一种光电子封装机的超精密运动平台及其运动方法技术

本发明专利技术公开了一种光电子封装机的超精密运动平台及其运动方法，包括运动平台，所述运动平台的下方设有推动机构，所述运动平台的上方设有夹持机构，本发明专利技术结构简单，设计新颖，特设的推动机构能够带动运动平台进行多方位平移，然后通过运动机构可以带动夹持机构进行升降运动，同时通过将多个第一气缸进行不同程度的伸缩调整，还可以带动夹持机构进行一定角度的倾斜调整，继而实现工件的精准定位。继而实现工件的精准定位。继而实现工件的精准定位。

【技术实现步骤摘要】
一种光电子封装机的超精密运动平台及其运动方法


[0001]本专利技术涉及超精密运动平台
，具体为一种光电子封装机的超精密运动平台及其运动方法。

技术介绍

[0002]集成光电子器件是支撑新世纪光纤通信高速发展的核心器件。光电子封装是在视觉设备的引导下，通过六自由度运动平台，将输入、输出阵列光纤和光学芯片进行对准耦合 的过程。运动平台是光电子封装系统中对芯片和光纤定位的平台，对光电子封装有着极其重要的作用。在光电子封装过程中，为了实现光通道的最大功率耦合，从而进行光信号高效率的传输，运动平台需要实现六自由度大行程运动范围及亚微米级的定位精度。
[0003]现有技术中的六自由度运动平台虽然可以进行升降或者不同倾斜角度的调整，但是无法向不同方向平移该运动平台，只是升降和角度调整，在精度等方面难以满足光电子封装过程中越来越高的要求。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种光电子封装机的超精密运动平台及其运动方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种光电子封装机的超精密运动平台，包括运动平台，所述运动平台的下方设有推动机构，所述运动平台的上方设有夹持机构，所述运动平台包括环形架11和安装台，所述环形架的圆边上设有呈弧形设计的三条滑轨，每个所述滑轨之间均设有一个安装板；每个所述滑轨上均设有两个滑块；每个所述滑块的上端均转动连接着第一气缸，每个所述第一气缸的呈倾斜状向上转动连接于安装台的底部边缘；每个所述滑块15底部均转动连接着连杆。
[0006]优选的，所述推动机构包括底座，所述底座上分别设有六个第二气缸，每两个第二气缸的底部通过固定件安装与底座的边缘，每个所述第二气缸向一侧倾斜，且端部转动连接于对应的连杆上。
[0007]优选的，所述夹持机构包括夹持台，所述夹持台固定于安装台上，所述夹持台的台面上设有一条滑槽，所述滑槽内设有一组相对设置的L形夹板，两个所述夹板之间通过伸缩组件连接。
[0008]优选的，所述伸缩组件包括固定杆和活塞杆，所述固定杆内部设有弹簧，所述活塞杆的一端进入固定杆，且与弹簧相连接。
[0009]优选的，所述光电子封装的的超精密运动平台的运动方式，包括如下方法：S1：将待检测的集成光电子器件用夹持机构夹紧，然后启动推动机构来移动运动平台；
S2:具体的推动方式是，利用第二气缸推动相邻的两个滑块相对滑行，使这两个滑块靠近，同时这两个滑块两侧的其余滑块，在其余第二气缸的推动下也顺着两个滑块做相向滑行，慢慢靠近这两个滑块的两侧，从而使得多个滑块都偏向一侧，就能带动运动机构向着一侧平移，如需向着其他方向平移，同理操作不同方位的相邻滑块相对滑行即可；S3:当平移至指定位置后，再启动运动平台的第一气缸进行伸缩，就能带动夹持机构进行升降，以进一步精确定位检测点；S4:如果需要做角度调整，将第一滑轨、第二滑轨和第三滑轨上的第二气缸分别做不同高度的调整，就可以使夹持机构进行一定倾斜，从而实现多角度的调整。
[0010]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术结构简单，设计新颖，特设的推动机构能够带动运动平台进行多方位平移，然后通过运动机构可以带动夹持机构进行升降运动，同时通过将多个第一气缸进行不同程度的伸缩调整，还可以带动夹持机构进行一定角度的倾斜调整，继而实现工件的精准定位。
附图说明
[0011]图1为本专利技术整体结构示意图；图2为本专利技术运动平台的结构示意图；图3为本专利技术推动机构的结构示意图；图4为本专利技术夹持机构的结构示意图；图5为本专利技术伸缩组件的结构示意图。
具体实施方式
