一种适用于晶圆清洗的清洗喷头制造技术

本实用新型专利技术提供一种适用于晶圆清洗的清洗喷头，涉及一般清洁技术领域，包括：清洁室，清洁室内壁的一侧活动安装有出液管，出液管外表面的一端固定安装有喷头，出液管外表面的另一端固定安装有保护环，保护环外表面的一侧活动连接有入液管，入液管的外表面固定套设有压力泵。本实用新型专利技术，通过电机输出轴的转动带动多个主轴的转动，主轴的转动拉动次轴来回运动，从而拉动转板以一定的角度摆动，同时拉杆以及固定轴的设置，使得保护环同样以转板转动的角度来回转动，从而带动底部的出液管的摆动，使得喷头转动喷洒，增大了清洁时的喷射接触面积，同时避免传统清洁装置设置过多喷头，与外部连接处可能产生污染的情况。与外部连接处可能产生污染的情况。与外部连接处可能产生污染的情况。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于晶圆清洗的清洗喷头


[0001]本技术涉及一般清洁
，尤其涉及一种适用于晶圆清洗的清洗喷头。

技术介绍

[0002]晶圆作为半导体元器件以及芯片的制作材料，表面的清洁尤其重要，由于晶圆的加工过程对清洁度要求较高，所有与晶圆表面发生接触的非预期物质及污染物都会对于晶圆造成严重污染，所以在生产作业过程当中，清洁设备必不可免，目前最常见的清洁方式有喷射清洁，超声波清洁。
[0003]但是现有技术中，喷射清洁装置往往是固定安装在清洁池的内部，清洁喷头通过侧面冲刷晶圆表面进行清洁，侧面一定角度冲刷避免冲击力过大对于晶圆造成损坏，然而侧面冲刷晶圆虽然避免了晶圆表面的损伤，但是往往需要安置多个不同角度的清洁喷头，提高了设备成本，增大了清洁池泄漏污染的概率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的清洁喷头无法以较小的角度旋转清洁，单次清洁深度不够的问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种适用于晶圆清洗的清洗喷头，包括：清洁室，所述清洁室内壁的一侧活动安装有出液管，所述出液管外表面的一端固定安装有喷头，所述出液管外表面的另一端固定安装有保护环，所述保护环外表面的一侧活动连接有入液管，所述入液管的外表面固定套设有压力泵，所述清洁室外表面的一侧固定安装有支撑板，所述支撑板外表面的顶部固定安装有电机，所述电机的输出轴固定安装有主轴，所述主轴外表面的一端活动安装有次轴。
[0006]作为一种优选的实施方式，所述次轴外表面的一端活动安装有转板，所述转板的内部活动嵌设有固定柱，所述固定柱固定安装在支撑板外表面的一侧，所述转板外表面的两侧均固定安装有固定块。
[0007]采用上述进一步方案的技术效果是：多个固定块的设置从而拉动拉杆以相同的幅度转动。
[0008]作为一种优选的实施方式，多个所述固定块的内部均活动嵌设有拉杆，多个所述拉杆外表面的另一端均活动嵌设有固定轴。
[0009]采用上述进一步方案的技术效果是：固定轴的固定使得拉杆一端的转动得以拉动保护环的两个端点转动。
[0010]作为一种优选的实施方式，多个所述固定轴固定连接在保护环的外表面，所述入液管外表面的另一端固定连接有清洁液仓。
[0011]采用上述进一步方案的技术效果是：同时当设备需要使用时，在清洁液仓的内部灌入清洁剂，当清洁剂在清洁液仓内部的高度达到水位感应装置预设的阈值，压力泵以及电机开始工作，同时门轴开始转动，从而带动闭门转动，打开入水口，清洁剂通过入液管与
清洁液仓的连接处进入入液管的内部，从而使得整个装置开始运作，当清洁剂在清洁液仓内部的高度达未达到水位感应装置预设的阈值，压力泵以及电机停止工作，同时门轴停止转动，此时停止运作，整个清洁流程完成，需要清洁时只需要在清洁液仓的内部灌注一定量的清洁剂即可，使用起来非常方便。
[0012]作为一种优选的实施方式，所述清洁液仓内壁的一侧固定安装有水位感应装置，所述清洁液仓内壁的一侧活动安装有门轴。
[0013]采用上述进一步方案的技术效果是：当清洁剂的高度达到预设阈值时，门轴转动打开入水口，作为运作开启装置。
[0014]作为一种优选的实施方式，所述门轴的外表面固定套设有闭门，所述闭门与清洁液仓的内壁活动连接。
[0015]采用上述进一步方案的技术效果是：闭门在未开启工作时，抵挡在入水口，防止清洁剂留置在管道内部长期使用造成腐蚀。
