一种晶圆清洗用转移机械臂制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶圆清洗用转移机械臂，涉及晶圆清洗用转移技术领域，包括机械手臂，所述机械手臂的顶部固定连接有底板，所述底板的顶部一侧靠近前侧位置固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有第一齿轮，所述底板的顶部另一侧中心处固定连接有限位板，所述第一齿轮的一端内啮合连接有柔性齿条，所述柔性齿条的一端内啮合连接有第二齿轮，所述底板的顶部两侧中心处分别固定连接有夹持件，通过螺栓将夹持件与夹紧件螺纹连接，便于实现夹紧件位置的调节，从而实现夹持件与夹紧件之间的距离可调，进而实现对不同大小的晶圆的夹持，提高了转移效率。提高了转移效率。提高了转移效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆清洗用转移机械臂


[0001]本技术涉及晶圆清洗用转移
，尤其涉及一种晶圆清洗用转移机械臂。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。
[0003]晶圆是制作半导体电路所需的硅晶片，半导体在科技领域的重要性是巨大的，但是晶圆在生产制作过程中会产生有机污染物、金属颗粒等，需要对晶圆进行严格的清洗，清洗完毕的晶圆如何转移是比较麻烦的事，人为操作容易产生误差、污染、以及速度不易提升。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中晶圆是制作半导体电路所需的硅晶片，半导体在科技领域的重要性是巨大的，但是晶圆在生产制作过程中会产生有机污染物、金属颗粒等，需要对晶圆进行严格的清洗，清洗完毕的晶圆如何转移是比较麻烦的事，人为操作容易产生误差、污染、以及速度不易提升的问题，而提出的一种晶圆清洗用转移机械臂。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种晶圆清洗用转移机械臂，包括机械手臂，所述机械手臂的顶部固定连接有底板，所述底板的顶部一侧靠近前侧位置固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有第一齿轮，所述底板的顶部另一侧中心处固定连接有限位板，所述限位板的前表面转动连接有第二齿轮，所述底板的顶部两侧中心处分别转动连接有夹持件，所述夹持件的顶部贯穿滑动连接有螺栓，所述夹持件的前侧外表面底部固定连接有转动柱，且夹持件的前后表面底部位置分别转动连接有夹板，所述转动柱的前表面固定连接有第三齿轮，所述夹持件的两侧内表面中心处分别设置有夹紧件。
[0006]优选的，两个所述夹持件相对表面顶部位置分别固定连接有防滑垫，且防滑垫的材质为橡胶材质。
[0007]优选的，所述第三齿轮与第二齿轮的表面前侧位置啮合连接，所述第一齿轮和第二齿轮的表面啮合连接有柔性齿条。
[0008]优选的，所述螺栓的表面与夹紧件螺纹贯穿设置，所述夹紧件的顶部与夹持件的表面贯穿滑动连接。
[0009]优选的，所述夹板的前侧与转动柱的表面贯穿设置，所述第一齿轮的后表面贯穿相邻的夹板的表面向外延伸，且第一齿轮的后端面与夹持件的表面固定连接。
[0010]优选的，所述夹板的底部与底板的顶部固定连接。
[0011]与现有技术相比，本技术的优点和积极效果在于，
[0012]1、本技术中，通过机械手臂运动来调节位置，达到夹持晶圆的理想位置，然后启动电机，电机正传，通过电机的输出端转动带动第一齿轮转动，第一齿轮转动来实现柔性齿条的转动，由于柔性齿条的运动带动第二齿轮的转动，第二齿轮与第三齿轮外啮合连接，两者的旋转方向相反，第三齿轮与转动柱固定连接，转动柱又与夹持件固定连接，而夹持件与转夹板转动连接，实现第三齿轮和第一齿轮带动夹持件反向旋转，而夹持件与夹紧件通过螺栓螺纹连接，来调整夹持的位置，便于对不同尺寸的晶圆进行夹持，最后通过调节机械手臂来调整晶圆所需摆放的位置，然后将电机反转，使得晶圆得以放置于指定位置，避免了误差和污染的产生，同时也加快了转移的速度。
[0013]2、本技术中，通过螺栓将夹持件与夹紧件螺纹连接，便于实现夹紧件位置的调节，从而实现夹持件与夹紧件之间的距离可调，进而实现对不同大小的晶圆的夹持，提高了转移效率。
附图说明
[0014]图1为本技术提出一种晶圆清洗用转移机械臂的立体结构示意图；
[0015]图2为本技术提出一种晶圆清洗用转移机械臂图1的后视结构示意图；
[0016]图3为图1中A处的放大图。
