一种电线旋转接头制造技术

本实用新型专利技术涉及可旋转的线路连接器领域领域，公开了一种电线旋转接头，包括：内接线柱，用于与旋转电镀过程中的晶圆电连接；外接线环，用于与内接线柱导电连接；外接线环套设在内接线柱周侧，外接线环包括第一圆筒，第一圆筒内壁上设置有若干连接环，内接线柱周侧对应连接环位置设置有导电球，导电球和连接环在内接线柱和外接线环之间进行相对旋转时保持接触和导电。本实用新型专利技术通过在内接线柱上设置旋转过程中始终与接线环保持接触并导电的导电球，使得内接线柱和内接线柱上的接线柱能够随晶圆旋转电镀时旋转并给晶圆通电进行电镀，导电球在旋转过程不会产生对洁净度造成影响。导电球在旋转过程不会产生对洁净度造成影响。导电球在旋转过程不会产生对洁净度造成影响。

【技术实现步骤摘要】
一种电线旋转接头


[0001]本技术涉及可旋转的线路连接器
，尤其涉及一种电线旋转接头。

技术介绍

[0002]目前在晶圆加工过程中，需要对晶圆进行旋转加工，同时需要连接电源，这时要求有一款有效的电线旋转接头对晶圆进行旋转加工，而目前旋转接头多使用碳刷，不便于洁净空间使用，且现有电线旋转接头结构复杂，安装困难，不能对其拆卸进行零件更换，通常出现损坏后只能丢弃，不能维护和反复利用。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术的目的是提供一种电线旋转接头，使其解决现有电线旋转接头无法在洁净厂区使用和无法进行内部零件拆卸更换的问题。
[0004]本技术通过以下技术手段解决上述技术问题：包括：内接线柱；外接线环，用于与内接线柱导电连接；外接线环套设在内接线柱周侧，外接线环包括第一圆筒，第一圆筒内壁上设置有若干连接环，内接线柱周侧对应连接环位置设置有导电球，导电球和连接环在内接线柱和外接线环之间进行相对旋转时保持接触和导电。本申请通过在内接线柱上设置旋转过程中始终与接线环保持接触并导电的导电球，使得内接线柱和内接线柱上的接线柱能够随晶圆旋转电镀时旋转并给晶圆通电进行电镀，导电球在旋转过程不会产生对洁净度造成影响。当然，本技术还可应用于其他需要使用旋转接头的工艺中，例如晶圆蒸镀等。
[0005]进一步，连接环的外径匹配第一圆筒的内径设置，第一圆筒周侧对应连接环位置设置贯穿至第一圆筒的内壁的圆孔，圆孔用于设置紧固螺栓对连接环进行挤压以限制连接环在第一圆筒内的滑动趋势。将连接环通过紧固螺栓固定在第一圆筒内壁，以利于需要维修更换时连接环的拆卸。
[0006]进一步，相邻的连接环之间设置有大小匹配连接环的绝缘环。相邻的连接环之间通过绝缘环进行导电隔离，以避免出现连接环之间接触发生短路，进一步地，通过绝缘环辅助紧固螺栓对连接环进行固定。
[0007]进一步，第一圆筒内壁上沿平行于轴向方向分别设置有从第一圆筒靠近端盖一侧的端面贯穿至连接环的连接孔，连接孔内设置有与连接环导电连接的连接线。设置不同深度的连接孔从第一圆筒端面贯穿至不同的连接环，以分别对连接环进行电流传输，避免不同的连接环之间发生接触导致短路。
[0008]进一步，第一圆筒与端盖连接一端的端面上设置有通孔，端盖对应通孔位置设置有小孔，端盖能够基于穿过小孔和通孔的螺栓连接至第一圆筒端面。在第一圆筒的端面设置端盖，用于防止内接线柱旋转时从第一圆筒内落出。
[0009]进一步，内接线柱周侧对应连接环位置设置有沿轴向贯穿内接线柱的导电孔，导电孔的两端孔口处设置有用于与连接环接触并导电的导电球，导电球之间通过设置在导电
孔内处于压缩状态的弹簧接线柱连接。通过弹簧接线柱的弹力作用使得导电球在旋转过程中始终与连接环接触并导电，避免了导电球旋转时出现位移至不与连接环接触导致短路。进一步地，目前旋转接头大多使用碳刷，不便于洁净空间使用，本申请中使用具有更高硬度和洁净度的金属导电球，可以在具有一定洁净度要求的生产区使用。
[0010]进一步，导电孔的孔口收束以避免导电球从导电孔内滑出。
[0011]本技术的有益效果：
[0012]1.本申请中的旋转接头使用具有更高硬度和洁净度的金属导电球进行导电，可以在具有一定洁净度要求的生产区使用；
[0013]2.本申请中的内接线柱可以跟随旋转电镀过程中的晶圆进行旋转，使得内接线柱和内接线柱上的接线柱能够在随晶圆旋转时为晶圆通电进行电镀；在这个过程中内接线柱周侧的导电球始终与外接线环内壁上的连接环接触并导电，而连接线环通过连接线与外接电源连通，使得外接电源、旋转接头和晶圆之间在晶圆旋转时仍保持导电通路。
[0014]3.本申请中的多个部件采用螺栓进行固定，便于拆卸和更换。
附图说明
[0015]图1是本技术电线旋转接头的装配示意图；