[0016]与现有技术相比，本技术的优点和积极效果在于，
[0017]1.本技术，使用过程中通过电机输出轴的转动带动多个主轴的转动，主轴的转动拉动次轴来回运动，从而拉动转板以一定的角度摆动，同时拉杆以及固定轴的设置，使得保护环同样以转板转动的角度来回转动，从而带动底部的出液管的摆动，使得喷头转动喷洒，增大了清洁时的喷射接触面积，解决了现有晶圆清洗喷头需要额外设置多个喷头，同时晶圆清洗装置喷头与外部连接处可能产生污染的情况。
[0018]2.本技术，在晶圆清洗装置开始使用时，只需要注入一定量的清洁剂，当达到水位感应装置的预设阈值时，门轴转动，同时电机以及压力泵同样开始工作，从而带动闭门转动，入水口打开，清洁剂通过入液管流下开始喷洒清洁，工作过程只需要添加定量的清洁剂即可，不需要额外操作，相对于传统晶圆清洗装置，使用起来更加便捷。
附图说明
[0019]图1为本技术提供的一种适用于晶圆清洗的清洗喷头的右侧视立体结构图；
[0020]图2为本技术提供的一种适用于晶圆清洗的清洗喷头的左侧视立体结构图；
[0021]图3为本技术提供的一种适用于晶圆清洗的清洗喷头启动装置的立体结构图；
[0022]图4为本技术提供的一种适用于晶圆清洗的清洗喷头图2中A处的放大图。
[0023]图例说明：
[0024]1、清洁室；2、出液管；3、清洁液仓；4、支撑板；5、电机；6、固定柱；7、入液管；201、喷头；202、压力泵；301、水位感应装置；302、闭门；303、门轴；501、主轴；502、次轴；601、转板；602、固定块；603、拉杆；604、固定轴；605、保护环。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：一种适用于晶圆清洗的清洗喷头，包括：清洁室1，清洁室1内壁的一侧活动安装有出液管2，出液管2外表面的一端固定安装有喷头201，出液管2外表面的另一端固定安装有保护环605，保护环605外表面的一侧活动连接有入液管7，入液管7的外表面固定套设有压力泵202，清洁室1外表面的一侧固定安装有支撑板4，支撑板4外表面的顶部固定安装有电机5，电机5的输出轴固定安装有主轴501，主轴501外表面的一端活动安装有次轴502，当设备使用时，电机5的输出轴带动主轴501转动，主轴501以电机5的输出轴为轴做圆周运动，主轴501外表面另一端活动安装的次轴502在主轴501的转动下被拉动，推拉转板601外表面的一端，转板601是活动套设在固定柱6的外表面的，可以在固定的高度转动，转板601的摆动，拉动两端连接的拉杆603同样拉动固定轴604摆动，固定轴604与拉杆603是转动连接的，固定轴604的另一端固定安装在保护环605的外表面，从而带动保护环605转动，由于保护环605与出液管2是固定连接，同样带动出液管2的转动，出液管2的转动使得喷头201的摆动，从而实现以一定的角度来回摆动喷洒。
[0027]请参阅图1
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4，次轴502外表面的一端活动安装有转板601，转板601的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于晶圆清洗的清洗喷头，包括：清洁室(1)，其特征在于：所述清洁室(1)内壁的一侧活动安装有出液管(2)，所述出液管(2)外表面的一端固定安装有喷头(201)，所述出液管(2)外表面的另一端固定安装有保护环(605)，所述保护环(605)外表面的一侧活动连接有入液管(7)，所述入液管(7)的外表面固定套设有压力泵(202)，所述清洁室(1)外表面的一侧固定安装有支撑板(4)，所述支撑板(4)外表面的顶部固定安装有电机(5)，所述电机(5)的输出轴固定安装有主轴(501)，所述主轴(501)外表面的一端活动安装有次轴(502)。2.根据权利要求1所述的一种适用于晶圆清洗的清洗喷头，其特征在于：所述次轴(502)外表面的一端活动安装有转板(601)，所述转板(601)的内部活动嵌设有固定柱(6)，所述固定柱(6)固定安装在支撑板(4)外表面的一侧，所述转板(601...

【专利技术属性】
技术研发人员：范银波，
申请(专利权)人：苏州珮凯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：