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一种高精度光学检测运动平台制造技术
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文档序号:38798779
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本实用新型公开了一种高精度光学检测运动平台,包括底座,所述底座上设有一组相同的固定平台,所述固定平台分别固定于底座的两侧,所述固定平台之间设有移动平台;本实用新型结构简单,设计新颖,使运动平台可在两个方向上移动,由直线电机控制运动平台的移动...
该专利属于江苏准信精密技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏准信精密技术有限公司授权不得商用。
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