本发明专利技术涉及Open Mask清洗领域，具体为一种OLED蒸镀工艺Open Mask部件清洗设备，包括清洗箱，所述清洗箱内设置有超声波振板。本发明专利技术通过设置承载机构、升降机构、循环管、除垢箱和过滤箱，药水通过承载箱上的过滤网进入到承载箱内，与Open Mask接触，使得open mask部件表面的镀膜脱离，随后通过升降机构，将承载箱向上运动，进入到除垢箱内，在驱动电机的作用下，驱动承载箱进行旋转，在离心力的作用下，使得承载箱内脱离的镀膜通过排水孔排出，由于设置过滤网，使得脱离的镀膜无法穿过承载箱进入到清洗箱内与药水进行混合，而清洗箱内的药水可以自由通过过滤网，避免浸泡时镀膜对药水的污染，从而提高了药水对Open Mask的清洗效果，并且能延长药水的使用周期，节约药水量。节约药水量。节约药水量。
【技术实现步骤摘要】
一种OLED蒸镀工艺Open Mask部件清洗设备
[0001]本专利技术涉及Open Mask清洗领域，具体为一种OLED蒸镀工艺Open Mask部件清洗设备。
技术介绍
[0002]真空蒸镀是OLED面板生产过程中的关键环节，而作为有机材料及金属材料蒸镀掩膜版的Open Mask为其关键结构部件。Open Mask在使用一段时间后，表面会形成一层蒸镀膜，严重影响到产品的精度和良率。
[0003]现有技术中，申请号为CN202010271212.9的中国专利技术专利，公开了一种OLED掩膜版Open Mask表面蒸镀材料清洗方法，涉及OLED面板生产
，本专利技术包括如下步骤:根据open mask部件结构形态，选取与之匹配的工装夹具进行固定；选取耐N
‑
甲基吡咯烷酮腐蚀的材料制作药液浸泡槽；将电子级的N
‑
甲基吡咯烷酮加入到所述药液浸泡槽中；将所述open mask部件放入所述药液浸泡槽中进行反应；将反应过后的open mask部件取出，放入去离子水槽中漂洗；将漂洗处理完成后的open mask部件放入真空烘箱内干燥处理。
[0004]但是在现有技术中，在对Open Mask表面蒸镀材料清洗时，open mask部件浸泡在药水时，open mask部件表面的镀膜脱离，并与药水进行混合，使得药水的污染物浓度升高，会降低药水对open mask部件清洗效果，从而导致产品的精度和良率降低的问题。
[0005]基于此，本专利技术设计了一种OLED蒸镀工艺Open Mask部件清洗设备，以解决上述问题。
技术实现思路
[0006]本专利技术的目的在于提供一种OLED蒸镀工艺Open Mask部件清洗设备，以解决上述
技术介绍
中提出现有技术中，在对Open Mask表面蒸镀材料清洗时，open mask部件浸泡在药水时，open mask部件表面的镀膜脱离，并与药水进行混合，使得药水的污染物浓度升高，会降低药水对open mask部件清洗效果，从而导致产品的精度和良率降低的问题。
[0007]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种OLED蒸镀工艺Open Mask部件清洗设备，包括清洗箱，所述清洗箱内设置有超声波振板，所述清洗箱顶端固定连接有除垢箱，所述除垢箱顶端固定连接有过滤箱，所述清洗箱内设置有承载Open Mask承载机构；
[0008]所述承载机构包括带有密封门的承载箱，所述承载箱表面的漏槽侧壁均固定连接有过滤网，所述承载箱表面阵列开设有排水孔，所述承载箱表面滑动连接有密封排水孔的密封块，所述密封块与承载箱表面平行，所述承载箱顶端固定连接有密封台，所述密封台顶端贯穿清洗箱顶端后与清洗箱顶端滑动连接，所述密封块顶端固定连接有推动杆，所述推动杆顶端贯穿密封台后与密封台滑动连接，数个所述推动杆顶端共同固定连接有环形架，所述推动杆表面均套接有复位弹簧，所述复位弹簧两端分别固定连接在环形架和密封台上，所述密封台顶端固定连接有插座，过滤箱顶端固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴底端贯穿除垢箱后与除垢箱顶端转动连接，所述驱动电机的输出轴底端固定连接有和
插座相适配的驱动杆，所述除垢箱内侧壁顶端固定连接有和环形架适配的环形座，所述承载箱底端和清洗箱外侧共同设置有升降机构；
[0009]所述除垢箱底端对称固定联通有循环管，所述循环管顶端贯穿过滤箱后与过滤箱固定联通，所述循环管均外设水泵固定连接，所述过滤箱顶端设置有过滤机构，所述过滤箱内底端开设有进水孔；
[0010]所述清洗箱侧壁固定联通有加料管，所述过滤箱侧壁固定联通有排水管；
