一种新型用于扩晶机的切膜设备制造技术

该一种新型用于扩晶机的切膜设备，包括设备底座，设备底座中心安装电机支撑座，设备底座上以电机支撑座为对称轴对称安装两个切膜支架，两个切膜支架内侧安装刀具滑道，电机支撑座上方固定安装旋转电机，旋转电机上方伸出旋转轴，旋转轴外部套有滚动丝杆，滚动丝杆上套有螺母，螺母侧方设有两个刀具连接机构，刀具连接机构一端连接螺母，另一端连接切膜刀具，滚动丝杆顶部固定安装晶片膜支撑台，通过将旋转刀具安装在设备底部，刀具通过丝杆传动与滑道配合的方式同步进行旋转与升降动作，减少了切膜的步骤，提高了切膜效率，同时省去了气动装置或其他运动装置的安装，节约了设备生产成本。产成本。产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种新型用于扩晶机的切膜设备


[0001]本技术涉及扩晶机切膜设备
，特别是涉及一种新型用于扩晶机的切膜设备。

技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，
[0003]在半导体加工过程中，扩晶工作是极为重要的一个步骤，可以使得半导体材料容量扩充，扩晶机在扩晶后需要将多余的晶片膜切掉，现有技术中的切膜设备均需要安装气动装置或其他动力装置将刀具进行下压后再进行旋转切割，这样的设备进行切膜工作步骤多，时间较长，切膜效率较低，同时设备成本也较高。
[0004]因此，针对现有技术不足，提供一种新型用于扩晶机的切膜设备以解决现有技术不足甚为必要。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于避免现有技术的不足之处而提供一种新型用于扩晶机的切膜设备，该扩晶机的切膜设备通过将旋转刀具安装在设备底部，刀具通过丝杆传动与滑道配合的方式同步进行旋转与升降动作，减少了切膜的步骤，大大节约了切膜时间，提高了切膜效率，同时省去了气动装置或其他运动装置的安装，节约了设备生产成本。
[0006]本技术的上述目的通过如下技术手段实现。
[0007]提供一种新型用于扩晶机的切膜设备，包括设备底座，设备底座中心安装电机支撑座，设备底座上以电机支撑座为对称轴对称安装两个切膜支架，两个切膜支架内侧安装刀具滑道，电机支撑座上方固定安装旋转电机，旋转电机上方伸出旋转轴，旋转轴外部套有滚动丝杆，滚动丝杆上套有螺母，螺母侧方设有两个刀具连接机构，刀具连接机构一端连接螺母，另一端连接切膜刀具，滚动丝杆顶部固定安装晶片膜支撑台，晶片膜支撑台上方安装有压膜环。
[0008]具体而言的，切膜刀具包括刀柄，刀柄上方安装刀片，刀柄下方安装连接杆，连接杆上安装滑轮，连接杆一端安装在刀柄下方，另一端设有接头，接头插入安装在刀具连接机构上的插入孔。
[0009]优选的，刀具连接机构在侧方开设插入孔，刀具连接机构上方开设固定孔，固定孔底部设有内螺纹。
[0010]具体而言的，滚动丝杆固定套装在旋转轴上，滚动丝杆上下两端设有限位块。
[0011]进一步的，连接杆呈“L”型，滑轮横向安装在连接杆上，滑轮与刀具滑道相契合。
[0012]优选的，切膜刀具、刀具连接机构以丝杆为对称轴在同一平面对称安装。
[0013]本技术通过将旋转刀具安装在设备底部，刀具通过丝杆传动与滑道配合的方式同步进行旋转与升降动作，减少了切膜的步骤，大大节约了切膜时间，提高了切膜效率，同时省去了气动装置或其他运动装置的安装，节约了设备生产成本。
附图说明
[0014]利用附图对本技术作进一步的说明，但附图中的内容不构成对本技术的任何限制。
[0015]图1是本技术一种新型用于扩晶机的切膜设备的结构示意图。
[0016]图2是本技术一种新型用于扩晶机的切膜设备的刀具连接机构放大示意图。
[0017]从图1至图2中，包括：
[0018]1、设备底座；
[0019]2、电机支撑座；
[0020]3、切膜支架；
[0021]4、刀具滑道；
[0022]5、旋转电机；
[0023]6、旋转轴；
[0024]7、滚动丝杆；
[0025]8、螺母；
[0026]9、刀具连接机构；
[0027]91、插入孔，92、固定孔；