[0012]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0013]在专利技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、
ꢀ“
下”、
ꢀ“
内”、
ꢀ“
外”“前端”、
ꢀ“
后端”、
ꢀ“
两端”、
ꢀ“
一端”、
ꢀ“
另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对专利技术的限制。此外，术语“第一”、
ꢀ“
第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0014]在专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、
ꢀ“
设置有”、
ꢀ“
连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在专利技术中的具体含义。
[0015]请参阅图1
‑
5，本专利技术提供一种技术方案：一种光电子封装机的超精密运动平台，包括运动平台1，所述运动平台1的下方设有推动机构2，所述运动平台1的上方设有夹持机构3。
[0016]本实施例中，一种光电子封装机的超精密运动平台，包括运动平台1，所述运动平
台1的下方设有推动机构2，所述运动平台1的上方设有夹持机构3，其特征在于：所述运动平台1包括环形架11和安装台12，所述环形架11的圆边上设有呈弧形设计的三条滑轨13，每个所述滑轨13之间均设有一个安装板14，将该安装板安装于封装机的机架上，就可以将运动平台进行安装固定；然后再每个所述滑轨13上均设有两个滑块15；并将每个所述滑块15的上端均转动连接着第一气缸151，每个所述第一气缸151的呈倾斜状向上转动连接于安装台12的底部边缘，当所有第一气缸一起伸缩时，就能够带动整个安装台一起升降，当多个第一气缸分别做不同伸缩高度的调整时，就可以使夹持机构进行一定倾斜，从而实现多角度的调整；再将每个所述滑块15底部均转动连接着连杆152。
[0017]本实施例中，所述推动机构2包括底座21，在所述底座21上分别设有六个第二气缸22，然后再让每两个第二气缸22的底部通过固定件安装于底座21的边缘，然后每个所述第二气缸22向一侧倾斜，且端部转动连接于对应的连杆152上，即可通过第二气缸的伸缩，来推动滑块在相应的滑轨上滑行，从而连带安装台上的夹持机构进行相应的运动。
[0018]本实施例中，所述夹持机构3包括夹持台31，将所述夹持台31固定于安装台12上，并在所述夹持台31的台面上设置一条滑槽32，并在所述滑槽32内设有一组相对设置的L形夹板33，然后两个所述夹板33之间通过伸缩组件34连接，这样就可以调整夹板之间的间隙。
[0019]本实施例中，所述伸缩本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光电子封装机的超精密运动平台，包括运动平台1，所述运动平台1的下方设有推动机构2，所述运动平台1的上方设有夹持机构3，其特征在于：所述运动平台1包括环形架11和安装台12，所述环形架11的圆边上设有呈弧形设计的三条滑轨13，每个所述滑轨13之间均设有一个安装板14；每个所述滑轨13上均设有两个滑块15；每个所述滑块15的上端均转动连接着第一气缸151，每个所述第一气缸151的呈倾斜状向上转动连接于安装台12的底部边缘；每个所述滑块15底部均转动连接着连杆152。2.根据权利要求1所述的一种光电子封装机的超精密运动平台，其特征在于：所述推动机构2包括底座21，所述底座21上分别设有六个第二气缸22，每两个第二气缸22的底部通过固定件安装于底座21的边缘，每个所述第二气缸22向一侧倾斜，且端部转动连接于对应的连杆152上。3.根据权利要求1所述的一种光电子封装机的超精密运动平台，其特征在于：所述夹持机构3包括夹持台31，所述夹持台31固定于安装台12上，所述夹持台31的台面上设有一条滑槽32，所述滑槽32内设有一组相对设置的L形夹板33，两个所述夹板33之间通过伸缩组件34...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐锦标，廖福，顾伟，
申请(专利权)人：江苏准信精密技术有限公司，
类型：发明
国别省市：