一种高精度光学检测运动平台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高精度光学检测运动平台，包括底座，所述底座上设有一组相同的固定平台，所述固定平台分别固定于底座的两侧，所述固定平台之间设有移动平台；本实用新型专利技术结构简单，设计新颖，使运动平台可在两个方向上移动，由直线电机控制运动平台的移动，提高定位精密度，使光学检测结果更加准确。使光学检测结果更加准确。使光学检测结果更加准确。

【技术实现步骤摘要】
一种高精度光学检测运动平台


[0001]本技术涉及高精密运动平台
，具体为一种高精度光学检测运动平台。

技术介绍

[0002]运动平台是精密机械中的关键部件之一，它为微光刻技术、数控加工、生物技术、IC封装设备、纳米表面形貌测量等领域提供一个能够实现精密定位和精确运动的载物平台，现有技术中，光学检测运动平台的定位移动准确性有待提高，在进行高精度的移动时会出现一些偏差，影响光学检测的结果。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种高精度光学检测运动平台，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种高精度光学检测运动平台，包括底座，其特征在于：所述底座上设有一组相同的固定平台，所述固定平台分别固定于底座的两侧，所述固定平台之间设有移动平台，所述移动平台包括第一壳体，所述第一壳体内设有第一直线电机，所述第一直线电机包括第一定子与第一动子，所述第一动子上固定有安装侧板，所述第一直线电机的一侧设有第一导轨，所述第一导轨上设有第一滑块，所述第一滑块固定于安装侧板内侧，所述第一壳体的上方设有第二导轨，所述第二导轨上设有第二滑块，所述第二滑块均固定于第一动子下方，所述第一壳体的一侧设有第一拖链支架，所述第一拖链支架上设有第一拖链，所述第一动子的一侧设有第一连接板，所述第一拖链的上端固定于第一连接板上。
[0005]优选的，所述固定平台包括第二壳体，所述第二壳体内设有第二直线电机，所述第二直线电机包括第二定子与第二动子，所述第二壳体的上方设有第三导轨，所述第三导轨上设有两个第三滑块，所述第二壳体的一侧设有第二拖链支架，所述第二拖链支架上设有第二拖链，所述第二动子的一侧设有第二连接板，所述第二拖链的上端固定于第二连接板上。
[0006]优选的，所述第一壳体两端均设有两个连接座，所述移动平台即通过连接座连接至固定平台的第三滑块上。
[0007]优选的，所述固定平台的两端设有支撑脚，所述支撑脚侧边设有固定平台阻挡座。
[0008]优选的，所述第一壳体的两端设有移动平台阻挡座。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术结构简单，设计新颖，利用合理的机械结构，巧妙发挥各要素内在潜力，通过设置X、Y两个方向的直线电机，使运动平台可在两个方向上移动，由直线电机控制运动平台的移动，提高定位精密度，使光学检测结果更加准确。
附图说明
[0010]图1为本技术整体结构示意图；
[0011]图2为本技术中固定平台结构示意图；
[0012]图3为本技术中移动平台结构示意图；
[0013]图4为图3中A部放大图。
具体实施方式
[0014]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0015]请参阅图1
‑
4，本技术提供一种技术方案：一种高精度光学检测运动平台，包括底座1，所述底座1上设有一组相同的固定平台2，所述固定平台2分别固定于底座1的两侧，所述固定平台2之间设有移动平台3，所述移动平台3包括第一壳体31，所述第一壳体31内设有第一直线电机32，所述第一直线电机32包括第一定子321与第一动子322，所述第一动子322上固定有安装侧板33，所述安装侧板33即用于安装光学检测仪器，由所述第一直线电机32带动第一动子322在第一定子321上进行移动，所述第一直线电机32的一侧设有第一导轨34，所述第一导轨341上设有第一滑块351，所述第一滑块351固定于安装侧板33内侧，所述第一壳体31的上方设有第二导轨342，所述第二导轨342上设有第二滑块352，所述第二滑块352均固定于第一动子322下方，所述第一壳体31的一侧设有第一拖链支架361，所述第一拖链支架361上设有第一拖链362，所述第一拖链362可对第一动子322进行牵引和保护，所述第一动子322的一侧设有第一连接板363，所述第一拖链362的上端固定于第一连接板363上。
[0016]本实施例中，所述固定平台2包括第二壳体21，所述第二壳体21内设有第二直线电机22，所述第二直线电机22包括第二定子221与第二动子222，由所述第二直线电机22带动第二动子222在第二定子221上进行移动，所述第二壳体21的上方设有第三导轨23，所述第三导轨23上设有两个第三滑块24，所述第二壳体21的一侧设有第二拖链支架25，所述第二拖链支架25上设有第二拖链26，所述第二拖链26可对第二动子222进行牵引和保护，所述第二动子222的一侧设有第二连接板27，所述第二拖链26的上端固定于第二连接板27上。
[0017]本实施例中，所述第一壳体31两端均设有两个连接座4，所述移动平台3即通过连接座4连接至固定平台2的第三滑块24上，以此完成移动平台3在固定平台2上的移动，使安装于安装侧板33上的光学检测仪可以实现两个方向的运动，提高光学检测仪的移动定位精度。
[0018]本实施例中，所述固定平台2的两端设有支撑脚5，所述支撑脚5侧边设有固定平台阻挡座6，所述固定平台阻挡座6用于限制第三滑块24的位置。
[0019]本实施例中，所述第一壳体31的两端设有移动平台阻挡座7，所述移动平台阻挡座7用于限制第一动子322的位置。
[0020]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修
改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高精度光学检测运动平台，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上设有一组相同的固定平台(2)，所述固定平台(2)分别固定于底座(1)的两侧，所述固定平台(2)之间设有移动平台(3)，所述移动平台(3)包括第一壳体(31)，所述第一壳体(31)内设有第一直线电机(32)，所述第一直线电机(32)包括第一定子(321)与第一动子(322)，所述第一动子(322)上固定有安装侧板(33)，所述第一直线电机(32)的一侧设有第一导轨(341)，所述第一导轨(341)上设有第一滑块(351)，所述第一滑块(351)固定于安装侧板(33)内侧，所述第一壳体(31)的上方设有第二导轨(342)，所述第二导轨(342)上设有第二滑块(352)，所述第二滑块(352)均固定于第一动子(322)下方，所述第一壳体(31)的一侧设有第一拖链支架(361)，所述第一拖链支架(361)上设有第一拖链(362)，所述第一动子(322)的一侧设有第一连接板(363)，所述第一拖链(362)的上端固定于第一连接板(363)上。2.根据权利要求1所述的一种高精度光...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐锦标，廖福，顾伟，
申请(专利权)人：江苏准信精密技术有限公司，
类型：新型
国别省市：