一种晶圆双面自动清洗机制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶圆双面自动清洗机，涉及晶圆清洗机技术领域，包括清洗箱，所述清洗箱的外表面对称固定连接有电机，两个所述电机的输出端均贯穿清洗箱的外表面并延伸至内侧。本实用新型专利技术中，通过固定杆将晶圆固定在清洗箱内部，通过两侧电机启动，带动两侧刷头转动，清洗时，通过开关打开出水管，使清洗液通过喷头淋到晶圆的上，通过刷头对晶圆进行第一次清洗，清洗完成后，通过另一侧开关打开的另一侧出水管，使清水通过另一侧的喷头淋到晶圆上，通过刷头对晶圆进行第二次清洗，晶圆的清洗效果好，且可以同时对晶圆的两侧进行自动清理，减少了工作量，提升了工作效率。提升了工作效率。提升了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆双面自动清洗机


[0001]本技术涉及晶圆清洗机
，尤其涉及一种晶圆双面自动清洗机。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，晶圆在不断被加工成形及抛光处理的过程中，各种有机物、粒子及金属接触而产生的污染物会吸附在晶圆的表面，所以晶圆清洗是晶圆制造过程中的一个重要工艺步骤。
[0003]现有技术中，晶圆在清洗时，工作人员只有在清洗晶圆完的一面后，才能将晶圆另外一面翻转过来，然后在清洗晶圆的另外一面，步骤较多，且人工清理的效果差，不仅费时费力，还增加了工作量，导致清洗晶圆的工作效率变低。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在晶圆在清洗时，工作人员只有在清洗晶圆完的一面后，才能将晶圆另外一面翻转过来，然后在清洗晶圆的另外一面，步骤较多，且人工清理的效果差，不仅费时费力，还增加了工作量，导致清洗晶圆的工作效率变低的问题，而提出的一种晶圆双面自动清洗机。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种晶圆双面自动清洗机，包括清洗箱，所述清洗箱的外表面对称固定连接有电机，两个所述电机的输出端均贯穿清洗箱的外表面并延伸至内侧，两个所述电机的输出端均固定连接有转轴，两个所述转轴的上端面均固定连接有连接板，所述清洗箱的内底部中心位置固定连接有第一自动伸缩杆，所述第一自动伸缩杆的驱动端固定连接有底座，所述清洗箱的内表面对称固定连接有第二自动伸缩杆，两个所述第二自动伸缩杆的驱动端均固定连接有固定杆，所述清洗箱的内底部对称固定连接有支撑杆，所述清洗箱的上表面固定连接有水箱，所述水箱的上表面设置有进水管，所述水箱的前表面对称设置有出水管，两个所述出水管的外表面均设置有开关。
[0006]优选的，两个所述出水管的下端面固定连接有喷头，两个所述连接板的端面均均匀固定连接有多个刷头。
[0007]优选的，两个所述固定杆的内表面均黏合连接有第一保护垫，所述底座的上表面黏合连接有第二保护垫。
[0008]优选的，两个所述支撑杆的内表面均与两个转轴的外表面呈转动连接，两个所述固定杆和底座呈配套设置。
[0009]优选的，所述水箱内表面之间固定连接有隔板。
[0010]优选的，所述清洗箱的下表面均匀固定连接有多个支撑腿，所述清洗箱的内底部开设有出水槽。
[0011]与现有技术相比，本技术的优点和积极效果在于，
[0012]1、本技术中，通过固定杆将晶圆固定在清洗箱内部，通过两侧电机启动，带动两侧刷头转动，清洗时，通过开关打开出水管，使清洗液通过喷头淋到晶圆的上，通过刷头对晶圆进行第一次清洗，清洗完成后，通过另一侧开关打开的另一侧出水管，使清水通过另一侧的喷头淋到晶圆上，通过刷头对晶圆进行第二次清洗，晶圆的清洗效果好，且可以同时对晶圆的两侧进行自动清理，减少了工作量，提升了工作效率。
[0013]2、本技术中，通过设置第二保护垫，起到了保护晶圆本体的作用，将两侧第二自动伸缩杆向后移动，第一自动伸缩杆向上移动，带动底座上升，底座推动晶圆，晶圆顺着固定杆的两侧上升，使晶圆自动移出清洗箱，提升了使用舒适度。
附图说明
[0014]图1为本技术提出一种晶圆双面自动清洗机的立体图；
[0015]图2为本技术提出一种晶圆双面自动清洗机的水箱剖视图；
[0016]图3为本技术提出一种晶圆双面自动清洗机的清洗箱剖视图；
[0017]图4为本技术提出一种晶圆双面自动清洗机的清洗箱俯视图。
