一种晶圆盒制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶圆盒，包括晶圆盒主体和感应电路，晶圆盒主体中设置有用于防止晶圆片滑落的卡扣，感应电路中设置有传感器和指示灯，其中，传感器与卡扣对应设置，用于感应卡扣是否紧密闭合，并向指示灯发送信号，指示灯根据来自传感器的不同信号亮不同颜色的提示灯，以提示操作人员是否存在晶圆片滑落的风险。本实用新型专利技术通过设置感应电路，能够准确得知晶圆盒中的卡扣是否紧密闭合，进而能够检验是否存在晶圆片滑落的风险，且感应电路中设置有用于提示操作人员的指示灯，能够使操作人员更直观、准确地得知是否存在晶圆片滑落的风险，从而避免因晶圆片滑落而造成的损失。从而避免因晶圆片滑落而造成的损失。从而避免因晶圆片滑落而造成的损失。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆盒


[0001]本技术涉及半导体加工设备
，具体涉及一种晶圆盒。

技术介绍

[0002]在半导体领域中，工厂在加工时通常需要半导体晶圆搬送设备，目前通常将晶圆装在晶圆盒内，采用固定承载台对晶圆盒进行搬运，以实现晶圆的搬运。实际生产中，晶圆沿水平方向依次安插至晶圆盒内，为了防止晶圆滑落、掉片，一般通过卡扣对晶圆进行固定，以防止晶圆滑落，但在现有技术中，卡扣的设置是通过人工操作完成的，因此存在设置不准确，从而导致晶圆滑落、掉片的问题，造成损失。

