一种硅部件清洗用固定框制造技术

技术编号:40570261 阅读:8 留言:0更新日期:2024-03-05 20:56
本技术公开了一种硅部件清洗用固定框,涉及到半导体技术领域,包括其上开设有卡槽的L形边框、第一挡条和第二挡条,所述第一挡条和第二挡条之间设置有第一L形滑杆,且所述第一L形滑杆的两端分别滑动设置在所述第一挡条和第二挡条的滑腔内,所述第一挡条和第二挡条的侧端分别与相对应的第二L形滑杆的一端固定连接,且两个所述第二L形滑杆的另一端滑动设置在所述L形边框侧壁上开设的具有弧形开口的滑槽内,所述还包括用于使得第二L形滑杆与所述L形边框固定的定位单元,所述定位单元设置有两个。本固定框调节成一个适合硅部件自身大小的尺寸,其调节方便快捷,且对硅部件的固定限位效果好。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体,特别涉及一种硅部件清洗用固定框


技术介绍

1、在半导体工业中,硅部件极为重要,其优良的半导体特性、高纯度和可控性、大规模生产能力、可靠性和稳定性以及工艺成熟和设备完善等特点,使得硅材料成为主要的半导体材料之一,广泛应用于各种电子器件的制造,其硅部件包括晶圆、硅片等,而根据形成的不同大致可分为圆形、矩形和方形等。

2、在实际生产过程中,为了加快以及更好地清除硅部件上的杂质,有时会将硅部件固定在固定框中,并将固定框固定在配套设备上,利用配套设备带动固定框进行运动清洗,而现有的固定框的固定硅部件尺寸过于单一,普适性差,且螺纹固定安装使得操作过于麻烦,因此,本申请提供了一种硅部件清洗用固定框来满足需求。


技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种硅部件清洗用固定框,本固定框可根据硅部件尺寸的需要进行调节,其调节方便快捷,且对硅部件的固定限位效果好。

2、为实现上述目的,本申请提供如下技术方案:一种硅部件清洗用固定框,包括其上开设有卡槽的l形边框、第一挡条和第二挡条,所述第一挡条和第二挡条之间设置有第一l形滑杆,且所述第一l形滑杆的两端分别滑动设置在所述第一挡条和第二挡条的滑腔内,所述第一挡条和第二挡条的侧端分别与相对应的第二l形滑杆的一端固定连接,且两个所述第二l形滑杆的另一端滑动设置在所述l形边框侧壁上开设的具有弧形开口的滑槽内,且所述弧形开口长度小于滑槽周长的一半,还包括用于使得所述第二l形滑杆与所述l形边框固定的定位单元,所述定位单元设置有两个。

3、优选的,所述定位单元包括滑动连接于所述第二挡条上的滑块和固定嵌入在所述第二l形滑杆内腔的空心柱,所述空心柱的内腔活动设置有定位柱,所述定位柱的定位端贯穿所述空心柱和所述第二l形滑杆并与所述滑槽内壁上成排设置的定位孔插接,所述定位柱的外围套设有复位弹簧,且所述复位弹簧的两端分别与所述定位柱和空心柱固定连接,所述定位柱通过拉绳与所述滑块固定连接,所述拉绳穿过若干个固定在所述第二l形滑杆和第二挡条上的限位环。

4、优选的,所述滑块的上端固定连接有第一l形拉杆,所述第二挡条的上端固定连接有第二l形拉杆,所述第二l形拉杆与所述第一l形拉杆呈对称设置,所述第二l形拉杆与所述第一l形拉杆的高度一致。

5、优选的,所述拉绳由若干个ptfe单丝编织而成。

6、优选的,所述l形边框、第一挡条、第二挡条、第一l形滑杆、滑块、空心柱、定位柱、复位弹簧、限位环、限位环和限位环的外表面均设有防腐涂层。

7、优选的,所述l形边框的底部固定连接有u形块,且所述u形块下端开设有安装孔。

8、综上,本技术的技术效果和优点:

9、本技术结构合理,本固定框可根据硅部件尺寸的需要进行调节,其调节方便快捷,且对硅部件的固定限位效果好;

