一种自动下晶托装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种自动下晶托装置，包括晶托、平移装置以及与所述平移装置远端连接的升降装置，所述升降装置包括第二平台，所述第二平台远端连接抓取装置，所述抓取装置包括连接在所述第二平台远端的至少两根连杆，所述连杆远端通过固定座与电磁铁连接，所述电磁铁通电吸住所述晶托，所述升降装置相对于所述平移装置沿竖直方向升降，使所述晶托落入载具中，结构简单，操作方便，升降晶托稳定且不易损坏晶托。晶托。晶托。

【技术实现步骤摘要】
一种自动下晶托装置


[0001]本技术涉及硅片生产
，尤其涉及一种自动下晶托装置。

技术介绍

[0002]硅片在取放时，通常采用机械臂抓取以提升效率。例如在晶托清洗脱胶时，晶托在不同水槽内的移动需要靠机械手来完成。
[0003]文献号为CN207509217U的中国技术专利公开了一种硅片抓取机械手，包括支架，旋转装置，连接杆，固定架，伸缩气缸，连接板和夹紧装置，所述旋转装置设置在支架上，连接杆一端与旋转装置连接，另一端与固定架连接，所述伸缩气缸设置在固定架上，伸缩气缸的伸缩杆与连接板连接，所述夹紧装置设置在连接板上，夹紧装置包括夹持气缸和多个爪部，多个爪部设置在夹持气缸侧面且与夹持气缸连接。该技术方案虽然能够抓取晶托，但机械手移动时容易出现晃动，且机械手的抓取压力容易损坏晶托，影响晶托的使用寿命。