技术实现思路

[0003]鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术提供一种晶圆盒，包括晶圆盒主体和感应电路，晶圆盒主体中设置有用于防止晶圆片滑落的卡扣，感应电路中设置有传感器和指示灯，其中，传感器与卡扣对应设置，用于感应卡扣是否紧密闭合，并向指示灯发送信号，指示灯根据来自传感器的不同信号亮不同颜色的提示灯，以提示操作人员是否存在晶圆片滑落的风险。本技术通过设置感应电路，能够准确得知晶圆盒中的卡扣是否紧密闭合，进而能够检验是否存在晶圆片滑落的风险，且感应电路中设置有用于提示操作人员的指示灯，能够使操作人员更直观、准确地得知是否存在晶圆片滑落的风险，从而避免因晶圆片滑落而造成的损失。
[0004]为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种晶圆盒，包括：
[0005]晶圆盒主体，所述晶圆盒主体具有朝向第一方向开口的腔体，且在所述第一方向上，所述晶圆盒主体具有两个相互平行的侧板，两个所述侧板的顶部对称设置有卡扣，所述卡扣用于防止晶圆片滑落；
[0006]感应电路，包括电源、指示灯及传感器，所述传感器的数量为两个，分别与所述卡扣一一对应设置，每个所述传感器用于感应其相对应的所述卡扣是否紧密闭合，并向所述指示灯发送信号，所述指示灯用于接收来自两个所述传感器的所述信号，并根据所述信号亮提示灯。
[0007]可选的，两个所述侧板的内壁上固定安装有多组隔板，所述多组隔板在所述侧板的内壁等距分布，且相邻的所述隔板之间形成有插槽，所述插槽用于容纳晶圆片。
[0008]可选的，所述电源、所述指示灯及两个所述传感器以串联的方式电连接。
[0009]可选的，所述传感器感应到所述卡扣紧密闭合，即向所述指示灯发送第一信号；所述传感器未感应到所述卡扣紧密闭合，即向所述指示灯发送第二信号。
[0010]可选的，所述指示灯分别接收到来自两个所述传感器的所述第一信号，即亮第一提示灯。
[0011]可选的，所述指示灯接收到来自一个所述传感器的所述第一信号，接收到来自另一个所述传感器的所述第二信号，即亮第二提示灯。
[0012]可选的，所述指示灯接收到来自两个所述传感器的所述第二信号，即亮第二提示灯。
[0013]可选的，所述第一提示灯与所述第二提示灯的颜色不同。
[0014]本专利技术提供的晶圆盒，至少具有以下有益效果：
[0015]本技术提供的晶圆盒包括晶圆盒主体和感应电路，晶圆盒主体中设置有用于防止晶圆片滑落的卡扣，感应电路中设置有传感器和指示灯，其中，传感器与卡扣对应设置，用于感应卡扣是否紧密闭合，并向指示灯发送信号，指示灯根据来自传感器的不同信号亮不同颜色的提示灯，以提示操作人员是否存在晶圆片滑落的风险。本技术通过设置感应电路，能够准确得知晶圆盒中的卡扣是否紧密闭合，进而能够检验是否存在晶圆片滑落的风险，且感应电路中设置有用于提示操作人员的指示灯，能够使操作人员更直观、准确地得知是否存在晶圆片滑落的风险，从而避免因晶圆片滑落而造成的损失。
附图说明
[0016]图1显示为实施例提供的晶圆盒的正视图。
[0017]图2显示为实施例提供的晶圆盒的俯视图。
[0018]元件标号说明
[0019]10
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晶圆盒主体
[0020]20
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感应电路
[0021]100
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腔体
[0022]11
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侧板
[0023]12
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卡扣
[0024]13
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隔板
[0025]14
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插槽
[0026]21
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电源
[0027]22
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指示灯
[0028]23
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传感器
具体实施方式
[0029]以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其它优点与功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。
[0030]需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，虽图示中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的形态、数量、位置关系及比例可在实现本方技术方案的前提下随意改变，且其组件布局形态也可能更为复杂。
[0031]实施例
[0032]本实施例提供一种晶圆盒，如图1和图2所示，包括晶圆盒主体10和感应电路20。
[0033]参照图1和图2所示，晶圆盒主体10具有朝向第一方向(图2所示的Y轴方向)开口的
腔体100，且在第一方向上(图2所示的Y轴方向)，晶圆盒主体10具有两个相互平行的侧板11，两个侧板11的内壁上固定安装有多组隔板13，多组隔板13在侧板11的内壁等距分布，且相邻的隔板13之间形成有插槽14，插槽14用于容纳晶圆片。在实际操作过程中，晶圆片放置在UV膜上，UV膜贴在晶圆载具上，晶圆片通过晶圆载具放置在晶圆盒的插槽14中。
[0034]参照图1和图2所示，两个侧板11的顶部对称设置有卡扣12，卡扣12用于防止晶圆片滑落。作为示例，卡扣12可绕一定点沿图2箭头所指示的方向转动，且当卡扣12位于图2所示的位置时，晶圆片被卡扣12阻挡，从而防止滑落。
[0035]如图2所示，感应电路20包括电源21、指示灯22及传感器23，且电源21、指示灯22及传感器23以串联的方式电连接。
[0036]作为示例，传感器23的数量为两个，分别与卡扣12一一对应设置，每个传感器23用于感应其相对应的卡扣12是否紧密闭合，并向指示灯22发送信号。具体的，若传感器23感应到其相对应的卡扣12紧密闭合，即向指示灯22发送第一信号；若传感器23未感应到其相对应的卡扣12紧密闭合，即向指示灯22发送第二信号。在本实施例中，可以对传感器23的灵敏度进行调节，以保证只有当卡扣12紧密闭合时，传感器23才会向指示灯22发送第一信号，从而保证感应结果的准确性。
[0037]作本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒，其特征在于，包括：晶圆盒主体，所述晶圆盒主体具有朝向第一方向开口的腔体，且在所述第一方向上，所述晶圆盒主体具有两个相互平行的侧板，两个所述侧板的顶部对称设置有卡扣，所述卡扣用于防止晶圆片滑落；感应电路，包括电源、指示灯及传感器，所述传感器的数量为两个，分别与所述卡扣一一对应设置，每个所述传感器用于感应其相对应的所述卡扣是否紧密闭合，并向所述指示灯发送信号，所述指示灯用于接收来自两个所述传感器的所述信号，并根据所述信号亮提示灯。2.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，两个所述侧板的内壁上固定安装有多组隔板，所述多组隔板在所述侧板的内壁等距分布，且相邻的所述隔板之间形成有插槽，所述插槽用于容纳晶圆片。3.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，所述电源、所述指...

【专利技术属性】
技术研发人员：董攀林，臧文超，冯雨芳，
申请(专利权)人：盛合晶微半导体江阴有限公司，
类型：新型
国别省市：