检测设备及检测方法、检测系统及存储介质技术方案

本发明专利技术提供一种检测设备，包括：定位模块，所述定位模块包括：定位光源组件，产生第一定位光束和第二定位光束，第一定位光束和第二定位光束的波长不同；成像组件，根据所述第一定位信号光形成第一定位图像，并根据所述第二定位信号光形成第二定位图像；处理模块，根据所述第一定位图像获取第一位置信息，根据所述第二定位图像获取第二位置信息；检测模块，根据第一位置信息对第一待测目标进行检测，并根据第二位置信息对第二待测目标进行检测。定位模块能够对待测目标进行成像，获取待测目标的位置信息，根据位置信息进行检测，能够提高检测精度，第一定位光束和第二定位光束的波长不同能对不同待测目标进行精确定位。能对不同待测目标进行精确定位。能对不同待测目标进行精确定位。

【技术实现步骤摘要】
检测设备及检测方法、检测系统及存储介质


[0001]本专利技术涉及半导体的检测设备领域，特别是一种检测设备及检测方法、检测系统及存储介质。

技术介绍

[0002]在半导体芯片的制造过程中，需要对晶圆表面的某些待测目标的性质进行检测，如薄膜厚度、颗粒污染、关键尺寸、缺陷等进行检测以保证产品质量。为了提高检测速度，在检测前往往需要对待测目标进行定位，获取待测目标的位置信息，从而使测量光路能够根据待测目标的位置信息对待测目标进行定位。
[0003]现有技术往往根据半导体芯片的设计图对待测目标进行定位，然而半导体芯片的制造误差会导致待测目标的位置出现偏差，从而导致测量结果不准确。

