一种超精密气浮平台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种超精密气浮平台，包括平台底支架，所述平台底支架上设有花岗岩底座，所述花岗岩底座上设有第一气浮移动机构，所述第一气浮移动机构上设有第二气浮移动机构，所述第一气浮移动机构与第二气浮移动机构呈十字垂直设置，所述第二气浮移动机构上设有气浮转台；本实用新型专利技术结构简单，设计新颖，垂直布置的两个气浮移动机构能够实现气浮转台双向运动。向运动。向运动。

【技术实现步骤摘要】
一种超精密气浮平台


[0001]本技术涉及气浮运动平台
，具体为一种超精密气浮平台。

技术介绍

[0002]气浮运动平台是精密机械中的关键部件之一，它为微光刻技术、数控加工、生物技术、IC封装设备、纳米表面形貌测量等领域提供一个能够实现精密定位和精确运动的载物平台；应用较多的要数在先进的电子制造设备，比如光刻机贴片机等，高性能的运动平台是其工作的主要机构；现有技术中，能够实现双向运动的气浮平台存在占地面积较大的问题，且有时并不需要很大的运动范围，在一定程度上造成了资源的浪费。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种超精密气浮平台，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种超精密气浮平台，包括平台底支架，所述平台底支架上设有花岗岩底座，所述花岗岩底座上设有第一气浮移动机构，所述第一气浮移动机构上设有第二气浮移动机构，所述第一气浮移动机构与第二气浮移动机构呈十字垂直设置，所述第二气浮移动机构上设有气浮转台。
[0005]优选的，所述第一气浮移动机构包括壳体，所述壳体端部的内侧设有限位组件，所述壳体内设有直线电机，所述直线电机两侧设有一组相对应的导轨，每个所述导轨上均设有滑块，所述滑块上设有工作台面，所述壳体的一侧设有拖链支架，所述拖链支架上设有拖链，所述工作台面的一侧设有安装块，所述拖链的上端与安装块相接。
[0006]优选的，所述第二气浮移动机构与第一气浮移动机构结构一致，所述第二气浮移动机构的壳体底面与第一气浮移动机构的工作台面相连接。
[0007]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术结构简单，设计新颖，利用合理的机械结构，巧妙发挥各要素内在潜力，垂直布置的两个气浮移动机构能够实现气浮转台在水平和竖直方向上的双向运动，同时节省了占地空间，进行小范围内的精密机械加工，更有针对性。
附图说明
[0008]图1为本技术整体结构示意图；
[0009]图2为本技术俯视图；
[0010]图3为本技术中第一气浮移动机构剖视图；
[0011]图4为本技术中第一气浮移动机构侧视图。
具体实施方式
[0012]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行
清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0013]请参阅图1，本技术提供一种技术方案：一种超精密气浮平台，包括平台底支架1，所述平台底支架1上设有花岗岩底座2，所述花岗岩底座2上设有第一气浮移动机构3，所述第一气浮移动机构3上设有第二气浮移动机构4，所述第一气浮移动机构3与第二气浮移动机构4呈十字垂直设置，所述第二气浮移动机构4上设有气浮转台5，所述气浮转台5可在水平方向和竖直方向上进行运动。
[0014]本实施例中，所述第一气浮移动机构3包括壳体31，所述壳体31端部的内侧设有限位组件32，所述壳体31内设有直线电机33，所述直线电机33两侧设有一组相对应的导轨34，每个所述导轨34上均设有滑块35，所述滑块35上设有工作台面36，所述限位组件32用于限制滑块35的运动位置，避免撞到壳体31上，所述壳体31的一侧设有拖链支架37，所述拖链支架37上设有拖链38，所述拖链38的一端与拖链支架37通过螺丝相连，所述工作台面36的一侧设有安装块39，所述拖链38的另一端与安装块39也通过螺丝相接，所述拖链支架37与安装块39上均开有洞口，所述直线电机33的电线即穿过洞口连接至拖链38，通过直线电机33带动拖链38，再带动工作台面36运动。
[0015]本实施例中，所述第二气浮移动机构4与第一气浮移动机构3结构一致，所述第二气浮移动机构4的壳体31底面与第一气浮移动机构的工作台面36相连接，所述第二气浮移动机构4在第一气浮移动机构3上进行运动。
[0016]工作原理：首先将需要进行加工的工件安装在气浮转台上，然后启动直线电机带动第一气浮移动机构进行左右移动、第二气浮移动机构进行前后移动，以调整好气浮转台的精确位置，再启动气浮转台，调整工件所需的角度方位，使之靠近加工设备进行加工。
[0017]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超精密气浮平台，包括平台底支架(1)，所述平台底支架(1)上设有花岗岩底座(2)，其特征在于：所述花岗岩底座(2)上设有第一气浮移动机构(3)，所述第一气浮移动机构(3)上设有第二气浮移动机构(4)，所述第一气浮移动机构(3)与第二气浮移动机构(4)呈十字垂直设置，所述第二气浮移动机构(4)上设有气浮转台(5)。2.根据权利要求1所述的一种超精密气浮平台，其特征在于：所述第一气浮移动机构(3)包括壳体(31)，所述壳体(31)端部的内侧设有限位组件(32)，所述壳体(31)内设有直线电机(33)，所述直线...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐锦标，廖福，张伟，
申请(专利权)人：江苏准信精密技术有限公司，
类型：新型
国别省市：