一种硅片清洗机的上料结构制造技术

技术编号:36330830 阅读:74 留言:0更新日期:2023-01-14 17:40
本实用新型专利技术属于硅片清洗设备技术领域,具体的说是一种硅片清洗机的上料结构,包括外框主体和设置在外框主体一侧的调节机构,所述调节机构包括旋转组件;所述旋转组件包括第一电机和第一齿轮,所述外框主体的一侧设置有安装架;通过第一齿板运动的结构设计,当需要对安装架进行转运操作时,操作人员可以打开第一电机通过第一齿板的运动来带动安装架进行往复滑动,来起到对推动板进行搬运硅片灵活性的作用,第一电机的驱动通过第一控制箱的作用带动第一齿轮的转动,进一步的,第一齿轮的转动带动第一齿板沿外框主体的外壁进行滑动,来起到对安装架进行灵活往复运动的作用,以实现提高对硅片搬运灵活性的控制操作。对硅片搬运灵活性的控制操作。对硅片搬运灵活性的控制操作。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗机的上料结构


[0001]本技术涉及硅片清洗设备
,具体是一种硅片清洗机的上料结构。

技术介绍

[0002]硅片正在悄悄走进航空、航天、工业、农业和国防,也正在悄悄进入每一个家庭,小小硅片的巨大“魔力”是我们的前人根本无法想象的,而在硅片的生产制造过程中,往往需要对硅片进行清洗操作,同时,在清洗时往往需要通过上料结构对硅片进行上料的操作。
[0003]但是现有的上料结构在使用时出现无法有效提高对上料结构整体移动调节灵活性的问题,导致在需要对上料结构进行移动式,由于灵活性较低,使得对硅片清洗的整体效率低下,以及,现有的上料结构在使用时出现无法有效提高对硅片主体夹持稳定性的问题,导致在对硅片进行搬运时,由于夹持的稳定性较低,使得硅片在移动过程中,易发生脱落的可能,造成对硅片清洗的复杂性;因此,针对上述问题提出一种硅片清洗机的上料结构。

技术实现思路

[0004]为了弥补现有技术的不足,解决无法有效提高对上料结构整体移动调节灵活性与无法有效提高对硅片主体夹持稳定性的问题,本技术提出一种硅片清洗机的上料结构。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗机的上料结构,包括外框主体(1)和设置在外框主体(1)一侧的调节机构,其特征在于:所述调节机构包括旋转组件;所述旋转组件包括第一电机(4)和第一齿轮(5),所述外框主体(1)的一侧设置有安装架(2),所述安装架(2)的外壁固定连接有第一控制箱(3),所述第一控制箱(3)的顶部设置有第一电机(4),所述第一控制箱(3)的侧壁固定连接有与外框主体(1)外壁旋转连接的第一齿轮(5),所述第一齿轮(5)的外壁啮合有第一齿板(6)。2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机的上料结构,其特征在于:所述安装架(2)的外壁安装有第二电机(7),所述第二电机(7)的输出端固定连接有同步带(8),所述同步带(8)的一端固定连接有与安装架(2)外壁旋转连接的传动杆(9),所述传动杆(9)的外壁螺纹连接有滑动板(10),所述滑动板(10)的底部滑动连接有与安装架(2)外壁固定连接的滑轨杆(11),所述滑动板(10)的外壁设置有第二控制箱(12),所述第二控制箱(12)的外壁设置有第二齿轮(13),所述第二齿轮(13)的外壁啮合有第二齿板(14),所述滑动板(10)的外壁与第二齿板(14)的连接部位开设有固定槽(15),所述第二齿板(14)的底部固定连接有升降板(16),所述升降板(16)的外壁固定连接有电动推杆(17),所述电动推杆(17...

【专利技术属性】
技术研发人员:张晓川
申请(专利权)人:江苏工鼎工业技术有限公司
类型:新型
国别省市:

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