所述晶圆分拣盒设置在所述第一承载支架的顶部；所述第一晶圆陈列盒设置在所述第一承载支架的顶部；所述第二晶圆陈列盒设置在所述第一承载支架的顶部，所述第二晶圆陈列盒与所述第一晶圆陈列盒、所述晶圆分拣盒呈一字排列；所述晶圆盛放平台设置在所述第一承载支架的一侧，所述晶圆盛放平台与所述搬运机械手相衔接，用于盛放所述晶圆。3.如权利要求2所述晶圆分选机，其特征在于，所述晶圆盛放平台包含：第二承载支架、安装板、一对导向件、电机、双向螺杆、一对安装支架、一对滑块、承载板与两对承载柱；所述承载板设置在所述第二承载支架的顶部；所述安装板设置在所述第二承载支架上，所述安装板位于所述承载板的一侧；所述一对导向件并行设置在所述安装板的顶部；所述一对安装支架并行设置在所述安...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁猛，林海涛，赵凯，卢升，吕治玮，
申请(专利权)人：上海世禹精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：