一种制造技术

本发明专利技术公开了一种

【技术实现步骤摘要】
一种Faceplate部件清洗装置及清洗药水配方


[0001]本专利技术涉及半导体设备清洗
，特别涉及一种
Faceplate
部件清洗装置及清洗药水配方
。

技术介绍

[0002]Faceplate
是一种形式碟状的半导体设备部件，用于半导体
CVD
（化学气相沉积）制程
。
使用过程中气体和气相材料通过
Faceplate
底部密集通孔被引进反应器内
,
原材料扩散穿越边界层和接触基片的表面
,
随着吸附原材料的移动在基片的表面产生了化学反应
。
该部件能够避免
CVD
制程在打入反应气体的时候产生不良反应或不均匀反应，
Faceplate
的通孔起到关键性的作用，因此
Faceplate
的通孔的清洗要求非常的高
。
[0003]目前国内清洗行业清洗的清洗工艺，主要采用一定比例混合组成的药水去除表面沉积物，至于部件孔壁沉积物，现有的一般采用抽排液的方法对孔壁形成冲击，从而将孔壁内的沉积物冲刷下来，其操作步骤如下：
S1:
将多个部件叠加放置在清洗罐中，并通过换向阀以及动力件（如泵体）将药水罐中的药液快速抽送至清洗罐中并将部件完全浸没，对部件形成一次由下向上的冲刷，再利用动力件将清洗罐中的药液全部快速抽回至药水罐中，对部件形成一次由上向下的冲刷，如此重复多次；
S2
：药水清洗完毕后，通过换向阀换向，配合另一动力件将纯水罐中的纯水快速抽送至清洗罐中，再快速排出，如此重复多次，对部件形成冲刷，去除残留物以及药水
。
[0004]但是上述抽排液的方法对部件进行清洗时存在一些不足之处，在对多个叠加部件进行冲刷时，向下冲刷与向上冲刷的时间间隔过长（即来回冲刷间隔时间过长），导致无法及时将一些顽固沉积物冲刷下（一些沉积物由于其形状的不同，使得其受到向上运动的流体或向下运动的流体的冲击力大小不同，沉积物只有受到大冲击力时才容易脱落，且大多时候需要进行多次冲击，因此可通过缩短向下冲刷与向上冲刷的时间间隔来提高来回冲击的频率，以加快顽固沉积物的脱落，缩短清洗时间），使得清洗时间过长，因此，本申请提供了一种
Faceplate
部件清洗装置及清洗药水配方来满足需求
。

