一种粉尘捕捉装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种粉尘捕捉装置，包括外壳、导流板组件以及一个或多个过滤部件，所述导流板组件设置于所述外壳内，所述一个或多个过滤部件设置于所述导流板组件；其中，所述导流板组件包括间隔设置的多个导流板，所述多个导流板环绕所述导流板组件的轴线层叠设置，每相邻的两个所述导流板之间形成有一条流体通路，相邻的两条所述流体通路通过设置于所述导流板上的开口相连通。本实用新型专利技术一实施方式的粉尘捕捉装置，通过采用特定结构的导流板组件，能够实现粉尘颗粒的高效去除。能够实现粉尘颗粒的高效去除。能够实现粉尘颗粒的高效去除。

【技术实现步骤摘要】
一种粉尘捕捉装置


[0001]本技术涉及除尘设备，尤其涉及一种可用于半导体产业的粉尘捕捉装置。

技术介绍

[0002]近年来，在半导体、太阳能光伏、平板显示和LED为代表的泛半导体产业普遍采用包括离子注入法、铝等金属的刻蚀法、CVD法等各种方式生产相关产品。在这些产品的生产过程中会产生大量的尾气粉尘微粒，这些粉尘微粒普遍具有颗粒小、颗粒度不均匀(10～500μm之间分布)、颗粒数量多等特点。由于粉尘长期堆积会造成排气管道的堵塞，并进一步影响设备的稳定生产，因此在泛半导体制造过程中会配置专门用于去除混合气体中粉尘颗粒的除尘设备。
[0003]然而，现有的除尘设备或工艺繁琐，或存在除尘效率低的问题，不能实现粉尘颗粒的高效去除。