技术实现思路

[0004]为解决以上问题，本专利技术提出了一种检测设备，能够提高测量系统对不同待测目标的定位精度，进而提高检测精度。
[0005]本专利技术的技术方案提供了一种检测方法，包括：定位模块，所述定位模块包括：定位光源组件，产生第一定位光束和第二定位光束，所述第一定位光束和第二定位光束的波长不同，所述第一定位光束经待测物的第一待测目标之后形成第一定位信号光，所述第二定位光束经待测物的第二待测目标之后形成第二定位信号光；成像组件，用于根据所述第一定位信号光形成第一定位图像，并根据所述第二定位信号光形成第二定位图像；
[0006]处理模块，根据所述第一定位图像获取第一待测目标的第一位置信息，根据所述第二定位图像获取第二待测目标的第二位置信息；
[0007]检测模块，根据所述第一位置信息对所述第一待测目标进行检测，并根据所述第二位置信息对所述第二待测目标进行检测。
[0008]可选的，所述成像组件包括：第一成像单元，用于探测第一定位信号光并根据所述第一定位信号光形成第一定位图像；第二成像单元，用于探测第二定位信号光并根据所述第二定位信号光形成第二定位图像。
[0009]可选的，自所述待测物出射的第一定位信号光和第二定位信号光沿相同路径传播，所述检测设备还包括第一分束器，用于对所述第一定位信号光和第二定位信号光进行分光处理，使至少部分第一定位信号光沿第一路径到达所述第一成像单元，至少部分第二定位信号光沿第二路径到达所述第二成像单元。
[0010]可选的，所述第一成像单元和第二成像单元的放大倍数不同；所述第一分束器还用于使至少部分第一定位信号光沿第二路径到达所述第二成像单元，部分第二定位信号光第一路径到达所述第一成像单元；所述第一成像单元还用于探测所述第二定位信号光；所述第二成像单元还用于探测所述第一定位信号光。
[0011]可选的，所述第一成像单元包括：第一管镜和第一图像采集器，所述第一管镜与第
一图像采集器之间具有第一距离；所述第二成像单元包括：第二管镜和第二图像采集器，所述第二管镜与第二图像采集器之间具有第二距离。
[0012]可选的，第一成像单元和第二成像单元还包括物镜，所述物镜用于收集所述第一定位信号光和第二定位信号光，所述第一分束器用于对所述物镜收集的第一定位信号光和第二定位信号进行分光；所述第一管镜和第二管镜的焦距不同；和/或，所述第一距离和第二距离不同。
[0013]可选的，所述第一距离为第一管镜的焦距，所述第二距离为所述第二管镜的焦距。
[0014]可选的，所述物镜还用于接收所述第一定位光束使所述第一定位光束汇聚至待测物，并接收所述第二定位光束使所述第二定位光束汇聚至待测物。
[0015]可选的，所述第一定位光束具有第一波长，所述第二定位光束具有第二波长；所述第一成像单元包括第一滤波器，用于对第一定位信号进行滤波，滤除第二波长的光；所述第二滤波器，用于对第二定位信号进行滤波，滤除第一波长的光。
[0016]可选的，所述第一管镜的个数为多个，多个所述第一管镜的焦距不同；所述检测设备还包括：第一切换组件、第二切换组件和第三切换组件中的一者或多者组合；所述第一切换组件包括：第一切换器，用于对所述第一管镜进行切换，使不同的第一管镜处于所述光路中；第一驱动器，用于驱动所述第一切换器或第一图像传感器沿第一定位信号光的光轴移动；
[0017]所述第二切换组件包括：第二切换器，用于对所述第一管镜进行切换，使不同的第一管镜处于所述光路中；第二驱动器，用于驱动所述第二切换器或第二图像传感器沿第二定位信号光的光轴移动；
[0018]所述第三切换组件包括：固定所述第一管镜和第二管镜的第三切换器，所述第三切换器用于使所述第一管镜和第二管镜进行交换；第三驱动器，用于驱动所述第一图像传感器和第二图像传感器沿光轴移动。
[0019]可选的，所述检测设备还包括：合束器，用于使所述第一定位光束和第二定位光束合束，合束后的第一定位光束和第二定位光束沿相同路径传播至待测物。
[0020]可选的，还包括：第二分束器，用于使经合束器合束后的第一定位光束和第二定位光束反射后到达待测物，并使所述第一定位信号光和第二定位信号光透射后达到所述成像组件；或者，使经合束器合束后的第一定位光束和第二定位光束头透射后到达待测物，并使所述第一定位信号光和第二定位信号光反射后达到所述成像组件。
[0021]可选的，所述检测模块包括：检测光源，用于向待测物发射检测光束，所述检测光束经待测物后形成检测信号光；探测组件，用于接收所述检测信号光，并根据所述检测信号光对所述待测物进行检测；
[0022]所述检测设备还包括：第三分束器，用于使所述检测信号光与第一定位信号光分束，并使所述检测信号光与第二定位信号光分束；
[0023]第四分束器，用于使所述检测光束反射至待测物，并使所述检测信号光透过至所述探测组件；或者，用于使所述检测光束透射至待测物，并使所述检测信号光反射至所述探测组件。
[0024]可选的，所述检测设备还包括物镜时，所述物镜还用于接收所述检测光束使所述检测光束汇聚至待测物，并收集所述检测信号光，所述探测组件用于探测所述物镜收集的
检测信号光。
[0025]可选的，所述检测光源为宽光谱光源，所述探测组件为光谱仪；所述第一检测光束具有第一波长，所述第二检测光束具有第二波长；所述检测光束至少包括第一波长和第二波长的光。
[0026]可选的，所述第一待测目标位于待测物表面，所述第二待测目标表面覆盖有薄膜；所述第一定位光束为可见光，所述第二定位光束为红外光。
[0027]本专利技术技术方案还提供一种检测设备的检测方法，所述检测设备如上所述，所述检测方法包括：对待测物进行第一检测处理，和/或对待测物进行第二检测处理；
[0028]所述第一检测处理的步骤包括：通过定位光源组件产生第一定位光束，所述第一定位光束经待测物之后形成第一定位信号光；通过成像组件根据所述第一定位信号光形成第一定位图像；根据所述第一定位图像获取待测物中第一待测目标的第一位置信息；通过检测模块根据所述第一位置信息对所述第一待测目标进行检测；
