一种加热退火装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种加热退火装置，其用于对基板加热退火，包括：隔热壳体，所述隔热壳体具有开口；用于与所述基板接触导热的导热件，所述导热件用于密封所述隔热壳体的开口，并与所述隔热壳体形成安装腔；加热件，所述加热件设置在所述安装腔内。通过加热件产生热量，并在高压的安装腔内蓄热，并通过导热件对基板进行加热，即本方案利用的是热传导的加热方式，通过导热件对热量的传导，使得导热件表面温度较为均匀，进而使基板受热均匀，保证基板的加热退火效果。同时，因柔性导热件对基板产生良好支撑，避免大面积基板产生形变。避免大面积基板产生形变。避免大面积基板产生形变。

【技术实现步骤摘要】
一种加热退火装置


[0001]本专利技术涉及退火工艺
，特别涉及一种加热退火装置。

技术介绍

[0002]太阳能薄膜电池：太阳能薄膜电池又称为“太阳能芯片”或“光电池”，是一种利用太阳光直接发电的光电器件。
[0003]在太阳能薄膜电池生产中需要大面积基板，而大面积基板在加工过程中，为了保证其质量，进一步保证发电设备的使用寿命，需要对大面积基本进行退火工艺，以降低残余应力，减小变形与裂纹倾向。具体的，大面积基板加热退火工艺应用广泛，例如：在钙钛矿领域中，在玻璃基底上涂布大面积钙钛矿薄膜，然后对其进行100～150℃退火，完成薄膜结晶；在光刻领域，在玻璃基底上涂布光刻胶后，需要对其进行热退火，蒸发多余的溶剂，等等。其中基板可以是玻璃、不锈钢等不同材料。
[0004]由于红外加热具有经济且高效的性能，因此，目前大多采用红外加热退火方式。
[0005]具体的，在距离基板一定距离处设置多个红外灯管，并对基板进行支撑固定，外红灯管的通电加热，利用热辐射的方式完成对基板的加热。
[0006]但是，采用上述加热方式会存在受热不均的问题，具体的，因灯管的数量、分布间距等会影响基板的受热的均匀性，影响退火效果。另一方面，采用红外加热时，大面积玻璃基板的通常采用局部支撑，玻璃基板会因受热和重力的原因导致变形。
[0007]因此，如何保证基板受热均匀，以保证基板的退火效果，同时防止大面积基板的形变，是本
人员亟待解决的问题。