10、本技术中,设置有第二l形拉杆与第一l形拉杆,便于手指发力带动滑块移动的同时也便于对固定框的长宽进行调节,进一步提高固定框长宽调节的方便性。

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【技术保护点】

1.一种硅部件清洗用固定框,其特征在于:包括其上开设有卡槽(4)的L形边框(1)、第一挡条(2)和第二挡条(3),所述第一挡条(2)和第二挡条(3)之间设置有第一L形滑杆(5),且所述第一L形滑杆(5)的两端分别滑动设置在所述第一挡条(2)和第二挡条(3)的滑腔内,所述第一挡条(2)和第二挡条(3)的侧端分别与相对应的第二L形滑杆(6)的一端固定连接,且两个所述第二L形滑杆(6)的另一端滑动设置在所述L形边框(1)侧壁上开设的具有弧形开口的滑槽(10)内,且所述弧形开口长度小于滑槽(10)周长的一半,还包括用于使得所述第二L形滑杆(6)与所述L形边框(1)固定的定位单元(7),所述定位单元(7)设置有两个。

2.根据权利要求1所述的一种硅部件清洗用固定框,其特征在于:所述定位单元(7)包括滑动连接于所述第二挡条(3)上的滑块(72)和固定嵌入在所述第二L形滑杆(6)内腔的空心柱(75),所述空心柱(75)的内腔活动设置有定位柱(76),所述定位柱(76)的定位端贯穿所述空心柱(75)和所述第二L形滑杆(6)并与所述滑槽(10)内壁上成排设置的定位孔(11)插接,所述定位柱(76)的外围套设有复位弹簧(77),且所述复位弹簧(77)的两端分别与所述定位柱(76)和空心柱(75)固定连接,所述定位柱(76)通过拉绳(71)与所述滑块(72)固定连接,所述拉绳(71)穿过若干个固定在所述第二L形滑杆(6)和第二挡条(3)上的限位环(74)。

3.根据权利要求2所述的一种硅部件清洗用固定框,其特征在于:所述滑块(72)的上端固定连接有第一L形拉杆(73),所述第二挡条(3)的上端固定连接有第二L形拉杆(8),所述第二L形拉杆(8)与所述第一L形拉杆(73)呈对称设置,所述第二L形拉杆(8)与所述第一L形拉杆(73)的高度一致。

4.根据权利要求3所述的一种硅部件清洗用固定框,其特征在于:所述拉绳(71)由若干个PTFE单丝编织而成。

5.根据权利要求3所述的一种硅部件清洗用固定框,其特征在于:所述L形边框(1)、第一挡条(2)、第二挡条(3)、第一L形滑杆(5)、滑块(72)、空心柱(75)、定位柱(76)、复位弹簧(77)、限位环(74)、限位环(74)和限位环(74)的外表面均设有防腐涂层。

6.根据权利要求1-5中任意一项所述的一种硅部件清洗用固定框,其特征在于:所述L形边框(1)的底部固定连接有U形块(9),且所述U形块(9)下端开设有安装孔。

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【技术特征摘要】

1.一种硅部件清洗用固定框,其特征在于:包括其上开设有卡槽(4)的l形边框(1)、第一挡条(2)和第二挡条(3),所述第一挡条(2)和第二挡条(3)之间设置有第一l形滑杆(5),且所述第一l形滑杆(5)的两端分别滑动设置在所述第一挡条(2)和第二挡条(3)的滑腔内,所述第一挡条(2)和第二挡条(3)的侧端分别与相对应的第二l形滑杆(6)的一端固定连接,且两个所述第二l形滑杆(6)的另一端滑动设置在所述l形边框(1)侧壁上开设的具有弧形开口的滑槽(10)内,且所述弧形开口长度小于滑槽(10)周长的一半,还包括用于使得所述第二l形滑杆(6)与所述l形边框(1)固定的定位单元(7),所述定位单元(7)设置有两个。

2.根据权利要求1所述的一种硅部件清洗用固定框,其特征在于:所述定位单元(7)包括滑动连接于所述第二挡条(3)上的滑块(72)和固定嵌入在所述第二l形滑杆(6)内腔的空心柱(75),所述空心柱(75)的内腔活动设置有定位柱(76),所述定位柱(76)的定位端贯穿所述空心柱(75)和所述第二l形滑杆(6)并与所述滑槽(10)内壁上成排设置的定位孔(11)插接,所述定位柱(76)的外围套设有复位弹簧(77),且所述复位弹簧(77)的两端分别与...

【专利技术属性】
技术研发人员:阮安俊贺贤汉张继月
申请(专利权)人:安徽富乐德科技发展股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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