一种晶圆运输装置制造方法及图纸

本申请公开了一种晶圆运输装置，属于晶圆运输技术领域。主要包括一侧开口的储存箱，储存箱开口处设置有用于阻挡晶圆架从储存箱内移出的阻挡组件；储存箱远离开口处一侧的内壁两侧均设置有滚套轴，滚套轴分别靠近一侧的支撑槽，滚套轴两端均固定有铰接杆，铰接杆一端与储存箱内壁铰接，位于同侧的至少两个铰接杆之间有弹性件。晶圆架放入储存箱时，会挤压并撑开两个滚套轴，弹性件通过自身弹性将两个铰接杆收拢，从而带动滚套轴有将晶圆架推出储存箱的趋势，而晶圆架的另一侧会被阻挡组件挡住，从而达到了滚套轴和阻挡组件配合，将晶圆架夹持固定的效果。本申请的一种晶圆运输装置达到增加晶圆固定强度的效果。达到增加晶圆固定强度的效果。达到增加晶圆固定强度的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆运输装置


[0001]本申请涉及晶圆运输
，具体为一种晶圆运输装置。

技术介绍

[0002]在晶圆加工的不同阶段，必须将晶圆运入和运出各种加工站。该运输过程通常会用到提篮，提篮主要包括一处开口的储存箱，将晶圆放置到晶圆架上后，将晶圆架两侧分别卡入储存箱内两侧的支撑槽内，最后用挡板、挡杆等阻挡组件，将晶圆架挡住，并配合储存箱内壁，将晶圆架卡在储存箱内壁和阻挡组件之间，之后便能通过移动提篮，运输晶圆。
[0003]由于晶圆架生产过程的误差，或晶圆架使用过程中的磨损，均会导致晶圆架的尺寸偏小。如专利号为CN217199568U的中国专利中，提供了一种提篮槽层延伸治具，由于其阻挡组件的位置固定，在晶圆架的尺寸偏小时，晶圆架便会容易在运输中晃动，从而导致晶圆受损。
[0004]所以有必要提供一种晶圆运输装置，将晶圆夹持固定，来解决上述问题。
[0005]需要说明的是，本
技术介绍
部分中公开的以上信息仅用于理解本专利技术构思的
技术介绍
，并且因此，它可以包含不构成现有技术的信息。