[0016]图2是本技术电线旋转接头的外接线环主视方向剖视图；
[0017]图3是本技术电线旋转接头的外接线环俯视方向示意图；
[0018]图4是本技术电线旋转接头的内接线柱主视方向剖视图；
[0019]图5是本技术电线旋转接头的内接线柱俯视方向上的导电孔分布示意图；
[0020]图6是本技术电线旋转接头的导电孔示意图；
[0021]图7是本技术电线旋转接头的内接线柱的透视图；
[0022]其中，
[0023]100：外接线环；110：第一圆筒；120：第二圆筒；130：连接环；140：圆孔；150：连接线；160：连接孔；170：通孔；180：绝缘环；200：内接线柱；210：接线孔；220：导电孔；221：弹簧接线柱；222：导电球；223：导电球垫块；224：导电环；230：接线柱；240：接线柱垫块；300：端盖。
具体实施方式
[0024]以下通过特定的具体实施例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容了解本技术的优点和功效。需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本技术的限制，为了更好地说明本技术的实施例，图中某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。
[0025]本技术实施例的图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件，在本技术的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此图
中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本技术的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述用语的具体含义。
[0026]如图1所示，本技术的电线旋转接头包括外接线环100、内接线柱200和端盖300。外接线环100用于套设在内接线柱200周侧，且外接线环100和内接线柱200之间可进行轴线共线的相对旋转运动。外接线环100内壁设置有用于和设置在内接线柱200周侧的导电球222保持导电连接的连接线150。外接线环100一端可与端盖300连接。端盖300能够防止内接线柱200旋转时从外接线环100内甩出。
[0027]可选地，如图2，外接线环100被构造为中空的圆筒状结构。外接线环100与端盖300连接一端的端面上设置有若干具有内螺纹的通孔170。端盖300对应通孔位置设置有小孔。外接线环100和端盖300基于穿过小孔和通孔170的螺栓连接。外接线环100内的空心圆柱的内径沿靠近端盖方向阶梯式增大以助于内接线柱200放入后与外接线环100卡合。为便于描述，此处将内径较大的圆筒规定为第一圆筒110，内径较小的圆筒规定为第二圆筒120。外接线环100为具有一定厚度的塑料环。优选地，外本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电线旋转接头，其特征在于，包括：内接线柱(200)；外接线环(100)，用于与所述内接线柱(200)导电连接；所述外接线环(100)套设在所述内接线柱(200)周侧且能够相对所述内接线柱(200)旋转，所述外接线环(100)包括第一圆筒(110)，所述第一圆筒(110)内壁上设置有若干连接环(130)，所述内接线柱(200)周侧对应所述连接环(130)位置设置有导电球(222)，所述导电球(222)和所述连接环(130)在所述内接线柱(200)和所述外接线环(100)之间进行相对旋转时保持接触和导电。2.根据权利要求1所述的电线旋转接头，其特征在于：所述连接环(130)的外径匹配所述第一圆筒(110)的内径设置，所述第一圆筒(110)周侧对应所述连接环(130)位置设置贯穿至所述第一圆筒(110)的内壁的圆孔(140)，所述圆孔(140)用于设置紧固螺栓对所述连接环(130)进行挤压以限制所述连接环(130)在所述第一圆筒(110)内的滑动趋势。3.根据权利要求2所述的电线旋转接头，其特征在于：相邻的所述连接环(130)之间设置有大小匹配所述连接环(130)的绝缘环(180)。4.根据权利要求3所述的电线旋转...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭鹏，周宇洋，王敬，
申请(专利权)人：威科赛乐微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：