[0028]10、切膜刀具；
[0029]101、刀柄，102、刀片，103、连接杆，104、接头；
[0030]11、晶片膜支撑台；
[0031]12、压膜环；
[0032]13、限位块。
具体实施方式
[0033]结合以下实施例对本技术作进一步描述。
[0034]实施例1。
[0035]如图1
‑
2所示，一种新型用于扩晶机的切膜设备，包括设备底座1，设备底座1中心安装电机支撑座2，设备底座1上以电机支撑座2为对称轴对称安装两个切膜支架3，两个切膜支架3内侧安装刀具滑道4，电机支撑座2上方固定安装旋转电机5，旋转电机5上方伸出旋转轴6，旋转轴6外部套有滚动丝杆7，滚动丝杆7上套有螺母8，螺母8侧方设有两个刀具连接机构9，刀具连接机构9一端连接螺母8，另一端连接切膜刀具10，滚动丝杆7顶部固定安装晶片膜支撑台11，晶片膜支撑台11上方安装有压膜环12。
[0036]设备底座1上安装切膜支架3和旋转电机5，旋转电机5带动安装在旋转电机5上的滚动丝杆7旋转，滚送丝杆上的螺母8即可上下运动，安装在螺母8上的切膜刀具10也随之上
下运动，同时滚动丝杆7顶部固定安装的晶片膜支撑台11与压膜环12随着滚动丝杆7进行旋转，即可将多余的晶片膜进行切割。
[0037]切膜刀具10包括刀柄101，刀柄101上方安装刀片102，刀柄101下方安装连接杆103，连接杆103上安装滑轮，连接杆103一端安装在刀柄101下方，另一端设有接头104，接头104插入安装在刀具连接机构9上的插入孔91。
[0038]切膜刀具10通过安装在连接杆103上的接头104插入刀具连接机构9上的插入孔91后，刀具即可随着螺母8进行升降运动，
[0039]刀具连接机构9在侧方开设插入孔91，刀具连接机构9上方开设固定孔92，固定孔92底部设有内螺纹。
[0040]通过向固定孔92旋入螺丝即可将刀具横向纵向的位置均固定在刀具连接机构9。
[0041]滚动丝杆7固定套装在旋转轴6上，滚动丝杆7上下两端设有限位块13。
[0042]滚动丝杆7固定安装在电击伤的旋转轴6上，随着电机转动而转动，上下的限位块13防止刀具升降时幅度过大而导致出现安全问题，保障操作人员的安全。
[0043]连接杆103呈“L”型，滑轮横向安装在连接杆103上，滑轮与刀具滑道4相契合。
[0044]通过连接杆103的“L”型形状实现了切膜刀具10与刀具连接机构9的连接与垂直方向的运动，切膜刀具10在滑道上运动保障了切膜刀具10不受干扰，保障了切割的稳定性。
[0045]切膜刀具10、刀具连接机构9以丝杆为对称轴在同一平面对称安装。
[0046]切膜刀具10、刀具连接机构9在同一平面对称安装，保障了整个切膜设备的稳定，旋转运动及升降运动更加稳定，切割效果更好。
[0047]在生产过程中，通过将旋转刀具安装在设备底部，刀具通过丝杆传动与滑道配合的方式同步进行旋转与升降动作，减少了切膜的步骤，大大本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型用于扩晶机的切膜设备，其特征在于：包括设备底座，所述设备底座中心安装电机支撑座，所述设备底座上以电机支撑座为对称轴对称安装两个切膜支架，两个所述切膜支架内侧安装刀具滑道，所述电机支撑座上方固定安装旋转电机，所述旋转电机上方伸出旋转轴，所述旋转轴外部套有滚动丝杆，所述滚动丝杆上套有螺母，所述螺母侧方设有两个刀具连接机构，所述刀具连接机构一端连接所述螺母，另一端连接切膜刀具，所述滚动丝杆顶部固定安装晶片膜支撑台，所述晶片膜支撑台上方安装有压膜环。2.根据权利要求1所述的一种新型用于扩晶机的切膜设备，其特征在于：所述切膜刀具包括刀柄，所述刀柄上方安装刀片，所述刀柄下方安装连接杆，所述连接杆上安装滑轮，所述连接杆一端安装在所述刀柄下方，另...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘璐璐，杨勇，
申请(专利权)人：鞍山方腾光源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：