技术实现思路

[0004]为克服上述现有技术的至少一种缺陷，本技术一实施方式提供了一种粉尘捕捉装置，包括：
[0005]外壳；
[0006]导流板组件，设置于所述外壳内；以及
[0007]一个或多个过滤部件，设置于所述导流板组件；
[0008]其中，所述导流板组件包括间隔设置的多个导流板，所述多个导流板环绕所述导流板组件的轴线层叠设置，在每相邻的两个所述导流板之间形成有一条流体通路，相邻的两条所述流体通路通过设置于所述导流板上的开口相连通；
[0009]沿所述导流板组件的轴线方向，所述开口的投影包括第一端点和第二端点，所述轴线的投影为中心点，所述第一端点与所述中心点之间的连接线段为第一线段，所述第二端点与所述中心点之间的连接线段为第二线段，所述第一线段与所述第二线段之间的夹角为25～50
°
。
[0010]根据本技术一实施方式，每个所述导流板均为具有所述开口的圆筒形板，沿所述导流板组件的轴线方向，所述导流板的投影为一圆弧，所述圆弧的弧度为310～335
°
。
[0011]根据本技术一实施方式，多个所述导流板的轴线位于同一直线上；和/或，
[0012]在相邻的两个所述导流板之间设置有隔板，以使相邻的两条所述流体通路相连通。
[0013]根据本技术一实施方式，所述导流板包括第一端部和第二端部，所述开口位于所述第一端部和所述第二端部之间；所述多个导流板包括第一导流板、第二导流板和第三导流板，多个所述隔板包括第一隔板和第二隔板；
[0014]所述第二导流板位于所述第一导流板和所述第三导流板之间，所述第一隔板设置于所述第二导流板的第一端部与所述第一导流板的第二端部之间，所述第二隔板设置于所
述第二导流板的第二端部与所述第三导流板的第一端部之间。
[0015]根据本技术一实施方式，所述外壳包括具有容纳空腔的壳体，在所述壳体内设置有内置盖，所述内置盖包括第一盖体、围板和密封部件，所述围板环绕所述第一盖体的轴线凸出地设置于所述第一盖体上，所述围板与所述导流板组件位于所述第一盖体的同一侧，所述密封部件套设于所述围板的外部。
[0016]根据本技术一实施方式，沿所述导流板组件的轴线方向，所述导流板组件的投影位于所述围板的投影的内部；和/或，
[0017]所述密封部件为环形的密封绳；和/或，
[0018]在所述壳体上设置有外置盖，沿所述导流板组件的轴线方向，所述内置盖位于所述外置盖与所述导流板组件之间。
[0019]根据本技术一实施方式，所述粉尘捕捉装置包括进气口和出气口，所述进气口设置于所述壳体上，所述出气口设置于所述外置盖上，所述进气口与所述出气口通过所述导流板组件相连通，在所述进气口设置有变径管。
[0020]根据本技术一实施方式，所述粉尘捕捉装置还包括用于固定所述多个过滤部件的多个弹性孔板，在每个所述导流板上设置有一个所述过滤部件和一个所述弹性孔板，所述过滤部件夹设于所述导流板与所述弹性孔板之间；和/或，
[0021]所述导流板组件包括距离其轴线最远的第一导流板和距离其轴线最近的中心导流板；
[0022]所述粉尘捕捉装置还包括用于固定所述导流板组件的固定支撑组件，所述外壳包括壳体和分别设置于所述壳体两端的外置盖和底板，所述导流板组件位于所述壳体内，所述固定支撑组件设置于所述底板上并位于所述导流板组件与所述底板之间；所述固定支撑组件包括多个支撑部件，所述导流板组件设置于所述支撑部件上，所述支撑部件包括第一端部和第二端部，所述第二端部位于所述导流板组件的外部，在所述第二端部上设置有阻挡部，所述阻挡部凸出地设置于所述支撑部件并与所述第一导流板相抵接。
[0023]根据本技术一实施方式，所述过滤部件为无纺布；和/或，
[0024]所述过滤部件覆盖所述导流板的部分或全部区域；和/或，
[0025]所述固定支撑组件还包括定位块，所述定位块位于所述底板上并卡设于所述中心导流板的空腔内，以阻止所述中心导流板的移动。
[0026]根据本技术一实施方式，所述多个导流板的形状相同、尺寸不同；和/或，
[0027]所述流体通路为圆环形；和/或，
[0028]所述粉尘捕捉装置的轴线与所述导流板组件的轴线具有相同的方向。
[0029]本技术一实施方式的粉尘捕捉装置，通过采用特定结构的导流板组件，能够实现粉尘颗粒的高效去除。
[0030]本技术中，上述各技术方案之间还可以相互组合，以实现更多的优选组合方案。本技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分优点可从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解。本技术的目的和其他优点可通过说明书以及附图中所特别指出的内容中来实现和获得。
附图说明
[0031]附图仅用于示出具体实施例的目的，而并不认为是对本技术的限制。其中：
[0032]图1为本技术一实施方式的粉尘捕捉装置的竖截面的示意图；
[0033]图2为本技术一实施方式的粉尘捕捉装置的立体示意图；
[0034]图3为本技术一实施方式的壳体及导流板组件的横截面的示意图；
[0035]图4为本技术一实施方式的第一导流板、过滤部件及弹性孔板的俯视图；
[0036]图5为本技术一实施方式的弹性孔板的结构示意图；
[0037]图6为本技术一实施方式的内置盖的结构示意图；
[0038]图7为本技术一实施方式的外置盖的结构示意图；
[0039]图8为本技术一实施方式的导流板组件与固定支撑组件的俯视图；
[0040]图9为本技术一实施方式的固定支撑组件的结构示意图；
[0041]图10为本技术一实施方式的导流板组件和固定支撑组件的立体结构示意图；
[0042]图11为本技术一实施方式的底板的结构示意图；
[0043]图12为本技术一实施方式的壳体、底板的立体示意图；
[0044]图13为对比例的导流板的结构示意图；
[0045]附图标记说明如下：
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种粉尘捕捉装置，其特征在于，包括：外壳；导流板组件，设置于所述外壳内；以及一个或多个过滤部件，设置于所述导流板组件；其中，所述导流板组件包括间隔设置的多个导流板，所述多个导流板环绕所述导流板组件的轴线层叠设置，在每相邻的两个所述导流板之间形成有一条流体通路，相邻的两条所述流体通路通过设置于所述导流板上的开口相连通；沿所述导流板组件的轴线方向，所述开口的投影包括第一端点和第二端点，所述轴线的投影为中心点，所述第一端点与所述中心点之间的连接线段为第一线段，所述第二端点与所述中心点之间的连接线段为第二线段，所述第一线段与所述第二线段之间的夹角为25～50
°
。2.根据权利要求1所述的粉尘捕捉装置，其特征在于，每个所述导流板均为具有所述开口的圆筒形板，沿所述导流板组件的轴线方向，所述导流板的投影为一圆弧，所述圆弧的弧度为310～335
°
。3.根据权利要求2所述的粉尘捕捉装置，其特征在于，多个所述导流板的轴线位于同一直线上；和/或，在相邻的两个所述导流板之间设置有隔板，以使相邻的两条所述流体通路相连通。4.根据权利要求3所述的粉尘捕捉装置，其特征在于，所述导流板包括第一端部和第二端部，所述开口位于所述第一端部和所述第二端部之间；所述多个导流板包括第一导流板、第二导流板和第三导流板，多个所述隔板包括第一隔板和第二隔板；所述第二导流板位于所述第一导流板和所述第三导流板之间，所述第一隔板设置于所述第二导流板的第一端部与所述第一导流板的第二端部之间，所述第二隔板设置于所述第二导流板的第二端部与所述第三导流板的第一端部之间。5.根据权利要求1所述的粉尘捕捉装置，其特征在于，所述外壳包括具有容纳空腔的壳体，在所述壳体内设置有内置盖，所述内置盖包括第一盖体、围板和密封部件，所述围板环绕所述第一盖体的轴线凸出地设置于所述第一盖体上，所述围板与所述导流板组件位于所述第一盖体的同一侧，所述密封部件套设于所述围板的...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘磊，杨国庆，
申请(专利权)人：上海协微环境科技有限公司，
类型：新型
国别省市：