技术实现思路

[0004]针对上述现有技术的缺点，本技术的目的是提供一种自动下晶托装置，以解决现有技术中的一个或多个问题。
[0005]为实现上述目的，本技术的技术方案如下：
[0006]一种自动下晶托装置，包括晶托、平移装置以及与所述平移装置远端连接的升降装置，所述升降装置包括第二平台，所述第二平台远端连接抓取装置，所述抓取装置包括连接在所述第二平台远端的至少两根连杆，所述连杆远端通过固定座与电磁铁连接，所述电磁铁通电吸住所述晶托，所述升降装置相对于所述平移装置沿竖直方向升降，使所述晶托落入载具中。
[0007]进一步的，所述平移装置包括滑杆以及在所述滑杆上滑动的第一平台，所述第一平台设置至少两个升降井。
[0008]进一步的，所述抓取装置还包括控制盒，所述控制盒设置在所述第一平台近端，所述控制盒与所述电磁铁连接，用于控制所述电磁铁通电、断电。
[0009]进一步的，所述升降井包括在第一平台上开设的第一孔以及设置在所述第一孔近端的限位框。
[0010]进一步的，所述第二平台近端设置至少两根杆部，所述杆部表面具有齿部，所述杆部穿过所述第一孔并在所述限位框中竖直升降。
[0011]进一步的，所述第一平台近端设置第一固定座，所述第一固定座包括第一电机以及由所述第一电机输出端驱动的第一转轴，所述第一转轴两端设置第一齿轮，所述第一齿轮与所述杆部的齿部啮合。
[0012]进一步的，所述第一平台近端设置第二固定座，所述第二固定座包括第二电机以及由所述第二电机输出端驱动的第二转轴，所述第二转轴两端设置第二齿轮。
[0013]进一步的，所述自动下晶托装置还包括移动杆，所述移动杆与所述滑杆平行设置，
所述移动杆远端与所述第二齿轮啮合。
[0014]进一步的，所述第二平台近端设置光电传感器。
[0015]进一步的，所述晶托包括第一板体以及设置在所述第一板体近端的第二板体，所述第一板体内开设安装槽。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益技术效果如下：
[0017](一)本技术公开了一种自动下晶托装置，包括晶托、平移装置以及与所述平移装置远端连接的升降装置，所述升降装置包括第二平台，所述第二平台远端连接抓取装置，所述抓取装置包括连接在所述第二平台远端的至少两根连杆，所述连杆远端通过固定座与电磁铁连接，所述电磁铁通电吸住所述晶托，所述升降装置相对于所述平移装置沿竖直方向升降，使所述晶托落入载具中，结构简单，操作方便，升降晶托稳定且不易损坏晶托。
[0018](二)进一步的，抓取装置包括与第二平台远端固定连接的连杆，固定座通过固定件固定在电磁铁近端，所述固定座与连杆远端延伸部互相垂直设置，避免晶托升降时前后左右晃动，提高晶托运输稳定性。
附图说明
[0019]图1示出了本技术实施例一提供的一种自动下晶托装置中升降装置、抓取装置的结构示意图。
[0020]图2示出了本技术实施例一提供的一种自动下晶托装置中平移装置的结构示意图。
[0021]图3示出了本技术实施例一提供的一种自动下晶托装置中载具的结构示意图。
[0022]图4示出了本技术实施例一提供的一种自动下晶托装置中晶托的侧视结构示意图。
[0023]图5示出了本技术实施例一提供的一种自动下晶托装置中晶托的俯视结构示意图。
[0024]图6示出了本技术实施例一提供的一种自动下晶托装置中晶托与抓取装置的部分结构示意图。
[0025]附图中标记：
[0026]1、平移装置；10、第一平台；11、第一固定座；111、第一电机；112、第一转轴；113、第一齿轮；12、第二固定座；121、第二电机；122、第二转轴；123、第二齿轮；13、滑杆；14、升降井；141、第一孔；142、限位框；2、升降装置；20、第二平台；21、光电传感器；22、杆部；221、齿部；3、抓取装置；31、连杆；32、固定块；321、固定件；33、电磁铁；34、控制盒；4、载具；41、箱体；42、滚轮；5、晶托；51、第一板体；52、第二板体；53、安装槽。
具体实施方式
[0027]为了使本技术的目的、特征和优点能够更加明显易懂，请参阅附图。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生
的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
能涵盖的范围内。
[0028]在本技术的描述中，限定术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0029]为了更加清楚地描述上述一种自动下晶托装置的结构，本技术限定术语“远端”和“近端”，具体而言，“远端”表示靠近上升方向的一端，“近端”表示靠近下降方向的一端，以图1为例，图1中杆部22的上端为近端，图1中杆部22的下端为远端。
[0030]实施例一
[0031]请参考图1、图2、图3和图6，一种自动下晶托装置，包括晶托5、平移装置1以及与所述平移装置1远端连接的升降装置2，所述升降装置2包括第二平台20，所述第二平台20远端连接抓取装置3，所述抓取装置3包括连接在所述第二平台20远端的至少两根连杆31，所述连杆31远端通过固定块32与电磁铁33连接，所述电磁铁33通电吸住所述晶托5，所述升降装置2相对于所述平移装置1沿竖直方向升降，使所述晶托5落入载具4中。
[0032]具体的，所述连杆31近端与第二平台20远端固定连接，所述固定块32通过固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动下晶托装置，其特征在于：包括晶托、平移装置以及与所述平移装置远端连接的升降装置，所述升降装置包括第二平台，所述第二平台远端连接抓取装置，所述抓取装置包括连接在所述第二平台远端的至少两根连杆，所述连杆远端通过固定座与电磁铁连接，所述电磁铁通电吸住所述晶托，所述升降装置相对于所述平移装置沿竖直方向升降，使所述晶托落入载具中。2.如权利要求1所述的一种自动下晶托装置，其特征在于：所述平移装置包括滑杆以及在所述滑杆上滑动的第一平台，所述第一平台设置至少两个升降井。3.如权利要求2所述的一种自动下晶托装置，其特征在于：所述抓取装置还包括控制盒，所述控制盒设置在所述第一平台近端，所述控制盒与所述电磁铁连接，用于控制所述电磁铁通电、断电。4.如权利要求2所述的一种自动下晶托装置，其特征在于：所述升降井包括在第一平台上开设的第一孔以及设置在所述第一孔近端的限位框。5.如权利要求4所述的一种自动下晶托装置，其特征在于：所述第二平台近端设置至少两根杆部，...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯震坤，黄新普，
申请(专利权)人：无锡荣能半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：