【技术实现步骤摘要】
一种集成电路封装用晶圆切割机
[0001]本技术属于晶圆切割机
,具体涉及一种集成电路封装用晶圆切割机。
技术介绍
[0002]晶圆激光切割设备是一种用于集成电路、LED晶圆、砷化镓晶圆等半导体晶圆的专用激光切割设备。晶圆切割是半导体封测工艺当中的一个不可或缺的工序,近年来,随着光电产业的迅猛发展,高集成和高性能的半导体晶圆需求也越来越大。
[0003]授权公开号“CN207577694U”记载了“本技术提供一种激光晶圆切割机定位装置,包括激光晶圆切割机主体、工作箱、激光切割头、安装板、第一液压伸缩缸、第一挤压板、第二液压伸缩缸以及第二挤压板,工作箱设置在激光晶圆切割机主体左侧,激光切割头设置在激光晶圆切割机主体上端面左侧,安装板固定激光晶圆切割机主体上端面,第一液压伸缩缸安装在内部后侧,第一挤压板通过螺栓固定在第一液压伸缩缸前端面,第一液压伸缩缸安装在内部前侧,第二挤压板通过螺栓固定在第二液压伸缩缸后端面,该设计解决了原有激光晶圆切割装置没有电动固定结构的问题,本技术结构合理,定位切割准确,适用范围广,可靠性 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种集成电路封装用晶圆切割机,其特征在于,包括:晶圆切割机本体(1),所述晶圆切割机本体(1)的一端设置有安装板(2),所述安装板(2)的下端设置有激光切割头(3);放置板(6),所述放置板(6)固定连接于晶圆切割机本体(1)的一端;丝杆(9),所述丝杆(9)转动连接于放置板(6)的上端,且丝杆(9)的圆周表面螺纹连接有丝杆螺母(11);两个转动块(14),两个所述转动块(14)均转动连接于丝杆螺母(11)的一端;两个伸缩杆(16),两个所述伸缩杆(16)分别固定连接于两个转动块(14)的一端;两个橡胶块(15),两个所述橡胶块(15)分别固定连接于两个伸缩杆(16)的一端;以及电机(10),所述电机(10)固定连接于放置板(6)的下端,且电机(10)的输出轴活动贯穿放置板(6)的上端并与丝杆(9)固定连接。2.根...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴峰,高乾,邹强,彭波,
申请(专利权)人:四川华尔科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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