一种用于晶圆的长距离取放的机械手末端装置，包括横移架、滑动设置在横移架上的机械手以及联合驱动机构；联合驱动机构包括第一转轴、第二转轴、丝杠以及用于驱动丝杠转动的伺服电机；第一转轴上设置有齿轮和第一从动皮带轮；第二转轴上设置有第二从动皮带轮和第三从动皮带轮；第一从动皮带轮和第二从动皮带轮间设置有第一从动皮带；横移架上设置有第四从动皮带轮，第四从动皮带轮和第三从动皮带轮间设置有第二从动皮带，第二从动皮带上设置有连接机械手的皮带固定板；丝杠上安装有丝母座，横移架固定在丝母座上；丝杠的一侧设置有与齿轮啮合配合的齿条板。本实用新型专利技术能够使机械手长距离、多点位的取放晶圆，提高机械手的利用率。提高机械手的利用率。提高机械手的利用率。
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆的长距离取放的机械手末端装置
[0001]本技术涉及硅片倒角加工设备
，具体的说是一种用于晶圆的长距离取放的机械手末端装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，晶圆的形状为圆形。现有技术中由晶棒切片得到硅片，但是此时的硅片边缘较尖利，需要对硅片进行倒角，以使硅片形成子弹式光滑的边缘。一方面，硅片倒角后能够使硅片边缘产生较低的中心应力，增加硅片的牢固。另一方面，硅片倒角后会强化边缘，降低硅片在后续加工过程中产生碎裂的几率。
[0003]然而，在晶圆的生产过程中，晶圆进行倒角工序之前需要测量晶圆的厚度等参数，这时就需要机械手进行长距离取放晶圆的操作。但是现有技术中的机械手的伸出行程有限，难以很好的完成晶圆的长距离取放料动作，无法应对晶圆快速，高效的搬运工况。
[0004]而且，当需要机械手在多个不同距离的设备点进行取放料时，现有技术中的机械手末端装置不能够满足长距离多点位的取放工作，通常需要使用两个机械手才能够协调完成晶圆的取放料动作，而且，在机械手协调取放晶圆的过程中晶圆与多点位机械手的衔接接触，增加了取放晶圆的时间，降低了晶圆倒角工序的效率、机械手的利用率。
技术实现思路
[0005]本技术旨在提供一种用于晶圆的长距离取放的机械手末端装置，能够使机械手长距离、多点位的取放晶圆，提高晶圆倒角工序的效率和机械手的利用率。
[0006]为了解决以上机械手伸出行程有限，机械手无法应对晶圆快速、高效的搬运工况的技术问题，本技术采用的具体方案为一种用于晶圆的长距离取放的机械手末端装置：包括横移架、滑动设置在横移架上的机械手，还包括用于驱动横移架和机械手同向移动的联合驱动机构；
[0007]联合驱动机构包括第一转轴、第二转轴、丝杠以及用于驱动丝杠转动的伺服电机；第一转轴、第二转轴间隔平行的设置在横移架的同一端，第一转轴的一端设置有齿轮，另一端设置有第一从动皮带轮；第二转轴的一端设置有第二从动皮带轮，另一端设置有第三从动皮带轮；其中第一从动皮带轮和第二从动皮带轮间设置有第一从动皮带；横移架远离第一转轴、第二转轴的端部设有第四从动皮带轮，第四从动皮带轮和第三从动皮带轮间设置有第二从动皮带，第二从动皮带上设置有连接机械手的皮带固定板；
[0008]丝杠上安装有丝母座，横移架固定在丝母座上，以使横移架随丝杠的转动而移动；丝杠的一侧设置有齿条板，齿条板与齿轮啮合配合以使机械手随横移架的移动而在横移架上同向移动。
[0009]作为本技术一种用于晶圆的长距离取放的机械手末端装置的进一步优化：伺服电机的输出轴上套装有主动轮，丝杠上套设有从动轮，主动轮和从动轮间安装有主动皮带。
[0010]作为本技术一种用于晶圆的长距离取放的机械手末端装置的进一步优化：机械手为晶圆陶瓷铲，机械手由直板段和半弧铲口端组成，机械手直板段远离半弧铲口的一端设置有铲座。
[0011]作为本技术一种用于晶圆的长距离取放的机械手末端装置的进一步优化：横移架上沿横移架的长度方向设置有供机械手滑动的上滑轨，上滑轨上滑动设置有上滑块，铲座固定在上滑块上。
[0012]作为本技术一种用于晶圆的长距离取放的机械手末端装置的进一步优化：皮带固定板为L形，皮带固定板的长边与机械手固定连接，L形的皮带固定板的短边固定在第二从动皮带上。
[0013]作为本技术一种用于晶圆的长距离取放的机械手末端装置的进一步优化：齿条板和伺服电机均底部设置有底板，齿条板和伺服电机均固定在底板上。
[0014]作为本技术一种用于晶圆的长距离取放的机械手末端装置的进一步优化：底板上位于横移架的一侧设置有下滑轨，下滑轨与丝杠平行分布；下滑轨上设有下滑块，下滑块和丝母座间设有连接板，横移架的底部固定在连接板上。
[0015]有益效果