技术实现思路

[0006]基于现有技术中存在的上述问题，本申请实施例的目的在于：提供一种晶圆运输装置，达到增加晶圆固定强度的效果。
[0007]本申请解决其技术问题所采用的技术方案是：一种晶圆运输装置，包括一侧开口的储存箱，所述储存箱内两侧的内壁设置有用于存放晶圆架的支撑槽，所述储存箱开口处设置有用于阻挡晶圆架从储存箱内移出的阻挡组件；
[0008]所述储存箱远离开口处一侧的内壁两侧均设置有滚套轴，所述滚套轴分别靠近一侧的支撑槽，所述滚套轴两端均固定有铰接杆，所述铰接杆一端与储存箱内壁铰接，位于同侧的至少两个所述铰接杆之间有弹性件。
[0009]晶圆架放入储存箱时，会挤压并撑开两个滚套轴，弹性件通过自身弹性将两个铰接杆收拢，从而带动滚套轴有将晶圆架推出储存箱的趋势，而晶圆架的另一侧会被阻挡组件挡住，从而达到了滚套轴和阻挡组件配合，将晶圆架夹持固定的效果。
[0010]进一步的，所述滚套轴上均转动连接有滚套,用于减少滚套轴和晶圆架之间的磨损。
[0011]进一步的，所述滚套表面均固定有第一弹性套，所述第一弹性套由弹性材料制成，用于增加与晶圆架的贴合度。
[0012]进一步的，所述阻挡组件包括分别设置于储存箱开口处两侧的活动轴，所述活动轴两端均固定有转动杆，所述转动杆一端与储存箱活动连接，所述储存箱开口处设置有用于固定转动杆的固定结构。
[0013]进一步的，所述活动轴上均活动套设有活动套，用于减少活动轴和晶圆架之间的
磨损。
[0014]进一步的，所述活动套表面均固定有第二弹性套，所述第二弹性套由弹性材料制成，用于增加与晶圆架的贴合度。
[0015]本申请的有益效果是：本申请提供的一种晶圆运输装置，通过弹性件，使滚套轴和阻挡组件可以适应尺寸偏小的晶圆架，晶圆架夹持固定，从而避免晶圆架偏小后，晶圆易振动损坏的问题，达到保护晶圆的效果。
[0016]除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本专利技术还有其它的目的、特征和优点。下面将参照图，对本专利技术作进一步详细的说明。
附图说明
[0017]构成本专利技术的一部分的说明书附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：
[0018]图1为本申请中一种晶圆运输装置的整体示意图；
[0019]图2为图1中支撑组件的整体示意图；
[0020]图3为图1中挡杆的整体示意图；
[0021]其中，图中各附图标记：
[0022]1、提篮；11、储存箱；111、把手；112、延伸板；113、支撑槽；114、插入孔；115、凹槽；116、卡槽；12、挡杆；121、活动轴；122、转动杆；123、插入杆；124、活动套；125、第二弹性套；13、支撑组件；131、滚套轴；132、铰接杆；133、弹性件；134、滚套；135、第一弹性套；
[0023]2、晶圆架；3、晶圆。
具体实施方式
[0024]需要说明的是，在不冲突的情况下，本专利技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本专利技术。
[0025]为了使本
的人员更好地理解本专利技术方案，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本专利技术保护的范围。
[0026]需要说明的是，本专利技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的术语在适当情况下可以互换，以便这里描述的本专利技术的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
[0027]需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
[0028]如图1
‑
3所示，本申请提供了一种晶圆运输装置，包括提篮1，提篮1内设置有晶圆架2，晶圆架2上固定有晶圆3。
[0029]提篮1包括一侧开口的储存箱11、位于储存箱11开口处的挡杆12和位于储存箱11内远离开口一侧的支撑组件13。
[0030]储存箱11顶部铰接有至少一个把手111，本实施方式中，把手111设置有两个，储存箱11开口处对称固定有两个延伸板112，延伸板112相对的一面分别与储存箱11一侧的内壁共面，延伸板112相对的一面均设置有若干支撑槽113，两侧的支撑槽113位置相同，支撑槽113一端连通至延伸板112远离储存箱11的一端，支撑槽113一端延伸至储存箱11内。
[0031]延伸板112远离储存箱11一侧的上下两端设置有位置相同的插入孔114，延伸板112下侧还设置有凹槽115，位于下侧的插入孔114位于凹槽115内远离储存箱11的一端，凹槽115远离储存箱11一端的侧壁设置有卡槽116。
[0032]支撑组件13包括两个滚套轴131，滚套轴131分别靠近一侧的支撑槽113，滚套轴131两端均固定有铰接杆132的一端，铰接杆132的另一端均与储存箱11远离延伸板112一侧的内壁铰接，位于同侧的铰接杆132之间均固定有弹性件133，本实施方式中，弹性件133为弹簧。
[0033本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆运输装置，包括一侧开口的储存箱(11)，所述储存箱(11)内两侧的内壁设置有用于存放晶圆架(2)的支撑槽(113)，所述储存箱(11)开口处设置有用于阻挡晶圆架(2)从储存箱(11)内移出的阻挡组件，其特征在于：所述储存箱(11)远离开口处一侧的内壁两侧均设置有滚套轴(131)，所述滚套轴(131)分别靠近一侧的支撑槽(113)，所述滚套轴(131)两端均固定有铰接杆(132)，所述铰接杆(132)一端与储存箱(11)内壁铰接，位于同侧的至少两个所述铰接杆(132)之间有弹性件(133)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆运输装置，其特征在于：所述滚套轴(131)上均转动连接有滚套(134),用于减少滚套轴(131)和晶圆架(2)之间的磨损。3.根据权利要求2所述的一种晶圆运输装置，其特征在于：所述滚套(134)表面均...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾亚飞，郭静，季春瑞，许桂洋，刘佳均，张浩，
申请(专利权)人：安徽新芯威半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：