一种用于滤盘焊接的定位工装制造技术

本发明专利技术公开一种用于滤盘焊接的定位工装，涉及滤盘加工技术领域，用于提升滤盘本体与气柱焊接时的固定效果，避免滤盘本体在焊接的过程中的形变。定位工装包括第一定位件、第二定位件、第三定位件和连接件。第一定位件设置于滤盘本体的容纳腔内，第一定位件具有用于承载焊接部的第一承载面，第一定位件上开设有与气柱相配合的第一贯通孔。第二定位件设置于第一定位件远离第一承载面的一侧，第二定位件具有用于承载气柱的第二承载面。第三定位件设置于滤盘本体远离第一定位件的一侧，第三定位件上开设有与第一贯通孔相配合的第二贯通孔。连接件紧固连接于第二定位件和第三定位件，使焊接部平整夹设于第一定位件与第三定位件之间。部平整夹设于第一定位件与第三定位件之间。部平整夹设于第一定位件与第三定位件之间。

【技术实现步骤摘要】
一种用于滤盘焊接的定位工装


[0001]本专利技术涉及滤盘加工
，尤其涉及一种用于滤盘焊接的定位工装。

技术介绍

[0002]用于原子层沉积工艺的前驱体源在源瓶内气化时，放置在滤盘本体的容纳腔内，为了增大气化后的前驱体的流动性，往往在滤盘本体上焊接多个用于通入载体的气柱。
[0003]为了保证滤盘本体与气柱之间的焊接质量，现有的滤盘焊接过程中，将气柱的一端从滤盘本体的通孔中穿过后，滤盘本体和气柱均放置在焊接平台上，然后使用夹具卡设在滤盘本体两侧，以限制滤盘本体移动，之后将滤盘本体和气柱焊接。
[0004]由于滤盘本体的壁厚较薄，在将多个气柱焊接在滤盘本体上时，易造成滤盘本体的变形，降低了滤盘的焊接质量。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种用于滤盘焊接的定位工装，用于提升滤盘本体与气柱焊接时的固定效果，避免滤盘本体在焊接的过程中的形变，进一步提升滤盘的焊接质量。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术提供一种用于滤盘焊接的定位工装，包括：
[0007]第一定位件，设置于滤盘本体的容纳腔内；第一定位件具有用于承载滤盘本体的用于与气柱焊接的焊接部的第一承载面；第一定位件上开设有与气柱相配合的第一贯通孔，用于容纳气柱；
[0008]第二定位件，设置于第一定位件远离第一承载面的一侧；第二定位件具有用于承载气柱的第二承载面；
[0009]第三定位件，设置于滤盘本体远离第一定位件的一侧；第三定位件上开设有与第一贯通孔相配合的第二贯通孔；r/>[0010]连接件，紧固连接于第二定位件和第三定位件，用于使焊接部平整夹设于第一定位件与第三定位件之间。
[0011]采用上述技术方案时，本专利技术提供的用于滤盘焊接的定位工装包括第一定位件、第二定位件和第三定位件，其中，第一定位件设置于滤盘本体的容纳腔内，且第一定位件的第一承载面用于承载滤盘本体的用于与气柱焊接的焊接部。第二定位件设置于第一定位件远离第一承载面的一侧，并且第二定位件具有用于承载气柱的第二承载面。实际情况下，滤盘本体的焊接部上开设有与气柱相配合的第三贯通孔，第一定位件上开设有与气柱相配合的第一贯通孔，气柱的上端依次穿过第一贯通孔和第三贯通孔，气柱的下端由第二承载面承载，而且，气柱的上端突出于焊接部的表面。如此，在第一承载面承载焊接部以及第二承载面承载气柱的情况下，使得气柱与滤盘本体之间的位置相对固定，便于将气柱与滤盘本体进行焊接。不仅如此，本专利技术提供的用于滤盘焊接的定位工装还包括连接件，连接件紧固连接于第二定位件和第三定位件，不仅使得第二定位件和第三定位件的相对位置固定，而且使得焊接部平整夹设于第一定位件与第三定位件之间，从而避免出现在将气柱与滤盘本
体进行焊接时的高温，致使滤盘本体变形的情况，提升了滤盘的焊接质量。
附图说明
[0012]此处所说明的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，构成本专利技术的一部分，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：
[0013]图1为本专利技术实施例提供的滤盘的结构示意图；
[0014]图2为本专利技术实施例提供的滤盘的局部剖面示意图；
[0015]图3为本专利技术实施例提供的用于滤盘焊接的定位工装与滤盘的结构示意图一；
[0016]图4为本专利技术实施例提供的用于滤盘焊接的定位工装与滤盘本体之间位置关系的剖面示意图；
