【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光学系统检测,属精密测量
光学仪器生产中,光学系统的装校,特别是物镜的装校直接影响光学仪器成像质量和性能,是非常关键的工艺。物镜的装校过程主要有三方面的要求(1)校正每个面的偏心误差,(2)保证空气间隔,(3)在安装牢固的前提下,保证镜面不变形。如果空气间隔不能严格控制,会带来球差、色差、以及影响焦距、倍率等,甚至严重影响物镜的成像质量。因此,空气间隔的测量和控制是物镜生产的关键工艺之一。在实际装校中,空气间隔的测量方法通常有两种一是测量前一透镜的上顶点与后一透镜的上顶点的距离,然后减去透镜厚度。二是测量球面顶点到镜座端面的距离。这两种方法我们均称之为间隔测量。测量仪器大多数是采用百分表、千分表或光栅测微仪等,属于接触式测量。接触式测量的主要缺点是容易划伤透镜表面。为避免划伤,通常在测量头与被测表面之间加一层保护纸,因此测量精度比较低。有些镀有特殊膜层的表面,严禁接触式测量,因此必须采用非接触测量。本技术目的是提供一种非接触式光学系统空气间隔测量装置。采用干涉定位的原理,用光栅位移传感器作为读数系统。测量精度高,误差小,既便于观察,又不损伤 ...
【技术保护点】
非接触式光学系统空气间隔测量装置,其特征在于,由载放被测镜头的平台1、立柱2、可沿立柱2上下移动的干涉仪、由光电成像转换器和监视器组成的观测对准系统、由与干涉仪标准镜头联动的光栅传感系统等组成,其光路设置由被测透镜8而上依次为标准镜头14、准直镜13、分光镜12、光电成像转换器3;由激光器9、扩束系统10、小孔光栏11构成检测光源。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:魏全忠,伍凡,蒋世磊,栗坤,
申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所,
类型:实用新型
国别省市:90[中国|成都]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。