本发明专利技术涉及一种包括工艺气体分配设备(2)的工艺气体分配系统(1)以及涉及根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体分配系统(1)在用于制造和/或处理在振荡工艺气流、尤其脉冲反应器中的颗粒(P)的反应器系统(38)中的使用。应器中的颗粒(P)的反应器系统(38)中的使用。应器中的颗粒(P)的反应器系统(38)中的使用。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】工艺气体分配系统和工艺气体分配系统的使用
[0001]本专利技术涉及一种工艺气体分配系统，包括工艺气体分配设备，带有具有工艺气体流入入口、工艺气体流入出口、工艺气体流入口纵向中轴线和工艺气体流入口横截面的工艺气体流入口，带有具有工艺气体分配器纵向中轴线、工艺气体分配器横截面、布置在第一端面上的工艺气体分配器入口和多个布置在第二端面上的工艺气体分配器出口的工艺气体分配器，且带有与多个工艺气体分配器出口对应数量的工艺气体流出单元，其中，每个工艺气体流出单元包括具有工艺气体流出入口、工艺气体流出出口、工艺气体流出口纵向中轴线和工艺气体流出口横截面的工艺气体流出口，且其中，工艺气体流入口与工艺气体分配器的第一端面且工艺气体分配器的第二端面与工艺气体流出单元的工艺气体流出口如此地相连接，使得相应地构造连续的流路。
技术介绍
[0002]用于分配工艺气体流动(Prozessgasstr
ö
mung)的系统自长久以来已知。
[0003]对于这些系统不利的是，工艺气体通过已经已知的系统未被最佳地划分成工艺气体部分流。
技术实现思路
[0004]因此，本专利技术的任务是提供一种工艺气体分配系统，其中，流入到工艺气体分配系统中的工艺气体流被最佳地划分成各个工艺气体部分流。
[0005]该任务在开头所提及形式的工艺气体分配系统的情形中通过以下来解决，即，工艺气体流出单元的布置在第二端面上的工艺气体流出口在周缘方向上均匀分布地布置，工艺气体流出口的每个工艺气体流出口纵向中轴线相对工艺气体分配器纵向中轴线具有相同的径向距离且每个工艺气体流出口具有相同的工艺气体流出口横截面。通过工艺气体分配系统的有利的几何设计方案引起如下，即，在工艺气体分配系统中出现相同的工艺气体流出口横截面、工艺气体流出口相对工艺气体分配器纵向中轴线的相同的径向距离和相同的流动曲线。由此，在工艺气体分配系统中实现了经由工艺气体流入口进入到工艺气体分配系统中的工艺气体到多个工艺气体流出口上的最佳的均匀分布。
[0006]根据工艺气体分配系统的一种就此而言有利的设计方案，工艺气体流出口彼此具有相同的长度。由于工艺气体流出口的彼此相同的长度获得了流动曲线和经由工艺气体分配系统所产生的压力损失的进一步均匀化。
[0007]根据工艺气体分配系统的一种附加的有利的改进方案，工艺气体分配系统具有构造流道的流道系统，其中，适宜地每个工艺气体流出单元具有流道。通过流道系统建立到反应器系统的各一个具有反应腔的反应器处的连结。
[0008]优选地，流道构造成管道或软管连接。由此，例如反应器的非常灵活的连结是可能的。进一步优选地，每个流道在工艺气体流出口下游刚好布置在其处。特别优选地，流道彼此具有相同的长度。流道系统的流道的相同的长度引起如下，即，对于每个流道而言具有相
同的压力损失且由此在相应的流道中出现相同的最佳流动曲线。
[0009]根据工艺气体分配系统的另一有利的发展方案，在流道中在流道路径之后相应地布置有至少一个配件，其中，至少一个布置在流道中的配件彼此相同且流道路径彼此等长。优选地，配件构造成连续的气体体积流调节装置。优选地，作为配件例如滑阀、调节阀、调节旋塞或可调节光阑式节流阀或类似物被安装在流道中。在此，上述配件具有小于等于3%、优选地小于等于2%、特别优选地小于等于1%且最优选地小于等于0.5%的高调节精度。
[0010]根据工艺气体分配系统的一种附加的有利的设计方案，在工艺气体流入口纵向中轴线与工艺气体流出口的工艺气体流出口纵向中轴线之间的被投影到工艺气体分配器的第一或第二端面上的距离大于或等于工艺气体流出口的相应的工艺气体流出半径和工艺气体流入半径的总和。由此确保如下，即，在工艺气体分配系统中实现工艺气体的偏转。
[0011]相应于工艺气体分配系统的一种附加的有利的深造方案，工艺气体流入口横截面大于或等于每个工艺气体流出口的工艺气体流出口横截面。由此，工艺气体流动在由工艺气体流入口至工艺气体分配器的过渡的情形中经历第一次偏转和工艺气体速度的降低，且紧接着在由工艺气体分配器至工艺气体流出口的过渡的情形中经历第二次偏转和工艺气体速度的提高。
[0012]根据工艺气体分配系统的另一附加的有利的发展方案，工艺气体流入口横截面和工艺气体流出口的每个工艺气体流出口横截面呈圆形地构造。由此存在如下可能性，即，简单地通过使用具有不同横截面的呈柱形的管段制造工艺气体分配系统。
[0013]根据工艺气体分配系统的一种附加的有利的设计方案，工艺气体流入出口面和工艺气体分配器入口面相同大小且重合地构造且/或工艺气体分配器出口面和工艺气体流出入口面相同大小且重合地构造。由此，在工艺气体流入口与工艺气体分配器之间或者在工艺气体分配器与工艺气体流出口之间的过渡区域中不积聚工艺气体，从而工艺气体流动仅经历必要的压力损失。