[0018]图例说明：1、清洗箱；2、水箱；3、第一自动伸缩杆；4、底座；5、第二自动伸缩杆；6、进水管；7、出水管；8、支撑腿；9、开关；10、喷头；11、电机；12、固定杆；13、出水槽；14、第一保护垫；15、连接板；16、刷头；17、第二保护垫；18、支撑杆；19、隔板。
具体实施方式
[0019]为了能够更清楚地理解本技术的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本技术做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0020]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是，本技术还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本技术并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
[0021]实施例1，如图1
‑
图4所示，本技术提供了一种晶圆双面自动清洗机，包括清洗箱1，清洗箱1的外表面对称固定连接有电机11，两个电机11的输出端均贯穿清洗箱1的外表面并延伸至内侧，两个电机11的输出端均固定连接有转轴，两个转轴的上端面均固定连接有连接板15，清洗箱1的内底部中心位置固定连接有第一自动伸缩杆3，第一自动伸缩杆3的驱动端固定连接有底座4，清洗箱1的内表面对称固定连接有第二自动伸缩杆5，两个第二自动伸缩杆5的驱动端均固定连接有固定杆12，清洗箱1的内底部对称固定连接有支撑杆18，清洗箱1的内底部开设有出水槽13两个出水管7的下端面固定连接有喷头10，两个连接板15的端面均均匀固定连接有多个刷头16。
[0022]其整个实施例1达到的效果为，通过进水管6对水箱2中补充液体，隔板19起到了分隔水箱2的作用，通过两侧固定杆12的配合使用，起到了固定晶圆的作用，通过两侧第二自动伸缩杆5的设置，起到了移动固定杆12的作用，通过第一保护垫14的设置，起到了保护晶圆的作用，通过两侧电机11启动，起到了带动两侧连接板15的作用，两侧连接板15转动，带动两侧刷头16转动，达到了对晶圆两侧同时清洗的作用，通过设置支撑杆18，起到了稳定转轴的作用，清洗时，通过开关9打开出水管7，使清洗液通过喷头10淋到晶圆的上，通过刷头
16对晶圆进行第一次清洗，清洗完成后，通过另一侧开关9打开的另一侧出水管7，使清水通过另一侧的喷头10淋到晶圆上，通过刷头16对晶圆进行第二次清洗，清洗效果好，且可以同时对晶圆的两侧进行自动清理，减少了工作量，提升了工作效率。
[0023]实施例2，如图1
‑
图4所示，清洗箱1的上表面固定连接有水箱2，水箱2的上表面设置有进水管6，水箱2的前表面对称设置有出水管7，两个出水管7的外表面均设置有开关9，清洗箱1的下表面均匀固定连接有多个支撑腿8，两个固定杆12的内表面均黏合连接有第一保护垫14，底座4的上表面黏合连接有第二保护垫17，两个支撑杆18的内表面均与两个转轴的外表面呈转动连接，两个固定杆12和底座4呈配套设置，水箱2内表面之间固定连接有隔板19。
[0024]其整个实施例2达到的效果为，通过设置第二保护垫17，起到了保护晶圆本体的作用，清洗完成后，打开出水槽13，使清洗箱1内的污水排出，将两侧第二自动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆双面自动清洗机，包括清洗箱(1)，其特征在于：所述清洗箱(1)的外表面对称固定连接有电机(11)，两个所述电机(11)的输出端均贯穿清洗箱(1)的外表面并延伸至内侧，两个所述电机(11)的输出端均固定连接有转轴，两个所述转轴的上端面均固定连接有连接板(15)，所述清洗箱(1)的内底部中心位置固定连接有第一自动伸缩杆(3)，所述第一自动伸缩杆(3)的驱动端固定连接有底座(4)，所述清洗箱(1)的内表面对称固定连接有第二自动伸缩杆(5)，两个所述第二自动伸缩杆(5)的驱动端均固定连接有固定杆(12)，所述清洗箱(1)的内底部对称固定连接有支撑杆(18)，所述清洗箱(1)的上表面固定连接有水箱(2)，所述水箱(2)的上表面设置有进水管(6)，所述水箱(2)的前表面对称设置有出水管(7)，两个所述出水管(7)的外表面均设置有开关(9)。2.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：范银波，
申请(专利权)人：苏州珮凯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：