[0029]所述第二检测处理的步骤包括：通过定位光源组件产生第二定位光束，所述第二定位光束经待测物之后形成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测设备，其特征在于，包括：定位模块，所述定位模块包括：定位光源组件，产生第一定位光束和第二定位光束，所述第一定位光束和第二定位光束的波长不同，所述第一定位光束经待测物的第一待测目标之后形成第一定位信号光，所述第二定位光束经待测物的第二待测目标之后形成第二定位信号光；成像组件，用于根据所述第一定位信号光形成第一定位图像，并根据所述第二定位信号光形成第二定位图像；处理模块，根据所述第一定位图像获取第一待测目标的第一位置信息，根据所述第二定位图像获取第二待测目标的第二位置信息；检测模块，根据所述第一位置信息对所述第一待测目标进行检测，并根据所述第二位置信息对所述第二待测目标进行检测。2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述成像组件包括：第一成像单元，用于探测第一定位信号光并根据所述第一定位信号光形成第一定位图像；第二成像单元，用于探测第二定位信号光并根据所述第二定位信号光形成第二定位图像。3.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，自所述待测物出射的第一定位信号光和第二定位信号光沿相同路径传播，所述检测设备还包括第一分束器，用于对所述第一定位信号光和第二定位信号光进行分光处理，使至少部分第一定位信号光沿第一路径到达所述第一成像单元，至少部分第二定位信号光沿第二路径到达所述第二成像单元。4.根据权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述第一成像单元和第二成像单元的放大倍数不同；所述第一分束器还用于使至少部分第一定位信号光沿第二路径到达所述第二成像单元，部分第二定位信号光第一路径到达所述第一成像单元；所述第一成像单元还用于探测所述第二定位信号光；所述第二成像单元还用于探测所述第一定位信号光。5.根据权利要求4所述的检测设备，其特征在于，所述第一成像单元包括：第一管镜和第一图像采集器，所述第一管镜与第一图像采集器之间具有第一距离；所述第二成像单元包括：第二管镜和第二图像采集器，所述第二管镜与第二图像采集器之间具有第二距离。6.根据权利要求5所述的检测设备，其特征在于，第一成像单元和第二成像单元还包括物镜，所述物镜用于收集所述第一定位信号光和第二定位信号光，所述第一分束器用于对所述物镜收集的第一定位信号光和第二定位信号进行分光；所述第一管镜和第二管镜的焦距不同；和/或，所述第一距离和第二距离不同。7.根据权利要求6所述的检测设备，其特征在于，所述第一距离为第一管镜的焦距，所述第二距离为所述第二管镜的焦距。8.根据权利要求6所述的检测设备，其特征在于，所述物镜还用于接收所述第一定位光束使所述第一定位光束汇聚至待测物，并接收所述第二定位光束使所述第二定位光束汇聚至待测物。9.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述第一定位光束具有第一波长，所述第二定位光束具有第二波长；所述第一成像单元包括第一滤波器，用于对第一定位信号进行滤波，滤除第二波长的光；所述第二滤波器，用于对第二定位信号进行滤波，滤除第一波长的光。
10.根据权利要求5所述的检测设备，其特征在于，所述第一管镜的个数为多个，多个所述第一管镜的焦距不同；所述检测设备还包括：第一切换组件、第二切换组件和第三切换组件中的一者或多者组合；所述第一切换组件包括：第一切换器，用于对所述第一管镜进行切换，使不同的第一管镜处于所述光路中；第一驱动器，用于驱动所述第一切换器或第一图像传感器沿第一定位信号光的光轴移动；所述第二切换组件包括：第二切换器，用于对所述第一管镜进行切换，使不同的第一管镜处于所述光路中；第二驱动器，用于驱动所述第二切换器或第二图像传感器沿第二定位信号光的光轴移动；所述第三切换组件包括：固定所述第一管镜和第二管镜的第三切换器，所述第三切换器用于使所述第一管镜和第二管镜进行交换；第三驱动器，用于驱动所述第一图像传感器和第二图像传感器沿光轴移动。11.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备还包括：合束器，用于使所述第一定位光束和第二定位光束合束，合束后的第一定位光束和第二定位光束沿相同路径传播至待测物。12.根据权利要求11所述的检测设备，其特征在于，还包括：第二分束器，用于使经合束器合束后的第一定位光束和第二定位光束反射后到达待测物，并使所述第一定位信号光和第二定位信号光透射后达到所述成像组件；或者，使经合束器合束后的第一定位光束和第二定位光束头透射后到达待测物，并使所述第一定位信号光和第二定位信号光反射后达到所述成像组件。13.根据权利要求1～6任意一项所述的检测设备，其特征在于，所述检测模块包括：检测光源，用于向待测物发射检测光束，所述检测光束经待测物后形成检测信号光；探测组件，用于接收所述检测信号光，并根据所述检测信号光对所述待测物进行检测；所述检测设备还包括：第三分束器，用于使所述检测信号光与第一定位信号光分束，并使所述检测信号光与第二定位信号光分束；第四分束器，用于使所述检测光束反射至待测物，并使所述检测信号光透过至所述探测组件；或者，用于使所述检测光束透射至待测物，并使所述检测信号光反射至所述探测组件。14.根据权利要求13所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备还包括物镜时，所述物镜还用于接收所述检测光束使所述检测光束汇聚至待测物，并收集所述检测信号光，所述探测组件用于探...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，王南朔，王秋实，卢继奎，马砚忠，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：