[0017]图5为本专利技术实施例提供的用于滤盘焊接的定位工装与滤盘之间位置关系的局部剖面示意图；
[0018]图6为本专利技术实施例提供的用于滤盘焊接的定位工装与滤盘之间位置关系的结构示意图二；
[0019]图7为本专利技术实施例提供的定位板的结构示意图；
[0020]图8为本专利技术实施例提供的第三定位件的结构示意图。
[0021]附图标记：
[0022]1—第一定位件，11—容纳孔，2—第二定位件，21—第一凸出部，
[0023]22—第二凹槽，3—第三定位件，31—第二贯通孔，32—第三凹槽，
[0024]4—连接件，5—调整件，6—第四定位件，7—按压定位组件，71—连接杆，
[0025]72—按压板，73—弹性件，74—支撑杆，8—定位板，81—第二凸出部，
[0026]82—第三凸出部，83—观察孔，91—滤盘本体，911—定位点，
[0027]912—中心柱，92—气柱。
具体实施方式
[0028]为了使本专利技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0029]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
[0030]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。
[0031]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0032]在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0033]图1和图2示例出本专利技术实施例提供的滤盘的示意图。滤盘包括滤盘本体91和气柱92，滤盘本体91为具有容纳腔的桶状结构，桶状结构的滤盘本体91的底部为用于与气柱92焊接的焊接部，焊接部上开设有供气柱92的一端穿过的第三贯通孔，气柱92的一端自滤盘本体91的容纳腔的一侧穿过焊接部上的第三贯通孔。
[0034]实际情况下，用于原子层沉积工艺的前驱体源在源瓶内气化时，放置在滤盘本体91的容纳腔内。为了增大气化后的前驱体的流动性，往往在滤盘本体91上焊接多个用于通入载体的气柱92，一个滤盘本体91上往往焊接几十个甚至上百个气柱92，在本专利技术提供的实施例中，一个滤盘本体91上焊接65根气柱92。
[0035]为了保证滤盘本体91与气柱92之间的焊接质量，现有的滤盘本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于滤盘焊接的定位工装，其特征在于，包括：第一定位件，设置于滤盘本体的容纳腔内；所述第一定位件具有用于承载所述滤盘本体的用于与气柱焊接的焊接部的第一承载面；所述第一定位件上开设有与所述气柱相配合的第一贯通孔，用于容纳所述气柱；第二定位件，设置于所述第一定位件远离所述第一承载面的一侧；所述第二定位件具有用于承载所述气柱的第二承载面；第三定位件，设置于所述滤盘本体远离所述第一定位件的一侧；所述第三定位件上开设有与所述第一贯通孔相配合的第二贯通孔；连接件，紧固连接于所述第二定位件和所述第三定位件，用于使所述焊接部平整夹设于所述第一定位件与所述第三定位件之间。2.根据权利要求1所述的定位工装，其特征在于，所述定位工装还包括调整件，可拆卸地设置于所述第二定位件，所述调整件用于调整所述第一定位件的轴线延伸方向。3.根据权利要求2所述的定位工装，其特征在于，所述调整件螺纹连接于所述第二定位件；所述调整件的靠近所述第一定位件的一端能够突出于所述第二承载面。4.根据权利要求2所述的定位工装，其特征在于，所述调整件的数量多个，多个所述调整件沿所述第二定位件的周向均匀布设。5.根据权利要求1所述的定位工装，其特征在于，所述定位工装还包括：第四定位件，设置于所述第二定位件远离所述第二承载面的一侧；按压定位组件，设置于所述第四定位件；所述按压定位组件与所述第四定位件配合，所述按压定位组件用于与所述第三定位件远离所述滤盘本体的一面按压接触。6.根据权利要求5所述的定位工装，其特征在于，所述按压定位组件包括：连接杆，设置于所述第四定位件；按压板，活动设置于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐荣辉，杨溢，耿德占，
申请(专利权)人：中科艾尔北京科技有限公司，
类型：发明
国别省市：