[0011]工作时，现有技术中，在对Open Mask表面蒸镀材料清洗时，open mask部件浸泡在药水时，open mask部件表面的镀膜脱离，并与药水进行混合，使得药水的污染物浓度升高，会降低药水对open mask部件清洗效果，从而导致产品的精度和良率降低的问题，该技术方案可以解决上述问题，具体操作如下：通过承载箱，人工将承载箱的密封门打开，再将Open Mask放入到承载箱内，关上密封门，随后将清洗箱的玄门关闭，利用加料管将药水通过到清洗箱内，药水通过承载箱上的过滤网进入到承载箱内，与Open Mask接触，通过超声波振板，提高药水对Open Mask效果，使得open mask部件表面的镀膜脱离，通过设置有过滤网，使得脱离的镀膜无法穿过承载箱进入到清洗箱内与药水进行混合，而清洗箱内的药水可以自由通过过滤网，对承载箱内的open mask部件进行清洗，随后通过升降机构，将承载箱向上运动，进入到除垢箱内，环形架进入到环形座内，并挤压环形架，使得推动杆向下运动，推动密封块向下，取消对排水孔的密封作用，复位弹簧被压缩，直到排水孔完全打开，此时插座与驱动杆对接，随后启动驱动电机，使得驱动电机的输出轴转动，从而驱动承载箱进行旋转，在离心力的作用下，使得承载箱内脱离的镀膜通过排水孔排出，同时通过外设水泵，将清洗液从过滤箱底端的排水孔排进到除垢箱内，对承载箱内的Open Mask进行清洗，同时利用清洗液将镀膜排出至承载箱内，随后通过循环管的运输，进入到过滤箱内，通过过滤箱内的过滤机构，将清洗液中的镀膜进行过滤，随后将过滤后的清洗液通过排水孔重新流入到除垢箱内，将清洗液的循环过滤，降低除垢箱内镀膜量，从而提高除垢效率，增加清洗液对承载箱的除垢效果，随后再通过升降机构，重新将承载箱进入到清洗箱内，进行浸泡，由于浸泡出的镀膜无法与清洗箱内的药水进行混合，避免浸泡时镀膜对药水的污染，从而提高了药水对Open Mask的清洗效果，并且能延长药水的使用周期，节约药水量，解决了在对Open Mask表面蒸镀材料清洗时，open mask部件浸泡在药水时，open mask部件表面的镀膜脱离，并与药水进行混合，使得药水的污染物浓度升高，会降低药水对open mask部件清洗效果，从而导致产品的精度和良率降低的问题。
[0012]作为本专利技术的进一步方案，所述除垢箱内固定连接有螺纹板，所述螺纹板螺旋方向与驱动电机输出轴旋转方向相同，所述进水孔与螺纹板中间位置联通；工作时，当承载箱进入到除垢箱内进行除垢时，脱离的镀膜会围绕在承载箱周边，使得当承载箱停止转动时，脱离的镀膜会附着在承载箱侧壁上，并跟随承载箱进入到清洗箱内，导致药水被污染，降低清洗效果，最终导致产品的精度和良率降低的问题，通过设置螺纹板，当承载箱向上运动进入到除垢箱内时，承载箱会进入到螺纹板中间位置，随后驱动电机驱动承载箱转动，在离心力的作用下，使得脱离的镀膜沿着螺纹板螺旋方向排出到除垢箱内，从而减少承载箱周边的镀膜，并通过循环管将螺纹板外圈的清洗液输送到过滤箱内，随后通过过滤箱内的过滤机构进行过滤，再将过滤后的清洗液通过进水孔，从螺纹板中间位置上方排进到螺纹板内，从而降低承载箱周边镀膜量，提高清洗液对承载箱内的除垢效果，解决了脱离的镀膜会附
着在承载箱侧壁上，并跟随承载箱进入到清洗箱内，导致药水被污染，降低清洗效果，最终导致产品的精度和良率降低的问题。
[00本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种OLED蒸镀工艺Open Mask部件清洗设备，包括清洗箱(1)，所述清洗箱(1)内设置有超声波振板(2)，其特征在于：所述清洗箱(1)顶端固定连接有除垢箱(3)，所述除垢箱(3)顶端固定连接有过滤箱(4)，所述清洗箱(1)内设置有承载Open Mask承载机构；所述承载机构包括带有密封门的承载箱(5)，所述承载箱(5)表面的漏槽侧壁均固定连接有过滤网(6)，所述承载箱(5)表面阵列开设有排水孔(7)，所述承载箱(5)表面滑动连接有密封排水孔(7)的密封块(8)，所述密封块(8)与承载箱(5)表面平行，所述承载箱(5)顶端固定连接有密封台(9)，所述密封台(9)顶端贯穿清洗箱(1)顶端后与清洗箱(1)顶端滑动连接，所述密封块(8)顶端固定连接有推动杆(10)，所述推动杆(10)顶端贯穿密封台(9)后与密封台(9)滑动连接，数个所述推动杆(10)顶端共同固定连接有环形架(11)，所述推动杆(10)表面均套接有复位弹簧(12)，所述复位弹簧(12)两端分别固定连接在环形架(11)和密封台(9)上，所述密封台(9)顶端固定连接有插座(13)，过滤箱(4)顶端固定连接有驱动电机(14)，所述驱动电机(14)的输出轴底端贯穿除垢箱(3)后与除垢箱(3)顶端转动连接，所述驱动电机(14)的输出轴底端固定连接有和插座(13)相适配的驱动杆(15)，所述除垢箱(3)内侧壁顶端固定连接有和环形架(11)适配的环形座(16)，所述承载箱(5)底端和清洗箱(1)外侧共同设置有升降机构；所述除垢箱(3)底端对称固定联通有循环管(17)，所述循环管(17)顶端贯穿过滤箱(4)后与过滤箱(4)固定联通，所述循环管(17)均外设水泵固定连接，所述过滤箱(4)顶端设置有过滤机构，所述过滤箱(4)内底端开设有进水孔(18)；所述清洗箱(1)侧壁固定联通有加料管(19)，所述过...
【专利技术属性】
技术研发人员：王圣福，贺贤汉，张正伟，李帅雨，刘宇航，
申请(专利权)人：安徽富乐德科技发展股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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