技术实现思路

[0008]有鉴于此，本专利技术提供了一种加热退火装置，在采用红外加热情况下，保证基板受热均匀和均匀支撑，以保证基板的退火效果。
[0009]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0010]一种加热退火装置，其用于对基板加热退火，包括：
[0011]隔热壳体，所述隔热壳体具有开口；
[0012]用于与所述基板接触导热的导热件，所述导热件用于密封所述隔热壳体的开口，并与所述隔热壳体形成安装腔；
[0013]加热件，所述加热件设置在所述安装腔内。
[0014]优选的，上述的加热退火装置中，所述隔热壳体内壁涂覆或粘贴有隔热反射层。
[0015]优选的，上述的加热退火装置中，所述导热件为柔性导热件，所述安装腔内的压力可调，且所述安装腔内压力升高时所述导热件能够与所述基板贴合，通过优化压力，降低玻璃基板的形变。
[0016]优选的，上述的加热退火装置中，所述导热件为碳纤维柔性件。
[0017]优选的，上述的加热退火装置中，还包括开设在所述隔热壳体上并能够与所述安
装腔连通的充气口和泄压口，且所述充气口设置为能够通断所述充气口的充气阀，所述泄压口设置有能够通断所述泄压口的泄压阀。
[0018]优选的，上述的加热退火装置中，还包括用于监测所述安装腔内压力的压力检测装置，所述压力检测装置与所述充气阀和所述泄压阀均信号连接；
[0019]充气过程中，当所述压力检测装置检测到所述安装腔内压力达到预设值时，则关闭所述充气阀；泄压过程中，当所述压力检测装置检测到所述安装腔内的压力达到大气压时，则关闭所述泄压阀。
[0020]优选的，上述的加热退火装置中，所述隔热壳体包括底板和沿所述底板周向设置的侧壁，并且所述加热件布置在所述隔热壳体的所述底板处，并在所述底板上均匀布置。
[0021]优选的，上述的加热退火装置中，所述加热件为红外灯管。
[0022]优选的，上述的加热退火装置中，还包括用于夹持所述基板的两端的夹持装置，所述导热件位于所述隔热壳体与所述夹持装置之间。
[0023]优选的，上述的加热退火装置中，所述隔热壳体具有用于卡入所述导热件的端部的安装槽，且所述导热件的端部与所述安装槽密封粘接。
[0024]本专利技术提供了一种加热退火装置，通过加热件产生热量，并在高压的安装腔内蓄热，并通过导热件对基板进行加热，即本方案利用的是将热辐射转变为热传导的加热方式，通过导热件对热量的传导，使得导热件表面温度较为均匀，进而使基板受热均匀，保证基板的加热退火效果。同时，通过调整优化压力，柔性导热件对基板产生良好支撑，避免大面积基板产生形变。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1为本专利技术实施例中公开的加热退火装置未充气前的结构示意图；
[0027]图2为本专利技术实施例中公开的加热退火装置充气后的结构示意图；
[0028]其中，
[0029]1为隔热壳体、2为导热件、3为加热件、4为夹持装置、5为基板、6为泄压阀、7为充气阀、8为压力检测装置；
[0030]11为泄压口、12为充气口。
具体实施方式
[0031]本专利技术公开了一种加热退火装置，保证基板受热均匀，以保证基板的退火效果。
[0032]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0033]以下，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性
或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
[0034]如图1和图2所示，本专利技术公开了一种加热退火装置，用于对基板5加热退火，包括隔热壳体1、导热件2和加热件3。其中，隔热壳体1具有开口，上述的导热件2用于密封隔热壳体1的开口，并与隔热壳体1形成安装腔；而上述的加热件3作为热源设置在安装腔内。
[0035]使用时，通过加热件3产生热量，并在高压的安装腔内蓄热，并通过导热件2对基板5进行加热，即本方案利用的是将热辐射转变为热传导的加热方式，通过导热件2对热量的传导，使得导热件2表面温度较为均匀，进而使基板5受热均匀，保证基板5的加热退火效果。
[0036]具体的实施例中，上述的隔热壳体1内壁涂覆或粘贴有隔热反射层，通过设置隔热反射层，可使热量集中在安装腔内，减少能量的浪费，提高加热效果。对于隔热反射层为以合成树脂为基料，以功能性颜填料及助剂配制而成。本方案中涉及到的隔热反射层为现有已知涂层，此处为对于该涂层的应用。
[0037]优选的实施例中，本申请中公开的导热件2为柔性导热件，上述的安装腔内的压力可调，并且安装腔内压力升高时导热件2能够与基板5贴合。在装配时，导热件2与基板5之间具有装配空间，为了提高热传递效率，可将安装腔设置为压力可调的腔室，并且将导热件2设置为柔性件。使用时，当安装腔内压力本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加热退火装置，其特征在于，用于对基板加热退火，包括：隔热壳体，所述隔热壳体具有开口；用于与所述基板接触导热的导热件，所述导热件用于密封所述隔热壳体的开口，并与所述隔热壳体形成安装腔；加热件，所述加热件设置在所述安装腔内。2.根据权利要求1所述的加热退火装置，其特征在于，所述隔热壳体内壁涂覆或粘贴有隔热反射层。3.根据权利要求1所述的加热退火装置，其特征在于，所述导热件为柔性导热件，所述安装腔内的压力可调，且所述安装腔内压力升高时所述导热件能够与所述基板贴合。4.根据权利要求3所述的加热退火装置，其特征在于，所述导热件为碳纤维柔性件。5.根据权利要求3所述的加热退火装置，其特征在于，还包括开设在所述隔热壳体上并能够与所述安装腔连通的充气口和泄压口，且所述充气口设置为能够通断所述充气口的充气阀，所述泄压口设置有能够通断所述泄压口的泄压阀。6.根据权利要求5所述的加热退火装置，其特征在于，还包括用于监测所述安装腔内压力的压力检测装置，所述压力检测装置与所述充气阀...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵建勇，李卫东，杨永军，赵志国，赵东明，李新连，叶林，
申请(专利权)人：中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司华能青海发电有限公司，
类型：发明
国别省市：