[0016]本技术中在伺服电机的驱动下，固定在丝母座上的横移架随丝杠的转动而移动。随横移架的移动，与齿条板啮合配合的齿轮转动。齿轮的转动带动第二从动皮带轮转动，第二从动皮带轮通过第一从动皮带带动第三从动皮带轮转动，第二从动皮带会随第三从动皮带轮的转动而移动，则机械手随第二从动皮带的移动而在横移架上滑动，以使机械手随横移架的移出而伸出。机械手的移动行程增加，减少了机械手取放晶圆的时间，使机械手能够适用于长距离、多点位的取放料动作。
附图说明
[0017]图1为本技术左侧视角下的主体结构示意图；
[0018]图2为本技术右侧视角下的主体结构示意图；
[0019]图3为机械手伸出状态下的左视结构示意图；
[0020]图4为机械手伸出状态下的右视结构示意图；
[0021]图5为本机械手收缩状态下的右视结构示意图；
[0022]附图标记：1、机械手，2、铲座，3、上滑块，4、上滑轨，5、横移架，6、第二从动皮带轮，7、第一从动皮带，8、第一从动皮带轮，9、丝母座，10、丝杠，11、下滑块，12、下滑轨，13、齿条板，14、从动轮，15、主动轮，16、主动皮带，17、伺服电机，18、齿轮，19、第三从动皮带轮，20、第二从动皮带，21、第四从动皮带轮，22、皮带固定板。
具体实施方式
[0023]如图1及图2所示，一种用于晶圆的长距离取放的机械手末端装置，包括横移架5、滑动设置在横移架5上的机械手1以及用于驱动横移架5和机械手1同向移动的联合驱动机构。
[0024]如图1及图3所示，横移架5为L形，L形的横移架5的长板上沿设置有上滑轨4，上滑轨4沿横移架5长板的长度方向分布，上滑轨4上滑动设置有供机械手1在上滑轨4上滑动的
上滑块3。机械手1固定在上滑块3上，机械手1又称为晶圆陶瓷铲。机械手1由直板段和半弧铲口端组成，半弧铲口端固定在机械手1直板段的右端部，且半弧铲口的开口端朝向外侧分布。机械手1直板段远离半弧铲口端的左端上设置有铲座2，铲座2固定在上滑块3上。
[0025]如图1及图2所示，联合驱动机构包括转动设置在横移架5一端上的第一转轴、第二转轴，第一转轴、第二转轴间隔且平行分布于L形的横移架5的短板上，第一转轴位于第二转轴的右下方，且第一转轴、第二转轴的左端均凸出横移架5的左侧面设置，第一转轴、第二转轴的右端均凸出横移架5的右侧面设置。
[0026]第一转轴的右端套装有齿轮18，第一转轴的左端套装有第一从动皮带轮8。位于第一转轴左上方的第二转轴的左端套装有第二从动皮带轮6，第二转轴的右端套装有第三从动皮带轮19，且第一从动皮带轮8和第二从动皮带轮6间安装有第一从动皮带7。
[0027]如图2及图4所示，横移架5上远离第一转轴、第二转轴的一端设置有第三转轴，第三转轴的右端凸出横移架5的右侧面设置，且第三转轴的右端上套装有第四从动皮带轮21，第四从动皮带轮21与第三从动皮带轮19处于同一水平面上。
[0028]第四从动皮带轮21和第三从动皮带轮19间安装有第二从动皮带20，第二从动皮带20上设置本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆的长距离取放的机械手末端装置，包括横移架(5)、滑动设置在横移架(5)上的机械手(1)，其特征在于：还包括用于驱动横移架(5)和机械手(1)同向移动的联合驱动机构；联合驱动机构包括第一转轴、第二转轴、丝杠(10)以及用于驱动丝杠(10)转动的伺服电机(17)；第一转轴、第二转轴间隔平行的设置在横移架(5)的同一端，第一转轴的一端设置有齿轮(18)，另一端设置有第一从动皮带轮(8)；第二转轴的一端设置有第二从动皮带轮(6)，另一端设置有第三从动皮带轮(19)；其中第一从动皮带轮(8)和第二从动皮带轮(6)间设置有第一从动皮带(7)；横移架(5)远离第一转轴、第二转轴的端部设有第四从动皮带轮(21)，第四从动皮带轮(21)和第三从动皮带轮(19)间设置有第二从动皮带(20)，第二从动皮带(20)上设置有连接机械手(1)的皮带固定板(22)；丝杠(10)上安装有丝母座(9)，横移架(5)固定在丝母座(9)上，以使横移架(5)随丝杠(10)的转动而移动；丝杠(10)的一侧设置有齿条板(13)，齿条板(13)与齿轮(18)啮合配合以使机械手(1)随横移架(5)的移动而在横移架(5)上同向移动。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的长距离取放的机械手末端装置，其特征在于：伺服电机(17)的输出轴上套装有主动轮(15)，丝杠(10)上套设有从动轮...
【专利技术属性】
技术研发人员：贾波，王海君，楚浩杰，张明亮，焦二强，
申请(专利权)人：麦斯克电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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