[0014]根据工艺气体分配系统的一种附加的有利的发展方案，在工艺气体流入口与工艺气体分配器之间布置有扩散器且/或在工艺气体分配器与每个工艺气体流出口之间布置有喷嘴。优选地，扩散器在工艺气体的流动方向上连续扩大且/或喷嘴在工艺气体的流动方向上连续逐渐变细。进一步优选地，扩散器和喷嘴在其相应的纵向中轴线上具有不同的长度。通过扩散器在工艺气体流入口与工艺气体分配器之间或者喷嘴在工艺气体分配器与每个工艺气体流出口之间的容纳，工艺气体流动的动能被转换成压力能或反之亦然，其中，这样的转换优选地通过流动横截面的连续扩大来实现。其可在几何形状上以不同的方式来实现，例如通过锥形或呈喇叭颈状构造的扩散器或锥形或呈喇叭颈状构造的喷嘴。
[0015]根据工艺气体分配系统的另一有利的设计方案，工艺气体分配系统、尤其工艺气体分配器构造成中空腔。由此，工艺气体分配系统内部中空地构造，这也就是说其是空的，且例如没有过滤元件或类似物布置在其中，从而工艺气体可不受干扰地流动通过工艺气体分配系统。
[0016]根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体分配系统优选地被使用在用于制造且/或处理在振荡工艺气流、尤其脉冲反应器中的颗粒的反应器系统中。优选地，在反应器系统中在至少一个反应器上游布置有工艺气体分配设备，从而反应器单元的每个反应器关联有至少一个构造成流道的工艺气体输入管。优选地，每个工艺气体输入管具有工艺气体
体积流调节设备。每个工艺气体输入管尤其如此地构造，使得每个流道在工艺气体分配设备与反应器工艺气体流入口之间具有压力损失，其中，在每个流道中的压力损失基本上相同大小。由于上述措施，在反应器系统中出现部分工艺气体流的均匀分布。
附图说明
[0017]下面，借助附图对本专利技术进行更详细说明，其中：图1显示了优选的工艺气体分配系统的第一实施形式的截面图示，图2显示了朝向优选的工艺气体分配系统的第一实施形式的垂直于工艺气体流入口纵向中轴线定向的参考平面D的俯视图，图3显示了优选的工艺气体分配系统的第二实施形式的截面图示，且图4显示了使用工艺气体分配系统的构造成振荡系统的反应器系统的示意性图示。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种工艺气体分配系统(1)，包括工艺气体分配设备(2)，带有具有工艺气体流入入口(6)、工艺气体流入出口(7)、工艺气体流入口纵向中轴线(A
‑
A)和工艺气体流入口横截面(8)的工艺气体流入口(3)，带有具有工艺气体分配器纵向中轴线(B
‑
B)、工艺气体分配器横截面(9)、布置在第一端面(10)上的工艺气体分配器入口(11)和多个布置在第二端面(12)上的工艺气体分配器出口(13)的工艺气体分配器(4)，且带有与多个所述工艺气体分配器出口(13)对应数量的工艺气体流出单元(5)，其中，每个工艺气体流出单元(5)包括具有工艺气体流出入口(14)、工艺气体流出出口(15)、工艺气体流出口纵向中轴线(C
‑
C)和工艺气体流出口横截面(16)的工艺气体流出口(17)，且其中，所述工艺气体流入口(3)与所述工艺气体分配器(4)的第一端面(10)且所述工艺气体分配器(4)的第二端面(12)与所述工艺气体流出单元(5)的工艺气体流出口(17)如此地相连接，使得相应地构造连续的流路(21)，其特征在于，所述工艺气体流出单元(5)的布置在第二端面(12)上的工艺气体流出口(17)在所述工艺气体分配器(4)的周缘方向上均匀分布地布置，所述工艺气体流出口(17)的每个工艺气体流出口纵向中轴线(C
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C)相对所述工艺气体分配器纵向中轴线(B
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B)具有相同的径向距离(23)且每个工艺气体流出口(17)具有相同的工艺气体流出口横截面(16)。2.根据权利要求1所述的工艺气体分配系统(1)，其特征在于，所述工艺气体流出口(17)彼此具有相同的长度(28)。3.根据权利要求1或2所述的工艺气体分配系统(1)，其特征在于，所述工艺气体分配系统(1)具有构造流道(18)的流道系统(19)，其中，适宜地每个工艺气体流出单元(5)具有流道(18)。4.根据权利要求3所述的工艺气体分配系统(1)，其特征在于，所述流道(18)优选地构造成管道或软管连接。5.根据权利要求3或4所述的工艺气体分配系统(1)，其特征在于，每个流道(18)在工艺气体流出口(17)下游刚好布置在该处。6.根据权利要求3至5中任一项所述的工艺气体分配系统(1)，其特征在于，所述流道(18)彼此具有相同的长度(29)。7.根据权利要求3至6中任一项所述的工艺气体分配系统(1)，其特征在于，在所述流道(18)中在流道路径(56)之后相...
【专利技术属性】
技术研发人员：F，
申请(专利权)人：顺利工程技术有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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