[0017]图例说明：1、机械手臂；2、夹持件；3、螺栓；4、防滑垫；5、电机；6、第一齿轮；7、第二齿轮；8、第三齿轮；9、柔性齿条；10、底板；11、限位板；12、转动柱；13、夹板；14、夹紧件。
具体实施方式
[0018]为了能够更清楚地理解本技术的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本技术做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0019]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是，本技术还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本技术并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
[0020]实施例1，如图1
‑
3所示，一种晶圆清洗用转移机械臂，包括机械手臂1，机械手臂1的顶部固定连接有底板10，底板10的顶部一侧靠近前侧位置固定连接有电机5，电机5的输出端固定连接有第一齿轮6，底板10的顶部另一侧中心处固定连接有限位板11，限位板11的前表面转动连接有第二齿轮7，底板10的顶部两侧中心处分别转动连接有夹持件2，夹持件2的顶部贯穿滑动连接有螺栓3，夹持件2的前侧外表面底部固定连接有转动柱12，且夹持件2的前后表面底部位置分别转动连接有夹板13，转动柱12的前表面固定连接有第三齿轮8，夹持件2的两侧内表面中心处分别设置有夹紧件14。
[0021]其整个实施例1达到的效果为，通过设置机械手臂1，实现晶圆位置的转移，机械手臂1的顶部与底板10的底部固定连接，便于实现抓取角度的改变，底板10的顶部一侧靠近前侧位置与电机5固定连接，电机5的输出端与第一齿轮6固定连接，便于实现电机5转动带动第一齿轮6转动，底板10的顶部另一侧中心处与限位板11固定连接，便于实现对限位板11位置的确定，限位板11的前表面与第二齿轮7转动连接，便于实现第二齿轮7位置的确定且第二齿轮7旋转不受阻，底板10的顶部两侧中心处分别与夹持件2转动连接，夹持件2的顶部与
螺栓3贯穿滑动连接，便于实现夹持件2的转动，夹持件2的前侧外表面底部与转动柱12固定连接，且夹持件2的前后表面底部位置分别转动连接有夹板13，便于实现转动柱12转动带动夹持件2在夹板13上转动，转动柱12的前表面与第三齿轮8固定连接，便于实现第三齿轮8带动转动柱12旋转，夹持件2的两侧内表面中心处分别设置有夹紧件14，便于实现通过拧动螺栓3改变夹持件2与夹紧件14之间的距离，从而实现对不同尺寸的晶圆进行夹持。
[0022]实施例2，如图1
‑
3所示，两个夹持件2相对表面顶部位置分别固定连接有防滑垫4，且防滑垫4的材质为橡胶材质，第三齿轮8与第二齿轮7的表面前侧位置啮合连接，第一齿轮6和第二齿轮7的表面啮合连接有柔性齿条9，螺栓3的表面与夹紧件14螺纹贯穿设置，夹紧件14的顶部与夹持件2的表面贯穿滑动连接，夹板13的前侧与转动柱12的表面贯穿设置，第一齿轮6的后表面贯穿相邻的夹板13的表面向外延伸，且第一齿轮6的后端面与夹持件2的表面固定连接，所述夹板13的底部与底板10的顶部固定连接。
[0023]其整个实施例2达到的效果为，两个夹持件2相对表面顶部位置分别固定连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗用转移机械臂，包括机械手臂(1)，其特征在于：所述机械手臂(1)的顶部固定连接有底板(10)，所述底板(10)的顶部一侧靠近前侧位置固定连接有电机(5)，所述电机(5)的输出端固定连接有第一齿轮(6)，所述底板(10)的顶部另一侧中心处固定连接有限位板(11)，所述限位板(11)的前表面转动连接有第二齿轮(7)，所述底板(10)的顶部两侧中心处分别转动连接有夹持件(2)，所述夹持件(2)的顶部贯穿滑动连接有螺栓(3)，所述夹持件(2)的前侧外表面底部固定连接有转动柱(12)，且夹持件(2)的前后表面底部位置分别转动连接有夹板(13)，所述转动柱(12)的前表面固定连接有第三齿轮(8)，所述夹持件(2)的两侧内表面中心处分别设置有夹紧件(14)。2.根据权利要求1所述的晶圆清洗用转移机械臂，其特征在于：两个所述夹持件(2)相对表面顶部位置...

【专利技术属性】
技术研发人员：范银波，
申请(专利权)人：苏州珮凯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：