技术实现思路

[0005]本申请的目的在于提供一种
Faceplate
部件清洗装置及清洗药水配方，用以解决现有技术中来回冲刷间隔时间过长而导致部件清洗时间过长的问题
。
[0006]为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种
Faceplate
部件清洗装置，包括安装在支撑底座上的纯水罐
、
药水罐和清洗罐，所述纯水罐和所述药水罐上均设有注液管和输液管，两个所述输液管上均设有带有阀门的排液管，两个所述输液管的出液端均通过换向件与所述清洗罐底部的进液管连接，还包括动力件，用于分别单独将会所述纯水罐和所述药水罐内的药水和纯水注入所述清洗罐中并带动所述清洗罐内的液体进行快速上下往返流动，以实现对清洗部件进行连续冲刷
。
[0007]优选的，所述动力件包括安装在所述支撑底座上的动力缸和将所述药水罐与所述纯水罐内腔相连且安装有阀门的硬管，且所述动力缸的伸缩端穿过所述药水罐上端开口并与驱动电机固定连接，所述驱动电机的输出轴上固定有旋转筒，且所述旋转筒的空心腔内壁上倾斜设置有环形槽，所述旋转筒的下方设置有外壁设置密封环的活塞板，且所述活塞板上端轴心处安装有
L
形运动杆，且所述
L
形运动杆的端部滑动设置在所述环形槽内，所述活塞板上安装有限位柱，且所述限位柱贯穿所述限位板，所述限位板的上端固定套设在所述动力缸的伸缩端上，所述限位板的下端通过轴承与所述驱动电机的输出轴转动连接，所述硬管的一端贯穿所述药水罐并通过软管与密封贯穿所述活塞板的通气管连接；所述清洗罐上端为开口，并通过密封盖密封，且所述密封盖上端通孔中安装有防水透气件，用于防止清洗罐内部液体溢出并使得其内部气压与外界一致；所述活塞板与所述药水罐内液面上端之间设有挤压空隙
。
[0008]优选的，所述清洗罐通过增高架安装在所述支撑底座，两所述输液管的出液端高度均分别高于相对应所述纯水罐和所述药水罐内液面高度
。
[0009]优选的，所述防水透气件被夹持固定在两支撑网之间
。
[0010]优选的，所述清洗罐的内腔设置有放置架，所述放置架包括呈圆周设有的三个限位立柱，三个所述限位立柱上从上之下设置与
C
形加强杆和支撑环
。
[0011]优选的，所述放置架放置在所述清洗罐中，所述清洗槽的内腔底部设有与三个所述限位立柱适配的插槽，三个所述限位立柱的上端与所述密封盖的底端抵触
。
[0012]优选的，所述换向件包括安装在所述清洗罐进液端上的旋转接头，且所述旋转接头的外壁上设有旋转把手，所述旋转接头的内腔固定有阻隔板，且所述阻隔板上设有一个通水孔，所述清洗罐的进液端与两个所述输液管出液端位置相对应设置有两个进液孔
。
[0013]一种
Faceplate
部件清洗药水配方，由氢氟酸
、
氟化铵
、
乙二醇混合组成，且所述氢氟酸
、
所述氟化铵和所述乙二醇均为电子级
。
[0014]优选的，所述氢氟酸
、
所述氟化铵和所述乙二醇按按有效成分
3∶1∶6
配置，配置好后沉淀
30min
，滤除不溶物
。
[0015]综上，本专利技术的技术效果和优点：本专利技术结构合理，设置有动力件，可对部件进行快速地来回冲刷，大大缩短了来回冲刷间隔时间，使得顽固杂质快速脱落，同时也大大缩短了药水清洗时间，且本动力件可分别对纯水罐内的纯水和药水罐中的药水进行部件的冲刷操作，无需安装多个驱动电机
、
动力缸以及其相关部件，可减小成本
。
[0016]本专利技术中，两输液管的出液端高度均分别高于相对应纯水罐和药水罐内液面高度，其目的是为了保证当药水或纯水冲刷完毕且活塞板恢复原位时，清洗罐中的药液或纯水可完全进入相对应的输液管中，避免清洗后含有杂质的药水与纯水混合导致纯水中杂质含量增加，影响纯水对部件的冲洗效果；本专利技术中，药水由氢氟酸
、
氟化铵
、
乙二醇混合组成，本药水配方不引入杂质元素，同时有效降低药水腐蚀性，延长清洗窗口时间，减少部件腐蚀损耗；本专利技术中，所述氢氟酸
、
所述氟化铵和所述乙二醇按按有效成分
3∶1∶6
配置，经验证，浸泡
30min
，部件损耗厚度约
0.00015inch
，对部件腐蚀损耗极小
。
附本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种
Faceplate
部件清洗装置，包括安装在支撑底座（1）上的纯水罐（2）
、
药水罐（
10
）和清洗罐（6），所述纯水罐（2）和所述药水罐（
10
）上均设有注液管（3）和输液管（4），两个所述输液管（4）上均设有带有阀门的排液管（7），两个所述输液管（4）的出液端均通过换向件（5）与所述清洗罐（6）底部的进液管连接，其特征在于：还包括动力件（9），用于分别单独将会所述纯水罐（2）和所述药水罐（
10
）内的药水和纯水注入所述清洗罐（6）中并带动所述清洗罐（6）内的液体进行快速上下往返流动，以实现对清洗部件进行连续来回冲刷
。2.
根据权利要求1所述的一种
Faceplate
部件清洗装置，其特征在于：所述动力件（9）包括安装在所述支撑底座（1）上的动力缸（
91
）和将所述药水罐（
10
）与所述纯水罐（2）内腔相连且安装有阀门的硬管（
97
），且所述动力缸（
91
）的伸缩端穿过所述药水罐（
10
）上端开口并与驱动电机（
92
）固定连接，所述驱动电机（
92
）的输出轴上固定有旋转筒（
94
），且所述旋转筒（
94
）的空心腔内壁上倾斜设置有环形槽（
99
），所述旋转筒（
94
）的下方设置有外壁设置密封环的活塞板（
93
），且所述活塞板（
93
）上端轴心处安装有
L
形运动杆（
98
），且所述
L
形运动杆（
98
）的端部滑动设置在所述环形槽（
99
）内，所述活塞板（
93
）上安装有限位柱（
96
），且所述限位柱（
96
）贯穿所述限位板（
95
），所述限位板（
95
）的上端固定套设在所述动力缸（
91
）的伸缩端上，所述限位板（
95
）的下端通过轴承与所述驱动电机（
92
）的输出轴转动连接，所述硬管（
97
）的一端贯穿所述药水罐（
10
）并通过软管（
910
）与密封贯穿所述活塞板（
93
）的通气管（
911
）连接；所述清洗罐（6）上端为开口，并通过密封盖（8）密封，且所述密封盖（8）上端通孔中安装有防水透气件（
12
），用于防止清洗罐（6）内部液体溢出并使得其内部气压与外界一致；所述活塞板（
93
...

【专利技术属性】
技术研发人员：阮安俊，贺贤汉，张继月，高敏刚，
申请(专利权)人：安徽富乐德科技发展股份有限公司，
类型：发明
国别省市：